专利名称：将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施的制作方法
技术领域：
本发明通常涉及将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施，并且更具体地，涉及这 样一种设施，其包括由承载将要用源自蒸汽的润滑剂涂层涂覆的硬磁盘的盒子所横过的路 径，其中所述路径具有至少一个90°转弯。本发明的又一方面涉及将润滑剂涂层沉积在硬 磁盘上的设施，其中所述设施包括在真空环境中基本上同时将润滑剂涂层沉积在多个硬磁 盘上的布置。本发明的另一方面涉及将润滑剂涂层真空沉积在硬磁盘上的设施，其中承载 硬磁盘的多个盒子同时定位于装载和/或卸载真空锁中。本发明的附加方面涉及将润滑剂 涂层真空沉积在硬磁盘上的设施，其中承载硬磁盘的多个盒子同时定位于装载真空锁和用 来将蒸汽润滑剂涂层沉积在硬磁盘上的模块之间的缓冲地带中。本发明的另一个方面涉及 将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施，其中这个段落中前面阐明的特点结合起来。
背景技术：
Hughes等的美国专利6，183，831 (通过参考结合于此)公开了一种通过在真空环 境中将蒸汽(也就是，气态的)形式的润滑剂施加至硬磁盘的磁性层来用润滑剂薄膜涂覆 硬磁盘用的设施。润滑剂优选地是如美国专利5，776，577中公开的全氟聚醚(PFPE)。硬磁 盘装载入分别经由装载锁和卸载锁输送进出真空环境的盒子。真空环境包括其中单个磁盘 用润滑剂蒸汽涂覆的单个处理腔室。在单个加工间隔期间，磁盘在两侧上被涂覆。单个处 理腔室包括将硬磁盘从盒子提升入处理腔室的一部分中的提升叶片，盘在该部分中暴露至 润滑剂蒸汽。在涂覆操作已经完成之后，提升叶片将硬磁盘返回至硬磁盘最初由此提升的 盒子。单个磁盘在其中用润滑剂蒸汽涂覆的单个处理腔室处于12站圆盘传送器喷涂工具 的下游。在特定盒子中的所有磁盘都已经用润滑剂涂覆之后，盒子穿过卸载门进入卸载锁， 以完成处理。Hughes等的专利中描述的前述布置令人满意，但是仍能改进。Hughes等的专利中 描述的设施的整个处理速度以及空间台面面积分别能增大和降低。另外，存在着希望将润 滑剂薄膜沉积到硬磁盘上的设施是与形成完整硬磁盘的设施的其它部分分开的单独单元 的情况。
发明内容
本发明包括几个特点，每个包括用来将润滑剂涂层沉积在适合装载入盒子中的硬 磁盘上的设施。所述设施包括用于将盒子传送穿过包括真空装载锁和真空卸载锁的路径的 布置。所述路径还包括处于真空装载和卸载锁之间并且将润滑剂蒸汽沉积在硬磁盘上的真 空处理模块，其中沉积的润滑剂蒸汽在硬磁盘上形成润滑剂涂层。根据一个特点，所述路径布置为将盒子转动大约90°至少一次并且优选地两次。 优选地，真空装载和卸载锁都将盒子转动大约90°，以有助于提供具有较小台面面积的设 施，不过将理解到，仅装载或卸载锁能如此布置或转动布置能处于路径中别的地方。根据另一个特点，所述路径包括多个真空处理模块，它们用来将润滑剂蒸汽基本上同时地沉积到最初装载入多个盒子中的多个硬磁盘上。通过基本上同时地将润滑剂沉积 到多个硬磁盘上，生产率相对较高。另一个特点在于，装载和卸载锁中的至少一个布置为使得多个盒子能同时处于其 入口和出口区域之间。优选地，装载和卸载锁都布置为使得多个盒子能同时处于其入口和 出口区域之间，以有助于增大生产率。然而，将理解到，仅装载或卸载锁能如此布置。另一个特点在于，路径具有处于装载锁的出口区域和处理模块之间的缓冲区域， 其中缓冲区域布置为使得多个盒子能同时处于其中。使得多个盒子能同时处于其中的缓冲 区域有助于增大生产率。优选地，为了提供较高的生产率和较小的台面面积，设施是如此的以使得缓冲区 域布置为使得两个且不多于两个的盒子能同时处于其中，并且装载锁包括分别位于装载锁 的入口和出口区域处的第一和第二阀，而卸载锁包括分别位于卸载锁的入口和出口区域处 的第三和第四阀。装载锁布置为使得两个盒子能同时处于第一和第二阀之间，并且卸载锁 布置为使得两个盒子能同时处于第三和第四阀之间。真空装载和卸载锁布置为将盒子转动 大约90°。该设施包括布置为将润滑剂蒸汽同时沉积到两个硬磁盘上的两个处理模块。非常小的台面面积通过将该设施形成为在平面图中大约U形来实现，所述U形具 有第一和第二平行且长度基本上相等的腿部，腿部由与第一和第二平行腿部成直角的基座 连接在一起。第一和第二腿部分别包括装载和卸载锁并且基座包括缓冲区域和所述两个处 理模块。腿部之间的间隔和腿部的长度足以在U形内形成操作员区域，用来使得操作员能 (a)靠近定位于基座中的处理模块以便维护和维修工作；(b)在第一腿部的与其远离基座 的端部靠近的部分处，将其中具有硬磁盘的盒子装载到传送器装置上；以及(c)在第二腿 部的与其远离基座的端部靠近的部分处，将其中具有已经在处理模块中被涂覆的硬磁盘的 盒子从传送器装置移走。本发明的以上和其它目标、特点和优点在考虑下面对其具体实施例的详细描述 (尤其是在结合附图考虑时)之后将变得很明显。
图1是根据本发明的优选实施例的独立设施的透视图，该设施用于将润滑剂(润 滑油)蒸汽沉积在穿过设施中的路径传送的盒子中的硬磁盘上；图2是图1所示设施的平面视图，其中移走了装载和卸载锁上的盖子以及缓冲模 块；图3是图2的设施中装载锁和卸载锁的透视图；图4是图3中所示的结构的分解视图；图5是图3中所示的结构的一部分的透视图；图6是图5中所示的结构的分解视图；图7是图2的缓冲锁的一部分的透视图；图8是图7中所示的结构的分解视图；图9是图1和2中所示的处理模块的透视图；图10是图9中所示的结构的分解视图；图11是图9和10的处理模块之一的传输区段的透视图12是图11中所示的结构的分解视图。
具体实施例方式现在参照图1和2，其中用于将润滑剂涂层蒸汽沉积在盒子(比如盒子102)中的 硬磁盘上的独立式设施100放置于传送器126上，传送器126在检测到盒子的存在时将盒 子102传输入设施110的平行腿部之一中。用于传送器126的控制器安装于其中的机壳 104具有足部106，足部106的高度可调节以确保设施100和脚轮108的平坦性，以使得机 壳和设施不太费劲地移动。在平面视图中，如图2中所示，设施100大致成形为U形，U形包括由基座114连 接在一起的两个平行腿部110和112。机壳104还包括由基座120连接在一起的两个平行 腿部116和118，腿部110和112以及基座114分别固定地安装于基座120上。在腿部118 远离基座120的端部处，机壳104包括与基座120平行地延伸的附件122。附件122远离腿部118的端部与腿部116隔开以提供开口，用来使得操作员能进 入由机壳104的外壁形成的72—X96—矩形台面面积内的操作员区域124。在操作员区域 124内时，操作员将承载待由设施100中的润滑剂薄膜涂覆的硬磁盘的盒子装载到电机驱 动的辊式传送器装置126上，传送器装置126在设施100以及腿部116远离基座120的端 部之间延伸。类似的电机驱动的辊式传送器127在设施100和腿部118远离基座120的端 部之间延伸。适当的传送器装置可从华盛顿STRATUS自动化公司购得。在操作员区域114 内时，操作员将盒子装载到传送器装置126位于腿部116远离基座120的端部处的一部分 上。在操作员区域124内时，操作员从传送器装置127卸载包括已经由设施100中的润滑 剂蒸汽涂覆的硬磁盘的盒子，卸载出现于腿部118远离基座120的端部处。在盒子102已经装载到传送器装置126位于腿部116远离基座120的端部处的那 部分上之后，传送器装置将盒子传输穿过打开的螺线管致动的间门阀130进入装载锁132 的入口端。装载锁132包括彼此相连接的第一和第二区域134和136，并且其间没有闸门 阀，以使得两个区域中的压力相同。区域134和136的每个包括电机驱动的辊式传送器。 在闸门阀130打开并且盒子102装载入区域134和136时，在装载锁132的出口端处的螺 线管致动的闸门阀137闭合。区域134和136的每个足够长以使得仅单个盒子102能定位 于其中，从而使得两个盒子同时位于装载锁132中。在两个盒子102已经同时位于装载锁 132中之后，闸门阀130闭合。然后，安装在装载锁132上的真空泵138将装载锁132中的 压力从大气压降低至用于将盒子102传输至缓冲模块140的适当真空压力。装载锁132的区域136包括具有电机驱动的辊式传送器的90°转盘，比如可从 Stratus自动化公司购得的转盘。区域136中的转盘将装载入区域136中的盒子的纵向轴 线转动90°。因此，转盘将盒子102的纵向轴线从与腿部110的纵向对准转动至与基座114 的纵向对准。在闸门阀130打开并且两个盒子正由传送器装置126装载入装载锁132时， 在区域136中的转盘上的传送器与区域134中的传送器纵向地对准。在传送器装置126已经分别将第一个和第二个盒子102驱动入区域134和136，并 且闸门阀130和137已经闭合之后且泵138正泵送出装载锁132时，区域136中的转盘在第 一方向上转动90°。当在装载锁132中已经获得适合的真空压力并且最初在区域136中的 盒子102已经转动90°之后，闸门阀137打开并且传送器装置126在区域136中的部分将
6最初在区域136中的盒子移动穿过闸门阀137。然后，区域136中的转盘在第二方向(与第 一方向相反)上转动90°，以使得区域136中的传送器部分的纵向轴线再次与区域134中 的传送器部分的纵向轴线对准。然后，最初在区域134中的盒子102由区域134和136中 的传送器部分移动进入区域136。区域136中的转盘然后在第一方向上转动90°，以将最 初在区域134中的盒子的纵向轴线转动90°，从而使得其与基座114的纵向轴线对准。区 域136中的传送器然后将最初在区域134中的盒子纵向地移动穿过闸门阀137。然后闸门 阀137闭合并且转盘在第二方向上转动90°，然后闸门阀130打开。在闸门阀130打开并 且闸门阀137闭合时，两个另外的盒子装载入装载锁132并且重复前述过程。两个盒子102在已经穿过闸门阀137之后处于真空缓冲模块140中，模块140具有 两个对准且构造相同的区域142和144，这两个区域连接在一起。区域142和144在其间没 有闸门阀之下彼此连接，以使得这两个区域中具有相同的真空压力。区域142和144的每 个包括连接至真空泵的螺线管致动的粗抽阀(rough valve)，真空泵在缓冲模块中达到适 合的真空压力，使得能将润滑剂蒸汽涂覆在盒子102中的硬磁盘上。区域142和144的每 个还包括电机驱动的辊式传送器。在闸门阀137打开并且预先在装载锁132中的盒子102 由装载锁132和缓冲模块140中的传送器移动入缓冲模块140时，缓冲模块140的出口端 处的螺线管致动的闸门阀146闭合。区域142和144的每个足够长以便使得单个盒子102 能定位于其中，从而使得两个盒子同时位于缓冲模块140中。在传送器装置126已经将两 个盒子102装载于缓冲模块140中以使得第一个盒子在区域142中并且第二个盒子在区域 144中之后，闸门阀137闭合。在处理模块150准备接收缓冲模块140中的盒子中的磁性硬 盘时，闸门阀146打开并且缓冲模块140和处理模块150中的传送器将这两个盒子传输入 处理模块150。处理模块150包括两个连接在一起的对准且构造相同的区域152和154。区域152 和154彼此连接。区域152和154通过其间的螺线管致动的闸门阀155彼此连接，以使得 磁性硬盘在区域152中的处理不影响硬盘在区域154中的处理，反之亦然。为了有助于在 区域152和154的每个中维持适合的真空压力，每个区域承载单独的真空泵157，其在中间 没有阀之下直接连接至每个区域中的腔室。区域152和154的每个包括电机驱动的辊式传送器。在闸门阀146打开并且缓冲 模块140和处理模块150中的传送器分别将第一和第二盒子装载入区域152和154时，处 理模块150的出口端处的螺线管致动的闸门阀156闭合。每个区域152和154足够长以便 两个盒子102能同时定位于其中。在盘的涂覆期间，两个盒子102绝不会同时定位于区域 152或154中，尽管两个盒子同时处于处理模块150中。在两个盒子102已经定位于处理模 块150中以使得第一个盒子位于区域152中并且第二个盒子位于区域154中之后，闸门阀 146和156闭合。区域152和154的每个包括传输区段158和处理区段160。传输区段158的每个 包括(1)用于将盒子传输穿过特定区域152或154的电机驱动的辊式传送器，以及(2)用 于将特定区域中的盒子中的每个磁性硬盘分别提升入该区域的处理区段160的螺线管致 动的提升叶片组件。每个处理区段160能根据前述美国专利6，183，831中的公开来构造， 但是优选地根据2007年3月29日申请的名称为“经由包括选择性地打开和闭合的遮挡板 将润滑剂蒸汽施加至硬磁盘用的装置以及方法”的同样未决的共同受让的属于Petersen等的序列号No. 11/693,039中的公开来构造，该公开通过参照结合于此。在区域152和154中的提升叶片组件已经将区域152和154的每个中的磁性硬盘 分别从这些区域中的盒子提升入这些区域的处理区段160并且硬盘静止不动且在处理区 段160中处于适当的位置之后，区域152和154的处理区段160致动为将蒸汽润滑油薄膜 涂覆在区域152和154的两个处理区段中的磁性硬盘上。因此，润滑油薄膜能同时或大致 同时施加至已经提升入区域152和154的处理区段160中的位置处的两个不同的磁性硬盘 上。在磁性硬盘已经在特定区域152或154的处理区段160中处理之后，特定区域中 的提升叶片组件将已处理过的磁性硬盘返回至留在特定区域中的盒子。然后，特定区域中 的传送器装置将特定区域中的盒子向前移动入特定区域的传输区段158中，以使得盒子中 的下一个磁性硬盘在特定区域的提升叶片上方。下一个磁性硬盘然后从盒子提升入特定区 域的处理区段160并且重复这个处理直到已经涂覆特定盒子中的所有磁性硬盘。在区域152和154的盒子中的所有磁性硬盘都已经用润滑油薄膜涂覆之后，区域 152和154中的盒子的前面(也就是前沿)边缘分别紧邻闭合的闸门阀155和156。这时， 缓冲模块140和处理模块150之间的闸门阀146闭合。然后，闸门阀155和156打开并且 区域154中的传送器装置将在区域154中已处理过的盒子传送入卸载锁162的区域161，而 区域152和154中的传送器装置将在区域152中已处理过的盒子传送入区域154。在区域 154中已处理过的盒子迅速移动穿过卸载锁162的区域161并且在区域152中已处理过的 盒子然后迅速从区域154移动入卸载锁162的区域161，区域154没有处理事先在区域152 中已处理过的硬盘。在区域152中已处理过的盒子已经移动入卸载锁162的区域161之后，闸门阀156 闭合，然后闸门阀146打开，而闸门阀155保持打开。然后模块140和150中的传送器将缓 冲模块140中空载的两个盒子移动入处理模块150，并且重复这个过程。卸载锁162与装载锁132构造相同，除了卸载锁162中的转盘和阀以与装载锁132 相反的方式操作以外。因此，卸载锁162包括区域163以及90°转盘定位于此的区域161。 螺线管致动的出口闸门阀166位于区域163远离设施100的基座114的端部处。操作中，在区域154中已处理过的盒子已经从区域154穿过闸门阀156进入区域 161并且已经由区域161中的转盘在第一方向上转动90°并且被传输进入区域163之后， 区域161中的转盘在第二相反方向上转动90°并且在区域152中已处理过的盒子穿过闸门 156传输到区域161中的转盘上。然后闸门阀156闭合并且区域161中的转盘在第一方向 上转动90°以使得区域161和163中的盒子对准并且其纵向轴线在与腿部112相同的方向 上延伸。然后闸门阀166打开并且卸载锁162中的盒子传输至机壳装置的腿部118上的传 送器区段127。操作员从传送器区段127移走盒子，然后从盒子移走完成的磁性硬盘，盒子 被再次使用。现在参照图3-6，其中图3和4分别是装载锁132的透视图和分解透视图并且图5 和6分别是装载锁132的区域136的透视图和分解透视图。区域134和136分别包括金属 的立方体形壳体202和204。壳体202的底板包括通道(未示出)，其由螺线管致动的高真 空阀205选择性地结合至高真空涡轮泵138。阀205由壳体202的顶部上的压力传感器装 置207控制。
壳体202包括一对平行壁205 (仅示出其中的一个)，其中定位有盒子102穿过其 中的对准的孔径206 (仅示出其中的一个)，而壳体204包括壁208和210，它们彼此成直 角并且分别包括盒子穿过其中的孔径212和214。包括孔径218的垫片216位于壳体202 和204的相邻平行壁205和208之间并且与之邻接。孔径206、212和218彼此对准并且在 闸门阀130打开时与闸门阀130中的孔径220对准，以使得盒子由壳体202的底部中的电 机驱动的传送辊222传输穿过打开的孔径220进入壳体204。辊222由壳体202承载的电 机225驱动。孔径220由相对于孔径220驱动遮挡板(未示出)上下的杆222中的螺线管 (未示出)选择性地打开和闭合。与闸门阀130构造相同的闸门阀137包括与壳体204的 壁210中的孔径214对准的孔径224。壳体204的底板包括转盘226，其由壳体204承载的电机228绕着竖直轴线顺时 针和逆时针地转动90°。转盘226承载由电机228驱动的传送辊230。离合器装置(未示 出)使得电机228在相互排斥的时刻驱动转盘226和辊230，这是必要的，因为壳体204中 的盒子一直被纵向地驱动并且在相互排斥的时刻转动。电机228和连接至此的离合器由安 装在壳体204的顶板上的位置传感器装置232控制。现在参照图7和8，它们分别是缓冲模块140的区域142的透视图和分解透视图。 由于缓冲模块140的区域142和144相同，所以仅示出和描述区域142。区域142包括金属的立方体形壳体302，其底板包括连接至粗抽阀306的通道 304，粗抽阀306选择性地连接至低速真空泵(未示出)。粗抽阀306包括由螺线管308选 择性地打开和闭合的遮挡板(未示出)。通常，阀306的遮挡板保持打开并且壳体302的内 部通常保持处于真空状态。阀306的遮挡板闭合，用于区域142的维护。壳体302包括平行的壁310和312，其中分别定位有盒子102穿过其中的对准的孔 径314和316。面板318承载传送辊320和驱动传送辊的电机322。面板318固定地安装 在壁324上，壁324处于壁310和312之间并且与它们成直角。面板318套在壁322中的 矩形开口 324上，引起辊320以及捕获辊并且由面板318承载的通道326固定地安装在壳 体302内部。壳体302还包括与壁322平行的壁328。壁328包括通常由圆形板332覆盖的圆 形孔眼330。在板332从孔眼330移走时，壳体302内的部件能通过孔眼维护。壳体302的 顶板承载用来控制驱动传送辊320的电机322的位置传感器装置334。现在参照图9-12，其中图9和10分别是处理模块150的透视图和半分解透视图， 并且图11和12分别是处理模块150的区域152和154之一的传输区段158的透视图和半 分解透视图。由于区域152和154基本上相同，所以仅描述区域152。区域152包括金属壳体402，其成形为包括两个平行壁404 (仅示出其中的一个) 的直角平行六面体。壁404包括盒子102能穿过其中的对准的孔径406。平行的壁404与 壁408 (仅示出其中的一个)成直角，在壁404之间的长度比两个纵向地对准的盒子的长度 稍微要大。区域152中的孔径406与区域154中的相应孔径以及与图4的闸门阀130相同 的螺线管致动的闸门阀155的孔径408对准。闸门阀155在区域152和154的相邻表面 404之间，以使得阀155的相反表面邻接区域152和154的相邻表面404。壳体402的底板和顶板410包括对准的细长槽412，每个槽具有与壁404平行的纵 向轴线(壳体402的底板以及底板中的槽未示出)。壳体402的底板中的槽定尺寸和定位为使得由提升叶片组件416承载的螺线管致动的提升叶片414能延伸穿过底板的槽，以啮 合壳体402的盒子中的磁性硬盘并将其提升进入处理区段160。顶板410中的槽412定尺 寸和定位为使得已经由叶片414从传输区段158中的盒子提升的磁性硬盘被驱动进入处理 区段160。推进盒子穿过壁404之间的壳体402并且有助于移动盒子穿过开口 406的电机驱 动的辊式传送器418大致延伸穿过壁404之间的壳体的长度。由两个顺序的纵向对准的部 分构成的传送器418由板420以与传送器320由板318承载的类似方式承载。传送器418 的这两个部分分别由被板420承载的电机422驱动。固定地安装在壳体402的顶板上的处理区段160包括涂覆腔室424以及固定地安 装在涂覆腔室的相反外表面上的蒸汽源426和428。蒸汽源426和428同时将润滑油蒸汽 供应至磁性硬盘的相反平行表面，磁性硬盘已经由叶片414提升穿过槽412进入涂覆腔室 424。处理区段160包括传感器装置，在特定磁性硬盘已接收适当数量的蒸汽润滑油时，该 传感器装置确定导出信号。该信号控制提升叶片414的螺线管驱动器，以引起提升叶片降 低从而将已处理过的磁性硬盘从涂覆腔室424移走。由于分开的磁性硬盘通常同时处于区 域152和154的涂覆腔室424中，所以四个磁性硬盘表面通常同时由润滑油涂覆。虽然已描述和示出了本发明的具体实施例，但是很清楚，具体示出和描述的实施 例的细节变化可不脱离如所附权利要求限定的真实精神和范围之下做出。举例来说，设施 100的U形不是一直必要的，并且不是一直需要使用能一次处理两个盒子的装载锁、卸载 锁、缓冲模块和处理模块。然而，U形设施和一次能处理两个盒子的装载锁、卸载锁、缓冲模 块以及处理模块在提供高生产速度的同时最小化台面面积方面提供了最佳的折中。
权利要求
一种将润滑剂涂层沉积在适合装载于盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括用来将盒子传送穿过一路径的装置，所述路径包括(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁，以及(c)用来将润滑剂蒸汽沉积到硬磁盘上的真空处理模块，所述处理模块布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑剂涂层，所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间，所述路径布置为至少一次将盒子转动大约90°。
2.根据权利要求1的设施，其中真空装载锁和真空卸载锁中的至少一个是布置为将盒 子转动90°的路径的一部分。
3.根据权利要求2的设施，其中装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第 一和第二阀，卸载锁包括分别位于卸载锁的入口和出口区域处的第三和第四阀，装载锁布 置为使得多个盒子能同时处于第一和第二阀之间，卸载锁布置为使得多个盒子能同时处于 第三和第四阀之间。
4.根据权利要求3的设施，其中所述路径包括多个处理模块，这些处理模块布置为将 润滑剂蒸汽同时沉积在最初装载入多个盒子中的多个硬磁盘上。
5.根据权利要求4的设施，其中所述路径包括在装载锁的第二阀与第一个处理模块之 间的多个缓冲模块，所述多个缓冲模块布置为使得多个盒子能同时处于所述多个缓冲模块 中。
6.根据权利要求2的设施，其中装载和卸载锁都布置为将盒子转动大约90°。
7.根据权利要求2的设施，其中装载锁布置为将盒子转动大约90°。
8.根据权利要求2的设施，其中卸载锁布置为将盒子转动大约90°。
9.根据权利要求1的设施，其中装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第 一和第二阀，所述路径还包括在装载锁的第二阀和处理模块之间的多个缓冲模块，所述多 个缓冲模块布置为使得多个盒子能同时处于所述多个缓冲模块中。
10.根据权利要求1的设施，其中所述路径包括多个处理模块，所述处理模块布置为将 润滑剂蒸汽同时沉积在最初装载入多个盒子中的多个硬磁盘上。
11.一种将润滑剂涂层沉积在适合装载入盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括 用来将盒子传送穿过一路径的布置，所述路径包括(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁，以及 (c)多个真空处理模块，其布置为将润滑剂蒸汽基本上同时沉积到最初装载入多个盒子中 的多个硬磁盘上，所述多个处理模块布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑 剂涂层，所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间。
12.—种将润滑剂涂层沉积在适合装载入盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括 将盒子传送穿过一路径的布置，所述路径包括(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁，以及(c) 用来将润滑剂蒸汽沉积在硬磁盘上的真空处理模块，所述处理模块布置为使得沉积的润滑 剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑剂涂层，所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间；装载 锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第一和第二阀，卸载锁包括分别位于卸载锁 的入口和出口区域处的第三和第四阀；装载锁和卸载锁中的至少一个布置为使得多个盒子 能同时处于其阀之间。
13.根据权利要求12的设施，其中装载和卸载锁都布置为使得多个盒子能同时处于其 阀之间。
14.根据权利要求12的设施，其中装载锁布置为使得多个盒子能同时处于其阀之间。
15.根据权利要求12的设施，其中卸载锁布置为使得多个盒子能同时处于其阀之间。
16.根据权利要求12的设施，其中所述路径还包括在装载锁的出口区域与处理模块之 间的缓冲区域，所述缓冲区域布置为使得多个盒子能同时处于该缓冲区域中。
17.一种将润滑剂涂层沉积在适合装载入盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括 将盒子传送穿过一路径的传送器装置，所述路径包括(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁， (c)用来将润滑剂蒸汽沉积在硬磁盘上的真空处理模块，以及(d)缓冲区域；所述处理模块 布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑剂涂层，所述处理模块位于真空装载 锁和卸载锁之间，装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第一和第二阀；卸载 锁包括分别位于卸载锁的入口和出口区域处的第三和第四阀；缓冲区域处于装载锁的出口 区域和处理模块之间，缓冲区域布置为使得多个盒子能同时处于该缓冲区域中。
18.根据权利要求17的设施，其中缓冲区域布置为使得两个且仅仅两个盒子同时处于 其中，装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第一和第二阀，卸载锁包括分别 位于卸载锁的入口和出口区域处的第三和第四阀，装载锁布置为使得两个且仅仅两个盒子 同时处于第一和第二阀之间，卸载锁布置为使得两个且仅仅两个盒子同时处于第三和第四 阀之间，真空装载和卸载锁布置为将盒子转动大约90°，并且所述设施包括两个且至多两 个处理模块，所述处理模块布置为将润滑剂蒸汽同时沉积在两个且至多两个硬磁盘上。
19.根据权利要求18的设施，其中所述设施在平面视图中大致成形为U形，所述U形 具有由基座连接在一起的第一和第二平行的腿部，所述基座与第一和第二平行的腿部成直 角，第一腿部包括装载锁，第二腿部包括卸载锁，并且所述基座包括缓冲区域和所述两个处 理模块，腿部之间的间隔以及腿部的长度足以在U形内形成操作员区域，用来使得操作员 能(a)在第一腿部的与其远离基座的端部靠近的部分处，将其中具有硬磁盘的盒子装载 到传送器装置上，以及(b)在第二腿部的与其远离基座的端部靠近的部分处，将其中具有 已经在处理模块中被涂覆的硬磁盘的盒子从传送器装置移走。
20.根据权利要求19的设施，其中腿部具有基本上相同的长度。
全文摘要
一种将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施，包括装载和卸载真空锁，其中承载将用润滑剂涂层涂覆的硬磁盘的盒子被转动90°。润滑剂涂层在处理模块中同时沉积在多个硬磁盘上。承载硬磁盘的多个盒子同时定位于装载和卸载真空锁中。承载硬磁盘的多个盒子同时定位于装载真空锁和用来沉积润滑剂涂层的模块之间的缓冲地带中。
文档编号G11B5/84GK101821801SQ200880016737
公开日2010年9月1日 申请日期2008年4月21日 优先权日2007年4月20日
发明者P·卡尔 申请人:因特瓦克公司