触控基板及其制作方法和显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明的实施例一般地涉及触控显示技术领域，并且具体地，涉及一种触控基板 及其制作方法、和包括该触控基板的显示装置。
【背景技术】
[0002] 触摸面板按工作原理可以分为电阻式和电容式两种，日前电容式触摸面板在电子 产品上的应用日益普及。电容式触摸面板是利用人体的电流感应进行工作的，是一种通过 电极和人体特性结合来感应触摸信号的触摸面板。在人体（手指）触摸面板幕时，由于人 体电场作用，手指与触摸面板的导体层间会形成一个耦合电容，触摸面板上电极产生的电 流会流向触点，从而能够准确计算出触摸点的位置。
[0003] 图1示出了触控电极图案的一个示例。触控面板（TP)包括相互交替布置的多个 第一电极11和多个第二电极21，第一电极11和第二电极21彼此电绝缘，一列的多个第二 电极21例如通过导电连接结构23彼此顺序地电连接，一行的多个第一电极11例如通过桥 接结构彼此顺序地电连接，该桥接结构包括覆盖导电连接结构23的绝缘层12和形成在绝 缘层12上的导电连接结构13,导电连接结构13将同一行的相邻的第一电极11彼此电连 接。从图1中可以看出，相邻的第一电极11和第二电极21之间存在电容Cm，当人体（手 指）触摸面板幕时，由于人体电场作用，手指与触摸面板的导体层间会形成一个耦合电容， 引起电容Cm变化，根据这种电容Cm变化能够计算出触摸点的位置。
[0004] 然而，现有触摸面板的结构比较单一，且其电容Cm与市面上的触控驱动芯片的电 容值不兼容，使得该类型触摸面板的应用有很大障碍。特别地，触控IC(集成电路）厂商布 局较早，每家IC厂商都有自己的触控电极图案专利，并与自家的IC绑定，如果TP公司使用 A公司的IC和触控电极图案开模生产TP，后来因其他原因，需要将A公司的IC更换为B公 司的1C，即使B公司的IC也可以正常搭配A公司的触控电极图案，但是因为专利的问题，之 前所制作的模具也不能继续使用，必须使用B公司的触控电极图案重新制作模具，这种模 式给TP公司带来极大的损失。
【发明内容】
[0005]为了克服现有技术存在的上述和其它问题和缺陷中的至少一种，提出了本发明。
[0006] 根据本发明的一个方面，提出了一种触控基板，包括：
[0007]基板；
[0008] 设置在所述基板上的彼隔开的多个第一电极链，每个所述第一电极链包括多个第 一电极；
[0009] 设置在所述基板上的彼此隔开的多个第二电极链，每个所述第二电极链包括多个 第二电极，所述多个第二电极链与所述多个第一电极链相互交叉地布置，所述第一电极和 第二电极相互电绝缘并且相邻的第一电极和第二电极之间存在间隙；和
[0010] 彼此隔开的多个第一悬空结构，每个第一悬空结构设置在对应的一个间隙内并由 导电材料形成且与第一电极和第二电极相互电绝缘。
[0011] 在上述触控基板中，第一悬空结构可以包括镂空结构。
[0012] 在上述触控基板中，镂空结构可以包括由导电迹线限定的多个网格。
[0013] 在上述触控基板中，第一电极、第二电极以及第一悬空结构可以设置在同一层并 由相同的材料制成。
[0014] 在上述触控基板中，第一电极和第一悬空结构可以设置在第一层中并由相同的材 料制成，第二电极可以设置在与所述第一层不同的第二层中。
[0015] 在上述触控基板中，所述网格可以具有封闭或者不完全封闭的结构。
[0016] 在上述触控基板中，第一电极和第二电极可以具有菱形形状或正方形形状，并且 相邻的第一电极在所述第一方向上在菱形形状或正方形形状的顶点处彼此电连接，相邻的 第二电极在所述第二方向上在菱形形状或正方形形状的顶点处通过桥接结构彼此电连接。
[0017] 在上述触控基板中，第一电极和/或第二电极可以是由透明导电材料制成的块状 结构，或者是金属材料形成的网状结构。
[0018] 在上述触控基板中，第一电极和第二电极中的一种为驱动电极，另一种为感应电 极，并且在感应电极的中心区域处设有与该电极电绝缘并镂空的第二悬空结构。
[0019] 在上述触控基板中，第二悬空结构可以由与第一悬空结构的材料相同的材料制 成。
[0020] 在上述触控基板中，相邻的第二悬空结构的形状可以彼此不同。
[0021 ] 在上述触控基板中，每个第二悬空结构所占的面积与对应的感应电极的面积之比 可以在0. 2~0. 45的范围内。优选地，所述感应电极可以具有正方形形状，所述正方形形 状的对角线的长度为P，每个感应电极的一个侧边与设置在该感应电极内的第二悬空结构 的最外侧之间的距离为B，并且当4mm>P^ 3mm时，B在0. 55mm和0. 83mm之间的范围内； 当5_ >P多4mm时，B在0? 07mm和I.Imm之间的范围内；当6_ >P多5mm时，B在0? 8mm 和I. 2mm之间的范围内；当7mm>P^ 6mm时，B在I. 02mm和I. 54mm之间的范围内。
[0022] 在上述触控基板中，每个第一悬空结构的面积与第一或第二电极的面积之比可以 在0.045~0. 11的范围内。优选地，所述第一悬空结构具有在相邻的第一电极和第二电极 之间延伸的宽度A，第一电极和第二电极可以具有正方形形状，该正方形形状的对角线的长 度为P，并且当4mm>P^ 3mm时，A在0. 15mm和0. 23mm之间的范围内；当5_ >P^ 4mm 时，A在0? 22mm和0? 32謹之间的范围内；当6謹>P^ 5謹时，A在0? 27mm和0? 41謹之 间的范围内；当7mm>P^ 6mm时，A在0. 33mm和0. 49mm之间的范围内。
[0023] 在上述触控基板中，相邻的第一电极和第二电极之间所形成的电容可以在 1.2PF~1.6PF的范围内。
[0024] 根据本发明的另一个方面，提供了一种显示装置，其包括上述任一触控基板。
[0025] 根据本发明的又一个方面，提供了一种制作触控基板的方法，包括如下步骤：
[0026] 在基板上形成彼此隔开的多个第一电极链和彼此隔开的多个第二电极链，每个所 述第一电极链包括多个第一电极，每个所述第二电极链包括多个第二电极，所述多个第二 电极链与所述多个第一电极链相互交叉地形成，所述第一电极和第二电极相互电绝缘并且 相邻的第一电极和第二电极之间存在间隙；以及
[0027] 由导电材料在每个间隙内形成与第一电极和第二电极相互电绝缘的第一悬空结 构。
[0028] 在上述方法中，所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构可以是同时形成的。
[0029] 在上述方法中，同时形成所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构的步骤可 以包括：
[0030] 在基板上形成第一导电材料层；
[0031] 对所述第一导电材料层执行构图工艺，以形成包括所述第一电极链、第二电极链 和第一悬空结构的图案，使得每个第一电极链中的所述多个第一电极依次彼此电连接；
[0032] 在基板上形成覆盖所述图案的绝缘层；
[0033] 在绝缘层中形成对应于每个第二电极的通孔；以及
[0034] 在绝缘层上形成第二导电材料层，第二导电材料层填充所述通孔，并对所述第二 导电材料层执行构图工艺，以形成电连接每个第二电极链中相邻的两个第二电极的桥接结 构，使得每个第二电极链中的所述多个第二电极依次彼此电连接。
[0035] 当第一电极和第二电极中的一种用作驱动电极，另一种用作感应电极时，上述方 法还可以包括在感应电极的中心区域内利用导电材料形成与对应的感应电极电绝缘的第 二悬空结构。
[0036] 在上述方法中，可以将相邻的第二悬空结构的形状形成为彼此不同。