一种干涉显微镜的移相器件驱动电路的制作方法

文档序号:11063131阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种干涉显微镜的移相器件驱动电路,其特征是:所述的移相器件驱动电路由正弦波发生电路、正弦波后级处理电路组成。

2.根据权利要求1所述的一种干涉显微镜的移相器件驱动电路,其特征是:所述正弦波的产生是采用直接数字合成的方法,在单片机的FLASH ROM中存储1024点正弦波数据表,每隔一定的定时间隔,从波形ROM依次取出正弦数据,并写入ADC。

3.根据权利要求1所述的一种干涉显微镜的移相器件驱动电路,其特征是:所述的移相器件驱动电路控制每次向ADC送数的间隔,即可控制产生的正弦波频率.由单片机和ADC的供电电压以及ADC参考电压的限制,输出的正弦波幅值为0-5V。

4.根据权利要求1所述的一种干涉显微镜的移相器件驱动电路,其特征是:所述的正弦波发生电路中,可调电阻的温漂现象导致输出信号峰峰值和中心值有个微小的浮动,正弦波的中心值浮动不超过±0.1 V,相对于输出45-55 V的信号漂移为0.2%。

5.根据权利要求1所述的一种干涉显微镜的移相器件驱动电路,其特征是:所述后级处理电路利用电位器RP1分压,使峰峰值变为-0.5-+0.5, RP1起到调节输出波形峰峰值的作用。

6.根据权利要求1所述的一种干涉显微镜的移相器件驱动电路干涉显微镜的移相器件驱动电路,其特征是:所述分压以后接一级电压跟随器稳定输出电压,利用第三级加法运算电路使正弦波加上偏置电压,输出波形变为4.5-5.5 V。

7.根据权利要求1所述的一种干涉显微镜的移相器件驱动电路,其特征是:所述正弦波后级处理电路中的功率放大器采用LM476S双通道功放,正电压采用+56V供电,负电压采用-12V供电。

8.根据权利要求1所述的一种干涉显微镜的移相器件驱动电路,其特征是:所述正弦波后级处理电路单片机和DlA的+SV电源和功率放大器的-12V电源均由三端稳压管提供;而+56 V电源采用+24V电源与+32V电源串联而成。

9.根据权利要求1所述的一种干涉显微镜的移相器件驱动电路,其特征是:所述正弦波后级处理电路后级处理电路里面的调节电阻RP,和RPZ都使用高精确度低温漂电位器可减少漂移量。

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