9的(g)所示，例如通过进行灰化而除去抗蚀图RP1。由此，形成由导电膜CF2构成的检测电极TDL以及设置于检测电极TDL的上表面的凹部CC2。
[0267]检测电极TDL从第二基板31的上表面的区域ARl经过第二基板31的上表面的区域AR2直至第二基板31的上表面的区域AR3地连续地形成于第二基板31上。优选地，检测电极TDL在俯视观察中沿Y轴方向延伸。
[0268]将检测电极TDL中的形成于区域ARl的部分设为部分PRl。部分PRl是检测电极TDL的主体部MPl (参照图12)。另外，将检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分设为部分PR2。在检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分PR2的上表面形成凹部CC2。进而，将检测电极TDL中的形成于区域AR3的部分设为部分PR3。部分PR3是与布线基板WSl (参照图12)电连接的电极端子ET1。需要说明的是，在图29的(g)所示的例子中，部分PR2也被包括在电极端子ETl的一部分中。
[0269]另外，在图28的(b)?图29的(g)所示的例子中，通过与形成检测电极TDL的工序同一工序而形成图24中示出的、包括凹部CC2的凹凸图案UE1。或者，也可以形成在图16、图19?图23以及图25?图27的任一个中示出的凹凸图案UEl来代替在图24中示出的凹凸图案。在形成该凹凸图案UEl的工序中，在检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分PR2的表面形成凹凸图案UEl或者在区域AR2中的位于检测电极TDL周边的部分将凹凸图案UEl形成在第二基板31上。换而言之，在区域AR2中，在检测电极TDL或第二基板31上形成凹凸图案UEl。
[0270]此时，作为凹凸图案UE1，形成由与检测电极TDL中包含的导电膜CF2形成于同一层的导电膜构成的凹凸图案UE1。另外，通过在与形成检测电极TDL的工序同一工序中形成凹凸图案UE1，从而能够削减制造工序数。需要说明的是，即使不是与形成检测电极TDL的工序同一工序，而是通过进行与形成检测电极TDL的工序同样的工序来使导电膜CF2图案化，也能够形成在图16以及图19?图27的任一个中示出的凹凸图案UE1。
[0271]另外，在图28的(b)?图29的(g)所示的例子中，示出了作为凹凸图案UEl而形成由与检测电极TDL中包含的导电膜形成于同一层的导电膜构成的凹凸图案UEl的例子，但是也可以形成由与检测电极TDL中包含的导电膜不同种类的膜构成的凹凸图案UE1。
[0272]接着，如图29的(h)所示，形成保护膜33。在形成该保护膜33的工序中，首先，涂布保护膜形成用的涂布液。在涂布该涂布液的工序中，通过涂布法涂布涂布液。优选地，通过局部地涂布含有溶剂的涂布液的印刷方法来涂布涂布液。换而言之，通过局部地涂布溶液的印刷方式而形成保护膜33。S卩，作为形成保护膜33的方法，可应用所有含有溶剂并局部成膜的印刷方法。作为这种印刷方法，能够采用喷墨法、电场喷射法、丝网印刷、柔版印刷、胶版印刷或者凹版印刷等各种印刷方法。另外，以下，以通过喷墨法或电场喷射法涂布保护膜形成用涂布液的情况为例进行说明。
[0273]可形成由UV固化性树脂或热固化性树脂构成的树脂膜作为保护膜33，树脂膜例如由丙烯酸树脂、环氧树脂或聚酰亚胺树脂等构成。因此，作为保护膜形成用的涂布液，可使用含有上述UV固化性树脂或热固化性树脂的涂布液。
[0274]在通过喷墨法或电场喷射法涂布涂布液的情况下，如图30所示，一边使可相对于第二基板31相对移动地设置的喷头51相对于第二基板31相对移动，一边从设于喷头51上的喷嘴喷出涂布液52。由此，在区域ARl以及AR2中，以覆盖检测电极TDL的方式涂布涂布液52。
[0275]另外，如图30所示，通过使用具有沿某一方向排列的多个喷嘴的喷头51而从多个喷嘴同时地喷出涂布液52，从而能够缩短涂布涂布液52的工序所需的时间。
[0276]即，通过在采用喷墨法或电场喷射法将涂布液52以覆盖检测电极TDL的方式涂布于第二基板31上而形成了涂布膜53之后，使形成的涂布膜53固化，从而不使制造工序数增加即可形成具有期望图案的保护膜。
[0277]另外，在采用喷墨法或电场喷射法等印刷方法来涂布涂布液的情况下，不需要为了采用例如光刻法(pho tο I i thography)以及蚀刻法来形成由涂布涂布液所形成的涂布膜构成的图案而准备光掩模，每次都能形成期望的图案。另外，在采用喷墨法或电场喷射法等印刷方法来涂布涂布液的情况下，由于能够高效地利用涂布液，因此能够降低制造成本。并且，在采用喷墨法或电场喷射法等印刷方法的情况下，能够在大气压下成膜，不需要使用具备真空室的成膜装置，因此能够使成膜装置小型化。
[0278]在本实施方式一中，在检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分PR2的表面形成凹凸图案UEl或者在区域AR2中的位于检测电极TDL周边的部分上将凹凸图案UEl形成于第二基板31上。换而言之，在区域AR2中，在检测电极TDL或第二基板31上形成凹凸图案UEl0由此，能够使形成于区域AR2的阶梯部的长度变长。因此，能够防止或抑制涂布于区域AR2的保护膜形成用涂布液扩散至区域AR3侧，能够容易地高精度地调整涂布于区域AR2的涂布液的端部位置。
[0279]如图31所示，考虑包含在凹凸图案UEl中的、例如由通过突出部PJl等构成的高位部HPl和低位部LPl形成的阶梯部STl向与涂布液52扩散的方向DRl交叉的方向DR2延伸的情况。在这种情况下，朝方向DRl扩散到高位部HPl的涂布液52被阻止在例如高位部HPl的周缘、即阶梯部STl的上侧，不会扩散至低位部LP1。因此，能够防止或抑制涂布液52超出阶梯部STl地进一步向方向DRl扩散。
[0280]S卩，在涂布涂布液52的工序中，将涂布液52涂布成所涂布的涂布液52终止在凹凸图案UEl上。换而言之，在涂布涂布液52的工序中，将涂布液52涂布成所涂布的涂布液52的区域AR3侧的端部位于凹凸图案UEl上。
[0281]在此，考虑包含在凹凸图案UEl中的作为凸部的突出部PJl的截面形状为使用图17以及图18所述的截面形状的情况。即，考虑侧面部SSl的上端部HEl比侧面部SSl的下端部LEl更位于Y轴方向上的一侧、而侧面部SS2的上端部HE2比侧面部SS2的下端部LE2更位于Y轴方向上的另一侧这样的截面形状的情况。在图32中，例如示出了垂直于突出部PJl的延伸方向DR2的截面形状为倒梯形形状的情况。在这种情况下，朝方向DRl扩散至高位部HPl的涂布液52被阻止在阶梯部STl上侧的效果增大。因此，能够更高精度地调整涂布液52的端部位置。
[0282]需要注意的是，当形成具有这种截面形状的突出部PJl时，在使用图28的(b)所说明过的使导电膜CF2成膜的工序中，使具有下层部LL1(参照图17)和上层部HLl (参照图17)的导电膜CF2成膜。此时，如使用图17所说明过地，将下层部LLl和上层部HLl层叠成例如下层部LLl相对于某种蚀刻剂的蚀刻速度比上层部HLl相对于该蚀刻剂的蚀刻速度更大。然后，在使用图29的(f)所说明过的对导电膜CF2进行蚀刻的工序中，使用该蚀刻剂进行蚀刻。由此，能够将突出部PJl形成为侧面部SSl的上端部HEl比侧面部SSl的下端部LEl更位于Y轴方向上的一侧(图17中左侧)、而侧面部SS2的上端部HE2比侧面部SS2的下端部LE2更位于Y轴方向上的另一侧(图17中右侧)。
[0283]接着，通过使由已涂布的涂布液52构成的涂布膜53固化而形成保护膜33。在使用含有UV固化性树脂的涂布液作为涂布液52的情况下，通过向形成的涂布膜53照射由UV构成的光、即UV光而使涂布膜53固化。或者，在使用含有热固化性树脂的涂布液作为涂布液52的情况下，通过对形成的涂布膜53进行热处理而使涂布膜53固化。由此，如图29的(h)所示，形成由固化的涂布膜53构成的保护膜33。
[0284]在此，如上所述，在涂布的涂布液52终止于凹凸图案UEl上的情况下、即在形成的涂布膜53终止于凹凸图案UEl上的情况下，由固化的涂布膜53构成的保护膜33也终止于凹凸图案UEl上。换而言之，在涂布膜53的区域AR3 —侧的端部位于凹凸图案UEl上的情况下，保护膜33的区域AR3 —侧的端部EPl也会位于凹凸图案UEl上。
[0285]接着，将布线基板WSl (参照图13)电连接。在电连接该布线基板WSl的工序中，经由各向异性导电膜(ACF)CF1(参照图13)而将布线基板WSl配置在第二基板31上。在布线基板WSl的作为主面的下表面形成有多个电极端子ET2(参照图13)。多个电极端子ET2(参照图13)各自分别对应于多个检测电极TDL各自的电极端子ETl而配置。如上所述，例如可使用也被称为柔性印刷电路板(FPC)的柔性印刷布线板作为布线基板WSI。
[0286]各向异性导电膜CFl在区域AR2以及AR3中配置成覆盖检测电极TDL。另外，布线基板WSl以多个电极端子ET2各自隔着各向异性导电膜CFl与多个电极端子ETl各自相对的方式经由各向异性导电膜CFl而配置于第二基板31上。
[0287]各向异性导电膜CFl是将在热固化性树脂中混合了具有导电性的微细金属粒子的物质成型为膜状而成的膜。在检测电极TDL的电极端子ETl与布线基板WSl的电极端子ET2之间夹着各向异性导电膜CFl的状态下，例如一边进行热处理，一边将布线基板WSl压到第二基板31上。由此，各向异性导电膜CFl内的金属粒子在各向异性导电膜CFl的厚度方向上接触而在各向异性导电膜CFl的厚度方向上形成导电路径。于是，彼此相对的电极端子ETl与电极端子ET2通过各向异性导电膜CFl而电连接。
[0288]<关于保护膜的端部位置的调整>
[0289]接下来，与比较例中的保护膜的端部位置调整对比来对保护膜的端部位置调整进行说明。
[0290]图33是示出比较例的电极基板的俯视图。图34是示出比较例的电极基板的立体图。图35是示意性示出涂布液在玻璃基板上的形状的截面图。图36是示意性示出涂布液在形成于玻璃基板上的检测电极的周边处的形状的截面图。
[0291]在比较例中，作为对置基板103的电极基板ES100具有第二基板31、检测电极TDL以及保护膜33。另外，第二基板31具有区域AR1、AR2以及AR3作为第二基板31的作为主面的上表面的区域。区域AR1、AR2以及AR3在俯视观察中沿Y轴方向依次配置。
[0292]在比较例中，检测电极TDL也从第二基板31的上表面的区域ARl经过第二基板31的上表面的区域AR2直至第二基板31的上表面的区域AR3地连续地形成在第二基板31上。或者，检测电极TDL在俯视观察中在Y轴方向上延伸。
[0293]在比较例中，也将检测电极TDL中的形成于区域ARl的部分设为部分PR1。部分PRl是检测电极TDL的主体部MPl。另外，也将检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分设为部分PR2。并且，也将检测电极TDL中的形成于区域AR3的部分设为部分PR3。部分PR3以及部分PR2是与形成于布线基板WSl的电极端子ET2电连接的电极端子ET1。
[0294]保护膜33在区域ARl以及AR2中以覆盖检测电极TDL的方式形成。另外，在比较例中，也是通过利用喷墨法或电场喷射法涂布涂布液而在第二基板31上形成保护膜33。
[0295]另一方面，在比较例中，在检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分PR2的表面未形成有凹凸图案。另外，在区域AR2中的位于检测电极TDL周边的部分处，凹凸图案也未形成在第二基板31上。
[0296]在通过喷墨法或电场喷射法将涂布液涂布于了第二基板31上的情况下，难以高精度地调整在第二基板31上扩散的涂布液的端部位置。
[0297]例如，在通过喷墨法或电场喷射法将涂布液涂布于第二基板31的表面的情况下，当第二基板31的表面对涂布液具有某种程度的亲液性时，涂布于第二基板31的表面的涂布液将扩散，因此难以高精度地调整涂布液的端部位置。像这样的涂布于第二基板31上的涂布液的扩散容易度随着作用在涂布液上的表面张力而变化。
[0298]界面张力作为在例如液相与气相之间或者液相与固相之间等界面起作用的力而存在。例如，滴落至平坦的基板表面的水滴呈半球状态停住便是因为水滴内的水分子之间因范德华力而被向内侧拉拽而使水滴的表面积缩小这样地界面张力发生作用。另外，当使作为界面的表面的面积缩小地起作用的界面张力作用于液体时，将这种界面张力也称为该液体的表面张力。
[0299]由于液体的范德华力越大，这种液体的表面张力越大，因此该液体中含有的物质的原子量或分子量越大，该液体的表面张力就越大。因此，涂布于第二基板31上的涂布液的表面张力依赖于涂布液的种类而变化。
[0300]另一方面，涂布于第二基板31上的涂布液的扩散容易度除依赖于涂布液的种类以外，还依赖于第二基板31的表面的形状而变化。
[0301]如图35的截面图所示，表面张力从涂布液52的周围均匀地施加在例如涂布于与检测电极TDL分开的部分的第二基板31上的涂布液52上，因此涂布液52变得相对地难以扩散。另一方面，如图36的截面图所示，就被涂布于位于检测电极TDL周边的部分的第二基板31上并与检测电极TDL的侧面接触的涂布液52而言，只是从涂布液52的单侧施加表面张力，因此涂布液52变得易于沿着检测电极TDL的侧面扩散。
[0302]这样，如果涂布液52变得易于沿着检测电极TDL的侧面扩散，则在检测电极TDL的上表面中的靠近侧面的部分上，涂布液52也变得易于扩散。
[0303]因此，将由所涂布的涂布液52构成的涂布膜固化而形成的保护膜33不终止于部分PR2上，其从部分PRl上经过部分PR2上而形成到部分PR3上。
[0304]S卩，在比较例中，不能高精度地调整涂布于区域AR2的涂布液52的端部位置。因此，难以高精度地调整将由所涂布的涂布液52构成的涂布膜固化而形成的保护膜33的端部EPl的位置。因此，所形成的保护膜33的端部EPl可能超过所期望的位置或者没有到达所期望的位置。也就是说，检测电极TDL的电极端子ETl中的从保护膜33露出的部分的面积可能在多个检测电极TDL之间发生变动。
[0305]在比较例中，也与实施方式一同样地，检测电极TDL中的形成于区域AR3的部分PR3通过各向异性导电膜CFl而与形成于布线基板WSl的电极端子ET2电连接。S卩，检测电极TDL的电极端子ETl中的从保护膜33露出的部分与布线基板WSl电连接。
[0306]因此，如果如上所述，检测电极TDL的电极端子ETl中的从保护膜33露出的部分的面积在多个检测电极TDL之间发生变动，则检测电极TDL与布线基板WSl之间的连接电阻可能会在多个检测电极TDL之间发生变动，导致作为电极基板的性能下降。
[0307]例如，在保护膜33的端部EPl超过所期望的位置的情况下，保护膜33被形成于检测电极TDL中的形成于区域AR3的部分PR3上，检测电极TDL的电极端子ETl中的从保护膜33露出的部分的面积缩小。在这种情况下，检测电极TDL与布线基板WSl之间的连接电阻可能增大，导致作为电极基板的性能下降。
[0308]另一方面，在涂布液因涂布液的种类而难以流动的情况下，保护膜33的端部EPl可能无法到达检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分PR2的期望位置。在这种情况下，检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分PR2的一部分从布线基板WSl及保护膜33中露出，因此例如空气中的水分可能会侵入至露出部分的检测电极TDL而使检测电极TDL腐蚀。
[0309]在上述专利文献I?专利文献3所记载的技术中，为了调整所涂布的涂布液的扩散，需要在基板的表面形成亲液区域和疏液区域，由于进行用于形成这些亲液区域和疏液区域的工序而可能使制造工序数增加。并且，由于不能在形成于基板上的电极的表面容易地形成亲液区域和疏液区域，因此，不能高精度地调整涂布于形成在基板上的电极的表面的涂布液的扩散。
[0310]在上述专利文献4所记载的技术中，将干燥快的膜作为止动部涂布成框状，然后，涂布干燥慢但拉平效果优异的膜，因此可能导致制造工序数增加。并且，由于为了获得期望的干燥速度而使涂布液的材料受到限制，因此不能广泛地应用于实际的制造工序中。
[0311]需要注意的是，例如包括用于形成公共电极COML的第一基板21在内地，在通过利用喷墨法或电场喷射法将涂布液涂布成覆盖形成于基板上的电极的一部分而形成保护膜的各种电极基板中，调整所涂布的涂布液的端部位置均是困难的。
[0312]<本实施方式的主要特征与效果>
[0313]另一方面，在本实施方式一中，电极基板ES具有凹凸图案UE1。凹凸图案UEl形成于检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分PR2的表面，或者在区域AR2中的位于检测电极TDL周边的部分形成于第二基板31上。S卩，凹凸图案UEl在区域AR2中形成于检测电极TDL或第二基板31上。另外，在区域ARl以及AR2中以覆盖检测电极TDL的方式形成的保护膜33的区域AR3侧的端部EPl位于凹凸图案UEl上。
[0314]由此，在以覆盖检测电极TDL的方式形成保护膜33时，能够高精度地调整保护膜33的端部EPl的位置。因此，能够防止或抑制检测电极TDL的电极端子ETl中的从保护膜33露出的部分的面积在多个检测电极TDL之间发生变动。因此，能够防止或抑制检测电极TDL与布线基板WSl之间的连接电阻在多个检测电极TDL之间发生变动，能够使作为电极基板的性能提高。于是，能够使具有这种电极基板的显示装置的性能提高。
[0315]例如，能够防止或抑制保护膜33形成在检测电极TDL中的形成于区域AR3的部分PR3上，能够防止或抑制检测电极TDL的电极端子ETl中的从保护膜33露出的部分的面积缩小。因此，能够防止或抑制检测电极TDL与电极端子ET2之间的连接电阻变大，能够使作为电极基板的性能提尚。
[0316]另一方面，即使在涂布液难以流动的情况下，通过形成凹凸图案UE1，从而能够将保护膜33形成为保护膜33的端部EPl的位置到达检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分PR2的期望位置。因此，能够防止或抑制检测电极TDL中的形成于区域AR2的部分PR2的一部分从布线基板WSl及保护膜33中露出，能够防止或抑制由于例如空气中的水分侵入至露出部分的检测电极TDL而使检测电极TDL腐蚀。
[0317]并且，在本实施方式一中，不需要为了调整所涂布的涂布液的扩散而在第二基板31的表面形成亲液区域和疏液区域。因此，不需要进行用于形成亲液区域和疏液区域的工序，能够削减制造工序数。
[0318]进而，在本实施方式一中，不需要将干燥快的膜作为止动部而涂布成框状，并且不需要在其之后再涂布干燥慢但拉平效果优异的膜，因此能够削减制造工序数。另外，不会为了获得所期望的干燥速度而限制涂布液的材料，从而能够广泛地应用于实际的制造工序中。
[0319]需要说明的是，在上述实施方式一中，作为电极基板ES，以在带输入装置的显示装置中用作形成检测电极TDL的对置基板3的电极基板为例进行了说明。但是，上述实施方式一中的电极基板ES也能够例如包括用于形成公共电极COML的第一基板21在内地，应用在通过利用喷墨法或电场喷射法等印刷方法将涂布液涂布成覆盖形成于基板上的电极的一部分而形成保护膜的各种电极基板上(在以下的各实施方式中也同样)。
[0320](实施方式二)
[0321]在实施方式一中，对将具有作为输入装置的触摸面板的显示装置应用于显示装置的公共电极COML兼作输入装置的驱动电极的、in-cell类型的带触摸检测功能的液晶显示装置的例子进行了说明。与其相对地，在实施方式二中，对将具有作为输入装置的触摸面板的显示装置应用于显示装置的公共电极COML和输入装置的驱动电极分开形成的、in-cell类型的带有触摸检测功能的液晶显示装置的例子进行说明。
[0322]需要说明的是，本实施方式二的显示装置能够应用于在以液晶显示装置为首的、有机EL显示装置等各种显示装置中一体具有输入装置的in-cell类型的显示装置。
[0323](带触摸检测功能的显示器件)
[0324]图37是示出实施方式二的显示装置中的带触摸检测功能的显示器件的截面图。
[0325]本实施方式二的显示装置中的对置基板3的截面结构以外的各部分、例如俯视观察中的凹凸图案UE1(参照图12)的形状以及配置等均与实施方式一的显示装置中的对置基板3的截面结构以外的各部分同样，所以省略它们的说明。因此