一种基于透明导电涂层的触控面板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于触摸显示屏技术领域，特别涉及一种基于透明导电涂层的触控面板。
【背景技术】
[0002]触摸屏(Touch Screen)又称为“触控屏”、“触控面板”，是一种可接受触头等输入讯号的感应式显示装置，广泛应用于工业、医疗、通信领域的控制、信息查询及其他方面，被称为“指尖上的革命”。随着触控技术的发展和进步，未来触控技术必将引领移动终端和各种智能设备的发展方向。
[0003]触控技术其核心为触摸感知传感单元，较为广泛使用的为电容式传感器，其中透明导电薄膜是传感单元的重要组成部分，占据了触控产品的绝大部分成本。目前，触控技术中的透明导电薄膜主流使用的为氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。但是，产业对ITO的依赖孕育了巨大隐患。1)IT0中使用了大量金属铟，而In是战略稀缺金属，价格持续攀升，面临价格昂贵、资源稀缺的危机。2)IT0微加工过程中，大量使用强酸、强碱，即使不考虑资源和成本问题，ITO在环境保护上形成的巨大压力，环境治理高成本也是必须要解决的。3) ITO相关核心专利掌握在台湾、日本等国家和地区，中国大陆缺乏知识产权支撑。目前，作为广泛研宄的有望代替ITO的新型透明导电材料主要包括:ZnO基合金、低维纳米材料(包括纳米管、纳米线、石墨烯)、金属网格、导电高分子等。其中，氧化锌基透明导电薄膜(ZnO-TCL)具有可以和ITO媲美的电阻率和透光率，同时锌资源丰富、无毒、价格低、微加工无需强酸、强碱、环境友好，是替代ITO的最佳候选。
【发明内容】
[0004]鉴于上述状况，有必要提出一种制程无需使用强酸、强碱，环境友好无毒，且具有良好的导电和光学性能，资源丰富的新型透明导电薄膜的触控面板技术。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0006]一种基于透明导电涂层的触控面板，其特征在于，包括:
[0007]一基板及一形成在该基板下的透明导电涂层。
[0008]所述基板为玻璃层。
[0009]所述基板下表面上下边缘设置有装饰性油墨层。
[0010]所述透明导电涂层是通过金属化学气相沉积方式在基板下表面制得的。
[0011]所述透明导电涂层是一种金属氧化锌薄膜层，其厚度为10nm以下，透过率达到90%以上，方阻阻值达到100欧姆以下。
[0012]所述透明导电涂层表面实现触控用的驱动、感应线路以及边缘走线线路。
[0013]本实用新型提出的一种基于透明导电涂层的触控面板，采用金属化学气相沉积方法，以高反应活性、廉价的水或者乙醇作为氧源，三甲基锌作为锌源，三甲基铝或者三甲基镓作为掺杂源，在玻璃基板下表面制备金属氧化锌透明导电薄膜，再通过全激光蚀刻工艺实现触控用的驱动、感应线路以及边缘走线线路。由于氧化锌薄膜制程无需使用强酸、强碱，环境友好无毒，且具有良好的导电和光学性能。制备用的水或锌源，资源丰富，成本低。足以解决目前基于稀有金属铟制成ITO导电膜的触控导电面板资源匮乏、制程环境不友好等问题，为我国手机面板产业发展带来新的机遇。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型一种基于透明导电涂层的触控面板结构示意图；
[0015]图2是本实用新型一种基于透明导电涂层的触控面板平面示意图；
[0016]图3是本实用新型一种基于透明导电涂层的制备过程。
【具体实施方式】
[0017]为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
[0018]如图1，2所示，一种基于透明导电涂层的触控面板，其特征在于，包括:
[0019]一基板(I)及一形成在该基板下的透明导电涂层(2 )。
[0020]所述基板(I)为玻璃层。
[0021]所述基板(I)下表面上下边缘设置有装饰性油墨层(3)。
[0022]所述透明导电涂层(2)是通过金属化学气相沉积方式在基板(I)下表面制得的。
[0023]所述透明导电涂层(2)是一种金属氧化锌薄膜层，其厚度为10nm以下，透过率达到90%以上，方阻阻值达到100欧姆以下。
[0024]所述透明导电涂层(2 )表面实现触控用的驱动、感应线路以及边缘走线线路。
[0025]以上介绍了本实用新型一种基于透明导电涂层的触控面板的结构，本实用新型还揭示上述透明导电涂层的制造工艺，如图3，具体包括如下步骤:
[0026]步骤S1:基板的预处理；预处理为先将基板清洗完，再进行热风烘干后待用；清洗过程一般包括化学试剂清洗、超声波清洗、水清洗等；对于来料玻璃基板，清洗时优选超声波水洗。
[0027]步骤S2:镀金属氧化锌涂层；将进行完前置处理的基板下表面朝上放入MOCVD装置里，以高反应活性、廉价的水或者乙醇作为氧源，三甲基锌作为锌源，三甲基铝或者三甲基镓作为掺杂源，进行成核、外延生长到成膜的过程，形成完整的金属氧化锌涂层；在镀膜过程中，为降低成核温度，需在其中加低温籽晶种子层。
[0028]步骤S3:制作触控层图形:将镀有氧化锌涂层面朝上放在激光蚀刻机平台上，通过系统中图纸走线设计要求，进行激光蚀刻得到触控层图形。
[0029]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种基于透明导电涂层的触控面板，其特征在于，包括: 一基板及一形成在该基板下的透明导电涂层。
2.如权利要求1所述的一种基于透明导电涂层的触控面板，其特征在于，所述基板为玻璃层。
3.如权利要求2所述的一种基于透明导电涂层的触控面板，其特征在于，所述基板下表面上下边缘设置有装饰性油墨层。
4.如权利要求1所述的一种基于透明导电涂层的触控面板，其特征在于，所述透明导电涂层是通过金属化学气相沉积方式在基板下表面制得的。
5.如权利要求4所述的一种基于透明导电涂层的触控面板，其特征在于，所述透明导电涂层是一种金属氧化锌薄膜层，厚度为10nm以下，透过率达到90%以上，方阻阻值达到100欧姆以下。
6.如权利要求5所述的一种基于透明导电涂层的触控面板，其特征在于，所述透明导电涂层表面实现触控用的驱动、感应线路以及边缘走线线路。
【专利摘要】本实用新型公开了一种基于透明导电涂层的触控面板，包括一基板及一形成在该基板下的透明导电涂层。本实用新型提出的一种基于透明导电涂层的触控面板，采用金属化学气相沉积方法，以高反应活性、廉价的水或者乙醇作为氧源，三甲基锌作为锌源，三甲基铝或者三甲基镓作为掺杂源，在玻璃基板下表面制备金属氧化锌透明导电薄膜，再通过全激光蚀刻工艺实现触控用的驱动、感应线路以及边缘走线线路。由于氧化锌薄膜制程无需使用强酸、强碱，环境友好无毒，且具有良好的导电和光学性能。制备用的水或锌源，资源丰富、成本低，足以解决目前基于稀有金属铟制成ITO 导电膜的触控导电面板资源匮乏、制程环境不友好等问题，为我国手机面板产业发展带来新的机遇。
【IPC分类】G06F3-041
【公开号】CN204576464
【申请号】CN201520286490
【发明人】鱼光楠, 刘佳慧, 吴土祥, 徐丹婷
【申请人】深圳业际光电股份有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年5月6日