一种基于忆阻器的三维结构存储器的制造方法_2

文档序号:9106885阅读:来源:国知局
Z向地址缓冲器分别与控制电路电性连接。当有数据写入时,控制电路发出指令将数据分别分发至X向地址缓冲器、Y向地址缓冲器和Z向地址缓冲器,以便于控制电路以相应的速度将数据存入三维存储片中。
[0025]在本技术方案中,所述地址译码装置包括X向译码器、Y向译码器和Z向译码器,所述X向译码器与X向地址缓冲器电性连接,所述Y向译码器与Y向地址缓冲器电性连接,所述Z向译码器与Z向地址缓冲器电性连接,X向译码器、Y向译码器和Z向译码器分别与控制电路电性连接。当数据经X向地址缓冲器、Y向地址缓冲器和Z向地址缓冲器写入时,其相应的数据需要编译三维存储片中的地址,此时,所述X向译码器、Y向译码器和Z向译码器提供存储地址,控制电路根据存储地址将数据写入;同时,当读出数据时,控制电路发出读取指令,所述X向译码器、Y向译码器和Z向译码器根据指令进行寻址,控制电路再根据存储地址取出数据。
[0026]数据在存储时,通常是转换为二进制码进行存储,在存储中具体的表示形式为“ I ”和“0”,在本技术方案中,所述忆阻器存储单元包括从上至下依次设置的上电极1、存储介质层2、下电极3和用于引导出下电极3的下电极引导层4。本忆阻器工作时,在加载电流或电压后,存储介质层2内部的高低电阻状态发生改变;进一步定义高阻值、低阻值对应“1”、“ O ”,从而实现数据存储。
[0027]作为进一步的改进,所述存储介质层2包括从上至下依次叠加的N型半导体层和P型半导体层,所述N型半导体层通过金属Pt纳米线与上电极I电连接,所述P型半导体层通过金属Pt纳米线与下电极3电连接。
[0028]进一步的,所述N型半导体层、P型半导体层分别可为Ag、T1、Cu、Ta、W、Pt、Au、TiW和氧化石墨稀中的任意一种材料制成,当然,作为优选,所述存储介质层2为氧化石墨稀(英文为:graphene oxide,简称G0),即所述上电极1、存储介质层2、下电极3分别为AL、G0,AL ;经过多次实验发现,利用AL/IT0 (金属氧化物)或AL/Pt为上电极1、下电极3的组合时,阻变特性更稳定;由于氧化石墨烯其带隙可调,可以在室温条件下加工,可更广泛的用于本存储器中,具体地说,氧化石墨烯带隙的变化使其可以由绝缘体向半导体转变,而温度对氧化石墨烯的影响小,较大的费米速度和低接触电阻则有助于进一步减小器件响应时间,超高频率的操作响应特性使其数据读写速度更快。
[0029]在本技术方案中,所述N型半导体层、P型半导体层的厚度为60~300nm之间。当然,在实际应用中,所述N型半导体层为70±5nm,所述P型半导体层为80nm±5为最佳,在该范围值内,可以更好的保证薄膜的连续引出,而且还可以保证厚度适中。
[0030]以上内容仅为本实用新型的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本实用新型的思想,在【具体实施方式】及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
【主权项】
1.一种基于忆阻器的三维结构存储器,包括存储器基体、控制电路和地址缓冲装置,所述控制电路设置于存储器基体内,所述地址缓冲装置与控制电路电性连接,其特征在于:还包括地址译码装置及与地址译码装置电性连接的阵列存储装置,所述地址译码装置与地址缓冲装置电性连接,所述阵列存储装置还连接有放大电路,所述放大电路连接有输出缓冲器。2.根据权利要求1所述的一种基于忆阻器的三维结构存储器,其特征在于:所述阵列存储装置包括若干个三维存储片,所述若干个三维存储片以矩阵串连或并联,所述三维存储片包括若干个忆阻器存储单元,若干个忆阻器存储单元以三维堆栈架构。3.根据权利要求2所述的一种基于忆阻器的三维结构存储器,其特征在于:所述忆阻器存储单元的尺寸为30nm X 30nmo4.根据权利要求1所述的一种基于忆阻器的三维结构存储器,其特征在于:所述地址缓冲装置包括X向地址缓冲器、Y向地址缓冲器和Z向地址缓冲器,所述X向地址缓冲器、Y向地址缓冲器和Z向地址缓冲器分别与控制电路电性连接。5.根据权利要求4所述的一种基于忆阻器的三维结构存储器,其特征在于:所述地址译码装置包括X向译码器、Y向译码器和Z向译码器,所述X向译码器与X向地址缓冲器电性连接,所述Y向译码器与Y向地址缓冲器电性连接,所述Z向译码器与Z向地址缓冲器电性连接,X向译码器、Y向译码器和Z向译码器分别与控制电路电性连接。6.根据权利要求2所述的一种基于忆阻器的三维结构存储器,其特征在于:所述忆阻器存储单元包括从上至下依次设置的上电极(1)、存储介质层(2)、下电极(3)和用于引导出下电极(3)的下电极引导层(4)。7.根据权利要求6所述的一种基于忆阻器的三维结构存储器,其特征在于:所述存储介质层(2)包括从上至下依次叠加的N型半导体层和P型半导体层,所述N型半导体层通过金属Pt纳米线与上电极(I)电连接,所述P型半导体层通过金属Pt纳米线与下电极(3)电连接。8.根据权利要求7所述的一种基于忆阻器的三维结构存储器,其特征在于:所述N型半导体层、P型半导体层分别可为Ag、T1、Cu、Ta、W、Pt、Au、TiW和氧化石墨稀中的任意一种材料制成。9.根据权利要求7所述的一种基于忆阻器的三维结构存储器,其特征在于:所述N型半导体层、P型半导体层的厚度为60~300nm之间。
【专利摘要】本实用新型涉及存储器技术领域,公开了一种基于忆阻器的三维结构存储器,包括存储器基体、控制电路和地址缓冲装置,所述控制电路设置于存储器基体内,所述地址缓冲装置与控制电路电性连接,还包括地址译码装置及与地址译码装置电性连接的阵列存储装置,所述地址译码装置与地址缓冲装置电性连接,所述阵列存储装置还连接有放大电路,所述放大电路连接有输出缓冲器;本三维结构存储器采用忆阻器作为存储介质,利用忆阻器的堆栈特性,实现大容量的存储,而且,由于忆阻器的能耗低,使整体的存储器能耗大幅下降,本存储器还具有结构简单的优点。
【IPC分类】G11C13/00
【公开号】CN204760039
【申请号】CN201520542506
【发明人】谭志平, 田立伟, 莫夫, 余亮
【申请人】广东科技学院
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2015年7月24日
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