专利名称：基板检查装置、基板检查方法、检查条件管理系统及部件安装系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及到一种在把电子部件安装到电路基板的安装线等中检查基板的基板检查装置、基板检查方法、检查条件管理系统及部件安装系统。
背景技术：
在现有技术中，将焊料印刷装置(或者点胶机)、安装装置、回流炉等排列为一列来构建生产线，并通过在搬送电路基板的同时使其经过各装置而将电子部件安装到基板上。
在这种生产线中，例如对各个装置在其下游侧设置检查装置，检查对电路基板实施的处理(操作)内容，当判断存在处理不良时，根据需要将该基板从生产线上卸落，并反馈检查结果，使其反映到下一个基板的处理中(参照特许第3283275号公报)在这种生产线中，一般根据预先固定设定的检查时序、检查内容通过各检查装置检查基板(处理)，在这一点上存在改善的余地。
即，例如在通过安装装置进行完部件搭载后的检查中，通常对所有基板每次均以相同的检查等级实施所有点检查(所有部件搭载位置的检查)，此时的检查等级在可满足必要的产品精度的范围内设定得比较宽松，即允许值设定得较大。这是因为如果将检查等级设定得较高，则产品的可靠性虽然提高，但从生产线上卸落的基板会增加，生产性会明显下降。但是在这种生产线中，理想的状态是可保持产品的可靠性的同时确保较高的生产性。
因此，期望检查时序、检查内容也根据基板种类、处理内容进行灵活的对应，在保持产品的可靠性的同时确保较高的生产性。
并且，当生产线中包括多个检查装置时，即使各检查装置以共同的检查等级进行检查，各检查装置的检查结果中也可能产生矛盾，这种情况下的对策，也存在改善的余地。
发明内容
本发明正是鉴于以上事实而提出的，其目的在于在将电子部件安装到电路基板的安装线等中，确保较高的生产性的同时提高产品基板的可靠性。
并且另一目的还在于，迅速解决在工序间出现矛盾的检查结果的故障，顺利地推进基板的生产。
为了解决上述课题，本发明的基板检查装置，设置在一边依次搬送多个基板一边向基板实施糊剂涂敷、部件安装、回流中的至少一个处理的处理装置的下游侧，通过摄像单元对实施了上述处理的基板进行拍摄，并根据所拍摄的图像数据检查上述处理是否良好，其特征在于，具有判断单元，根据通过上述摄像单元拍摄的基板的图像数据判断上述处理是否良好；存储单元，存储与检查时序相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的上述参数设定检查时序；和控制单元，对上述摄像单元及判断单元进行控制，以在通过该设定单元设定的检查时序下，且根据对该检查时序预先设定的检查内容而实施上述检查，其中，上述设定单元构成为，可由与检查时序相关的上述参数设定多个时序。
在该装置中，根据摄像单元的基板拍摄结果(图像数据)，在判断单元中进行处理是否良好的判断。在该装置中，在根据操作人员对设定单元的操作而任意设定的检查时序下，且根据对该检查时序预先固定设定的检查内容进行基板的拍摄及基于判断单元的是否良好的判断。并且，当操作人员选定了多个时序时，在各个时序下，根据对各个时序根据预先固定设定的检查内容进行基板的拍摄及是否良好的判断。
并且，本发明的其他基板检查装置，设置在一边依次搬送多个基板一边向基板实施糊剂涂敷、部件安装、回流中的至少一个处理的处理装置的下游侧，通过摄像单元对实施了上述处理的基板进行拍摄，并根据所拍摄的图像数据检查上述处理是否良好，其特征在于，具有判断单元，根据通过上述摄像单元拍摄的基板的图像数据判断上述处理是否良好；存储单元，存储与检查内容相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的上述参数设定检查内容；和控制单元，对上述摄像单元及判断单元进行控制，以在预先设定的检查时序下，且根据通过上述设定单元设定的检查内容而实施上述检查，其中，上述设定单元构成为，当作为上述检查时序预先设定了多个检查时序时，可对应各个检查时序单独设定检查内容。
在该装置中，也根据摄像单元的基板拍摄结果(图像数据)在判断单元中进行处理是否良好的判断，但在该装置中，在预先固定设定的时序下，且根据由操作人员对设定单元的操作而任意设定的检查内容进行基板的拍摄及基于判断单元的是否良好的判断。并且，当多个时序预先固定设定时，按照各时序，根据由操作人员任意设定的检查内容进行基板的拍摄及是否良好的判断。
进一步，本发明的其他基板检查装置，设置在一边依次搬送多个基板一边向基板实施糊剂涂敷、部件安装、回流中的至少一个处理的处理装置的下游侧，通过摄像单元对实施了上述处理的基板进行拍摄，并根据所拍摄的图像数据检查上述处理是否良好，其特征在于，具有判断单元，根据通过上述摄像单元拍摄的基板的图像数据判断上述处理是否良好；存储单元，存储与检查内容相关的参数及与检查内容相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的上述参数设定检查时序及检查内容；和控制单元，对上述摄像单元及判断单元进行控制，以根据通过该设定单元设定的检查时序及检查内容而实施上述检查，其中，上述设定单元构成为，可由与检查时序相关的上述参数设定多个时序，且可对应各个该设定时序单独设定检查内容。
在该装置中，也根据摄像单元的基板拍摄结果(图像数据)在判断单元中进行处理是否良好的判断，但在该装置中，根据由操作人员对设定单元的操作而任意设定的检查时序及检查内容进行基板的拍摄及基于判断单元的是否良好的判断。并且，当通过操作人员选定多个时序，且对应各时序设定检查内容时，在各时序下，根据与各个时序对应的检查内容进行基板的拍摄及是否良好的判断。
在上述的基板检查装置中优选的是，作为与检查内容相关的上述参数，预先存储作为精密程度的检查等级，控制单元根据与所设定的检查等级对应的检查内容实施上述检查。
根据该装置，例如作为上述检查时序，设定对各个基板实施检查的第一时序和对特定基板实施检查的第二时序(任意或者预先固定地设定)，且设定检查等级，使得与第一时序下实施的检查相比，第二时序下实施的检查的精密程度高，并根据该设定内容实施基板的检查，从而可进行高效的、有层次的检查。即，可以对各基板实施简单的检查(精密程度低的低等级检查)，并对规定的基板、例如对成批的初始产品和最终产品的基板进行精密检查(精密程度高的高等级检查)。
并且，在上述基板检查装置中，上述设定单元可以构成为，进一步可在设定时序中设定通过手动操作来进行检查的时序，上述控制单元可以构成为，对于通过上述手动操作进行检查的时序，等待操作人员的指示操作来执行检查。
根据该装置，对于特定的时序的检查，操作人员可在照管的状态下进行检查，因此在要求进行包括目测在内的更细致的检查时是有用的。
并且，本发明是一种部件安装线的检查条件管理系统，具有多个处理装置，包括糊剂涂敷装置、部件安装装置及回流装置中的至少两个；和检查装置，在各处理装置进行处理后，分别根据图像识别检查对应基板，并且，对多个检查装置之间共同的或相互关联的检查项目进行检查，其特征在于，具有判断单元，根据共同的基板的各检查装置中的检查结果，对于上述共同或关联的检查项目，判断在检查装置间检查结果有无矛盾；和条件改变单元，当通过该判断单元判断存在矛盾时，在检查结果中产生矛盾的检查装置中的任意一个检查装置中，改变上述共同或关联的检查项目的检查条件。
根据该构成，当对于共同或关联的检查项目在检查装置间出现矛盾的检查结果时，对应的检查装置中的任意一个检查装置的该项目的检查条件通过条件改变单元自动改变，之后根据改变后的检查条件实施该项目的检查。因此，通过预先根据检查项目适当设定条件改变单元的具体的改变内容，可对于共同或关联的检查项目消除在检查装置间矛盾的检查结果持续下去的问题。并且，“共同或关联的检查项目”是指，由于检查对象相同，因而一方的检查结果和另一个检查结果通常处于一致关系的检查项目，或者虽然检查对象不同但检查对象之间有关联性，双方的检查结果通常处于一致关系的检查项目。
在上述构成中优选的是，上述条件改变单元在满足以下至少一方的条件时改变上述检查条件连续的规定个数的基板检查结果中产生上述矛盾；或者规定个数的基板检查结果中超过规定比率产生上述矛盾。
根据该构成，可排除检查结果的矛盾例如是由于测定值的误差等而产生的一时性矛盾的情况。因此可有效防止检查条件频繁改变，检查的可靠性受损。
在上述构成中优选的是，上述回流装置包含在部件安装线中时，上述条件改变单元在回流处理后的检查结果和在回流处理前所实施的处理的该处理后的检查结果产生矛盾时，仅改变在回流处理前所实施的处理的该处理后的检查中的上述检查条件。
即，当检查结果中产生矛盾时，问题在于改变哪一个检查装置的检查条件，但在包括回流装置的部件安装线中，回流处理后的检查是最终阶段的检查，其条件一般较为严格，检查结果的可靠性高。因此，当回流处理后的检查结果和回流处理前的检查结果之间产生矛盾时，改变该前工序的检查的检查条件是恰当、合理的。
并且作为此时的具体构成，例如在部件安装处理后及回流处理后，分别根据规定的允许值判断部件的安装误差是否合格时，上述条件改变单元作为检查条件使部件安装处理后的检查中的上述允许值增减改变预先设定的值。
根据该构成，在部件安装处理后及回流处理后的安装误差的检查中，当出现互相矛盾的检查结果时，对于部件安装处理后的检查，作为其检查条件的允许值增减改变规定值。
并且作为其他具体构成，例如在糊剂涂敷处理后及回流处理后，分别根据规定的允许值判断糊剂的涂敷量是否合格，上述条件改变单元，作为检查条件使糊剂涂敷处理后的检查中的上述允许值增减改变预先设定的值。
根据上述构成，在糊剂涂敷处理后及回流处理后的糊剂涂敷量的检查中，当出现互相矛盾的检查结果时，对糊剂涂敷处理后的检查，作为其检查条件的允许值增减改变规定值。
另一方面，本发明其他的检查条件管理系统，是一种部件安装线的检查条件管理系统，具有多个处理装置，包括糊剂涂敷装置、部件安装装置及回流装置中的至少两个；和检查装置，在各处理装置进行处理后，分别根据图像识别检查对应基板，并且，对多个检查装置之间共同或互相关联的检查项目进行检查，其特征在于，具有显示单元，可显示与基板的生产相关的各种信息；判断单元，根据共同的基板的各检查装置中的检查结果，对于上述共同或关联的检查项目，判断在检查装置间检查结果有无矛盾；和显示控制单元，当通过该判断单元判断存在矛盾时，将上述共同或关联的检查项目、及与该项目相关的各检查装置的检查条件中的至少一方的信息通过上述显示单元与可确定对应的检查装置的信息一起进行画面显示。
根据该构成，当对于共同或关联的检查项目在检查装置间出现矛盾的检查结果时，与该检查项目及对应项目相关的各检查装置的检查条件中的至少一方的信息、及可确定对应的检查装置的信息通过显示单元被显示。这样一来，操作人员可迅速地确定检查结果中产生矛盾的检查装置、检查项目、检查条件，可根据需要改变检查条件等，进行迅速的对应，其结果是，可对于共同或关联的检查项目消除在检查装置间矛盾的检查结果持续下去的问题。
另一方面，本发明的部件安装系统具有多个处理装置，在糊剂涂敷装置、部件安装装置及回流装置中至少包括部件安装装置；和多个检查装置，在各处理装置进行处理后，分别根据图像识别检查对应基板，其特征在于，具有判断单元，根据共同的基板的各检查装置中的检查结果，对于上述共同或关联的检查项目，判断在检查装置间检查结果有无矛盾；和条件改变单元，当通过该判断单元判断存在矛盾时，在检查结果中产生矛盾的检查装置中的任意一个检查装置中，改变上述共同或关联的检查项目的检查条件。
根据该部件安装系统，当对于共同或关联的检查项目在检查装置间出现矛盾的检查结果时，对应的检查装置中的任意一个检查装置的该项目的检查条件通过条件改变单元自动改变，之后根据改变后的检查条件实施该项目的检查。因此，通过预先根据检查项目适当设定条件改变单元的具体的改变内容，可对于共同或关联的检查项目消除在检查装置间矛盾的检查结果持续下去的问题。
并且，在该部件安装系统中，上述多个检查装置中的至少一个检查装置可以相对进行作为检查对象的处理的处理装置一体地设置。例如使处理装置的构成的一部分作为检查装置的构成的一部分而共有，从而使检查装置相对处理装置一体化。
另一方面，本发明的处理装置，组装在上述的部件安装系统中，所述处理装置具有显示单元，当通过上述判断单元判断存在矛盾时，可将上述共同或关联的检查项目、及与该项目相关的各检查装置的检查条件中的至少一方的信息与可确定对应的检查装置的信息一起进行画面显示。
根据本发明的基板检查装置，可任意设定检查时序或检查内容中的任意一方，或者双方，检查时序、检查内容的设定自由度较高。因此，通过对各基板实施简单的检查(在可满足必要的产品精度的范围下较为宽松的检查)，可保持较高的基板生产性，同时通过对成批的初次产品和最终基板实施精密的检查，可事前察觉不良的发生并采取对策。因此，可进行高效的、有层次的检查，其结果是，可保持较高的生产性，并提高产品基板的可靠性。
图1是表示适用了本发明的电路基板的生产线的示意图。
图2是表示安装检查装置的俯视简图。
图3是表示安装检查装置的主视简图。
图4是表示安装检查装置的控制系统的框图。
图5是表示控制部主体中用于执行基板检查的功能构成的框图。
图6是表示检查点(安装点)和检查等级的关系(数据例)的图。
图7是表示LCD中显示的检查时序及检查等级的设定例的图。
图8是表示控制装置对检查处理动作进行控制的控制例的流程图。
图9是表示第二实施方式中的中央管理装置的控制系统的框图。
图10是表示第二实施方式中，控制部主体含有的功能构成中用于管理印刷检查装置及安装检查装置的特定的检查项目的检查条件的功能构成的框图。
图11是表示第二实施方式中的各检查装置和检查项目的关系的图。
图12是表示第二实施方式中的控制部主体对检查条件的管理(改变)动作控制的一例的流程图。
图13是表示第二实施方式中的检查条件的管理(改变)动作控制的另一例的流程图。
具体实施例方式
对本发明的实施方式参照附图进行说明。
图1概要表示适用了本发明的基板的生产线。该生产线呈一列地设有装料机(省略图示)、焊料印刷装置(或者点胶机)1、印刷检查装置2、二种安装装置3A、3B、安装检查装置4、回流炉5、焊料附着检查装置6、及卸料机(省略图示)，将这些装置用搬送机7等连接。并且，在搬送电路基板(以下只称为基板)的同时，依次对基板进行焊料印刷、部件安装及回流的各种处理，并且通过检查装置2、4、6进行各处理的检查。
各装置1～6中分别搭载控制装置，基本上各动作通过各自的控制装置单独进行控制驱动，在该生产线中，进一步设有和各装置1～6(控制装置)在线连接的中央管理装置8，与安装部件、基板相关的数据、与生产履历相关的数据等各种数据通过该中央管理装置8被集中管理。这样一来，所述各种数据被各装置1～6共享。
在该生产线中，本发明适用于安装检查装置4，以下对该安装检查装置4的构成进行详细说明。
图2及图3概要表示安装检查装置4的构成，图2是同装置4的俯视图，图3是同装置4的主视图。该安装检查装置4通过拍摄在安装装置3A、3B中进行安装处理后的基板的安装点，对部件的安装状态进行图像识别并判断其是否良好。
安装检查装置4具有形成为内部空洞的大致立方体状的基台10。在该基台10上设有基板搬送单元12，作为检查对象的基板P沿着该基板搬送单元12的下述搬送机搬送。并且在该实施方式中，基于上述搬送机的基板P的搬送方向(图2中为左右方向)称为X轴方向，水平面上与X轴正交的方向(图2中为上下方向)称为Y轴方向。
基板P沿着基板搬送单元12的搬送机从装置右侧送入安装检查装置4，在设置在基台10的大致中央部分的检查操作区域中供于检查处理，从装置左侧搬送到下一个工序(同图中的空心箭头方向)。
上述基板搬送单元12包括分别具有一对带式搬送机的沿X轴方向排列的三个构成部分，具体而言，在基板搬送方向两侧的各预定范围内，具有设置了带式搬送机20A、21A及20C、21C的送入·送出部12A、12C，在它们之间，具有在下述工作台30上设置了带式搬送机20B、21B的可动部12B。
在送入·送出部12A、12C中，前侧的搬送机20A、20C固定地设置在基台10上，而后侧的搬送机21A、21C在Y轴方向上可移动，通过后侧的搬送机21A、21C由省略图示的马达驱动而移动，可进行与基板P的尺寸对应的搬送机间隔的调整。
在可动部12B中，在可在Y轴方向上移动的下述工作台30上设有一对搬送机20B、21B，其中前侧的搬送机20B相对工作台30固定，后侧的搬送机21B相对于工作台30可在Y轴方向上移动并被支承。并且，通过后侧的搬送机21B由图外的马达驱动而移动，搬送机20B、21B的间隔变化，可与基板P的尺寸变更相对应。
上述工作台30具有可沿着固定在基台10上的Y轴方向的导轨31移动，且与可旋转地支承在基台10上的Y轴方向的滚珠丝杠轴32螺合的螺母(未图示)，上述滚珠丝杠轴32通过马达33被旋转驱动，从而使工作台30沿着导轨31在Y轴方向上移动。
门型的支承台35直立设置在上述基台10的台面上。该支承台35相对于基台10的前后方向(图2中的上下方向)的中央部，设置在略微靠后的位置上，该支承台35由从左右方向的两个端部分别立起的脚柱部36、及架设于该脚柱部36的上端部之间的梁部37构成。
支承台35的梁部37设有用于拍摄基板P的摄像装置40、和用于使该摄像装置40沿着支承台35移动的驱动装置42。该驱动装置42具有设置在支承台35的梁部37上的马达44、与该马达44的输出轴连接且在左右方向上延伸的滚珠丝杠轴46、和与该滚珠丝杠轴46平行地设置在梁部37上的一对导轨48。
另一方面，摄像装置40被螺合安装在上述滚珠丝杠轴46的支架50支承。因此，通过驱动上述马达44，摄像装置40与支架50一体地沿着上述导轨48在X轴方向上移动。
摄像装置40具有用于拍摄作为被拍摄体的上述基板P的照相机52、和用于对基板P进行照明的照明装置53。照相机52是CCD照相机，其构成为，在内置有固体摄像元件的照相机主体的顶端，具有内置有物镜的透镜部，照相机52以向下的姿态固定在上述支架50上。
在上述构成中，当进行检查操作时，首先通过基板搬送单元12的动作，基板P从送入部12A搬送向可动部12B，基板P定位并固定在可动部2B的预定位置上。此时，基板搬送单元12的工作台30被设置在原位置，即可动部2B的搬送机20B、21B和送入部2A及送出部2C的搬送机20A、21A等横向排列的位置(图2所示的位置)上，这样一来，基板P可相对可动部12B送入。
并且，在基板P定位并固定在工作台30上的状态下，马达33、44等由下述控制装置60被驱动控制，从而使固定了基板P的工作台30在Y轴方向上移动，且摄像装置40在X轴方向上移动。这样一来，可以进行基板P上的安装点的拍摄，根据拍摄结果进行基板P的检查。并且，当检查结束后，工作台30复位到原位置，基板P通过送出部12C搬送到下一工序(回流炉5)。
图4通过框图表示安装检查装置4的控制系统。
如该图所示，安装检查装置4具有用于控制基板搬送单元12、摄像装置40的驱动的控制装置60。该控制装置60具有控制部主体61、键盘68、LCD 69及光盘等外部存储装置67。
控制部主体61具有进行逻辑运算的公知的CPU62、预先存储用于控制该CPU62的各种程序的ROM63、在装置动作中暂时存储各种数据的RAM64、各种程序、OS、及存储下述各种参数等检查所必需的各种数据的HDD65、及I/O控制器(IOC)66等，这些CPU62等通过内部总线互相连接。
IOC66中除了键盘68及LCD69外，还连接有马达33、34等、照明装置53及照相机52的各控制电路71～73、显示器(警告灯)74，并且，根据来自CPU62的指令，各控制电路71～73等和控制部主体61之间的各种控制信号及各种数据的输入输出通过该IOC66被控制，从而使基板搬送单元12、摄像装置40的动作被控制部主体61所控制。
图5用框图对控制部主体61中含有的功能构成中主要执行基板P的检查的功能构成进行表示。
如该图所示，控制部主体61作为上述功能构成，具有主控制部611、判断部612及存储部613。
主控制部611，通过上述控制电路71～73统一控制上述马达33等，以根据预先存储的程序而进行预定的检查处理，并且控制上述马达33等，以根据在检查处理前由操作人员设定的检查时序(设定时序)执行检查处理。并且检查后，将信号输出到LCD69、显示器74等中，以进行与检查结果对应的显示。
判断部612，根据通过控制电路73从照相机52输出的图像数据求得部件的安装误差，判断该误差是否处于允许值内，根据检查处理前由操作人员设定的检查等级(检查内容)进行判断。
存储部613，存储与检查时序及检查内容相关的参数、及与各参数对应的数据。在该实施方式中，作为与检查时序相关的参数，存储有“通常”、“初始产品”、“最终产品”、“既定数”四个时序。并且，作为检查内容如图6所示，对应各检查(安装)点存储“1”～“3”三个阶段的检查等级和与各等级对应的检查内容、具体为安装误差的允许值。
其中，检查时序是指实施检查的时序，换句话说是确定成为检查对象的基板P的方法，上述时序的内容如下所示。
·通常以所有基板为检查对象。
·初始产品以生产线起动后最初的基板为检查对象。
·最终产品以最终的基板为检查对象。
·既定数以生产线起动后各确定的数的基板为检查对象。
另一方面，检查等级表示检查的精密程度，检查等级越高，如图6所示，作为判断基准的安装误差的允许值设定得越小。例如检查等级“1”的允许值是在可满足必要的产品精度的范围内非常宽松的值。
即，在该安装检查装置4中，在生产线运转前，操作人员一边查看LCD69一边操作键盘68，指定(输入)检查时序及检查等级，上述主控制部611根据该指定从存储部613读出并设定与检查时序相关的数据，驱动控制上述马达33等以在该检查时序下实施检查。并且，判断部612根据上述指定从存储部613中读出并设定与检查等级相关的数据，根据该检查等级进行安装状态是否良好的判断。
并且，作为检查时序由上述参数可设定多个检查时序，在设定了多个检查时序时，进一步可单独设定各时序的检查等级。例如，根据LCD69中显示的如图7所示的画面显示，操作人员向对应处放入卡头(chuck)，从而可设定检查时序和检查等级。在图示的例子中，作为检查时序指定了“通常”、“初始产品”、“最终产品”和“既定数”所有时序，各时序的检查等级分别被指定为“1”“2”“3”“2”。并且在该实施方式中，通过键盘68、LCD69及主控制部611等构成本发明的设定单元。
接着参照图8的流程图对上述控制装置60的检查处理动作的控制进行说明。
当该流程开始时，首先在步骤S1驱动基板搬送单元12，将从安装装置3A、3B送出的基板P送入到安装检查装置4。并且在该实施方式中，以事先设定检查时序和检查等级为前提来进行基板P的送入。
当基板P送入后，判断检查时序是否被设定为“初始产品”，当判断为YES(是)时，判断该基板P是否是初始产品，即判断是否是生产线起动后最初的基板P(步骤S2、S3)。在此判断为YES时，过渡到步骤S4执行该基板P的检查。具体而言，通过驱动摄像装置40及工作台30，在基板P上的安装点上依次移动摄像装置40(照相机52)拍摄该点，根据该图像数据求得各安装点的安装误差，根据该误差是否满足设定的检查等级，即是否在对该检查时序(“初始产品”)所设定的检查等级的允许值以内，来判断安装状态是否合格(在图7的例子中，以检查等级“2”判断安装状态是否合格)。
在步骤S2、S3中当判断为NO(否)时过渡到步骤S8，判断检查时序是否被设定为“最终产品”。在此判断为YES时，进一步判断该基板P是否属于最终产品，当判断为YES时，与上述一样，进行该基板P的检查(步骤S9、S10)。此时，根据对该检查时序(“最终产品”)所设定的检查等级进行是否合格的判断(在图7的例子中，以检查等级“3”判断安装状态是否合格)。
在步骤S8、S9中当判断为NO时过渡到步骤S11，判断检查时序是否被设定为“既定数”。在此判断为YES时，进一步判断该基板P是否是既定数的基板，当判断为YES时，进行该基板P的检查(步骤S12、S13)。此时，根据对该检查时序(“既定数”)所设定的检查等级进行是否合格的判断(在图7的例子中，以检查等级“2”判断安装状态是否合格)。
在步骤S11、S12中判断为NO时过渡到步骤S14，判断检查时序是否设定为“通常”。在此判断为YES时，进行该基板P的检查(步骤S15)。此时，根据对该检查时序(“通常”)所设定的检查等级进行是否合格的判断(在图7的例子中，以检查等级“1”判断安装状态是否合格)。
并且，在步骤S14中判断为NO时，判断检查时序是否被设定为“通常”以外的时序(步骤S16)，在此判断为YES时过渡到步骤S6。当对其判断为NO时，使上述显示器74及警报器(未图示)动作，报告发生错误，并停止安装检查装置4(步骤S17)。即，由于检查时序的设定是基板送入的前提，因此在步骤S16中为NO时，认为发生某种错误并通报给操作人员。当操作人员对该通报进行预定的错误处理后，过渡到步骤S2(步骤S18)。
在步骤S4、S10、S13、S15中进行基板P的检查后，接着判断检查结果是否合格(步骤S5)，在此判断为YES时将该基板P搬送到下一个工序，之后判断安装检查装置4的检查处理动作是否结束(步骤S6、S7)。并且在步骤S7中判断为NO时，过渡到步骤S1并送入下一个基板P，当判断为YES时结束本流程。
另一方面，在步骤S5中当判断为NO时，使显示器74及警报器动作以向操作人员通报，并且停止安装检查装置4(步骤S19、S20)。对此操作人员将图像显示到LCD69等，并目视判断该基板P，其结果通过键盘68的操作被输入后，判断该判断是否合格(步骤S21)。在此判断为YES时，过渡到步骤S6并将该基板P搬送到下一个工序。另一方面，在步骤S21中判断为NO时，操作人员等待在进行预定的不良对应处理，例如对该基板进行标记后，搬送到下一工序，或者使该基板P脱离生产线(line out)等的处理的结束，通过键盘68的操作由操作人员输入该处理的结束时，过渡到步骤S7(步骤S22)。
对基于上述控制的安装检查装置4的动作进行如下简单总结。
在该安装检查装置4中，随时检查送入的基板P是否属于事前设定的检查时序的基板，当属于时，以对该检查时序所设定的检查等级执行该基板P的检查，当不属于时，不进行检查，该基板P搬送到下一个工序。
当作为检查时序设定多个时序时，在各个时序下进行检查，此时当送入的基板P属于多个检查时序中任何一个时，以“初始产品”、“最终产品”、“既定数”、“通常”的优先顺序，根据对各检查时序设定的检查等级进行该基板P的检查。如上所述优先适用“初始产品”“最终产品”“既定数”的检查检查等级，是因为在这些时序中要求精密程度高的检查的情况较多。
根据如上所述的安装检查装置4，通过摄像装置40，根据基板P的拍摄结果(图像数据)进行安装状态是否良好的判断，但如上所述，作为检查时序可设定多个时序，且可对各检查时序单独设定检查等级(精密程度)，因此检查时序及检查内容的自由度较高，可进行高效、有层次的检查，因此可保持较高的生产性，同时可提高产品基板的可靠性。
具体而言，例如通过将检查时序及检查等级预先如图7所示进行设定，可进行高效、有层次的检查。即，根据该设定，通过对大部分基板P按各基板进行简单的检查(在可满足必要的产品精度的范围内比较宽松的检查等级“1”的检查)，可避免基板P频繁从生产线上卸落，保持基板P的较高的生产性，通过对初始产品、最终产品及既定数的基板P进行精密的检查(即检查等级“2”、“3”的检查)，根据其结果及那时的安装误差倾向，可事先察觉不良的发生，并采取对策。因此，与每次以相同的检查等级进行所有点检查的现有的检查装置相比，可在确保基板P的质量的同时进行高效、有层次的检查，其结果是，可保持较高的生产性，同时提高产品基板的可靠性。
并且在现有的生产线中，根据安装点的自动识别以较宽松的检查等级检查所有基板，同时希望对“初始产品”、“最终产品”、“既定数”的基板进行细致检查时，通过目视等对该基板进行检查，但根据上述安装检查装置4，包括仅对“初始产品”、“最终产品”、“既定数”进行高等级的检查的情况，可通过使用摄像装置40的自动识别来进行所有的检查。因此，可使现有的操作人员的手动操作(目视检查)自动化，其结果，具有可提高基板P的生产性的优点。
但上述实施检查装置4及使用该装置的基板P的检查方法(即，用图7所示的设定内容进行基板P的检查的方法)是本发明的基板检查装置及基板检查方法的一个实施方式，其具体构成及方法在不脱离本发明的主旨的范围内可适当进行改变，例如可也采用如下所示的装置构成。
(1)在上述实施方式中，作为与检查内容相关的参数可选定精密程度不同的三个阶段的检查等级，也可选定为四个阶段或其以上的阶段的检查等级。并且，除了检查等级以外例如也可将检查点的个数作为参数。即，也可采用100％(对所有安装点进行检查)、70％(对安装点中的70％进行检查)、50％(对安装点中的50％进行检查)这样的参数，根据检查时序改变安装点的个数。这种情况下，也可以设定检查等级和检查点个数两者。
(2)在上述实施方式中，作为与检查时序相关的参数可设定“通常”、“初始产品”、“最终产品”、“既定数”四个时序，但也可设定为三个以下或五个以上的时序。并且，既定数也可通过键盘68的操作设定为任意数。
(3)在上述实施方式中，作为检查时序设定多个时序时，以“初始产品”、“最终产品”、“既定数”、“通常”的优先顺序，并以对各检查时序设定的检查等级进行基板P的检查(参照图8)，也可比较对各检查时序所设定的检查等级，作为其结果，从等级高的检查等级开始依次进行检查。
(4)在上述实施方式中，以设定的时序自动地进行检查，也可以在设定时序中设定可通过手动操作进行检查的时序。此时，例如在图7所示的显示例中进一步设置手动操作用的检查栏，对于检查的时序，可以在属于该时序的基板P被送入安装检查装置4的阶段通报操作人员，等待基于键盘操作的操作人员的指示输入而执行检查。根据这种构成，对于特定的时序的检查可在操作人员照管的状态下进行检查，因此在要求进行包括操作人员的目视检查在内的较为细致的检查时有用。
(5)在上述实施方式中，设置与检查时序相关的参数及与检查内容相关的参数两者，操作人员可任意设定检查时序和检查内容的组合，但也可仅设置检查时序或检查内容中的任意一方的参数。具体而言，可以预先固定地设定多个检查时序，作为各检查时序的检查内容，操作人员可任意设定上述检查等级等。并且，也可以使多个检查时序能够任意选定，在操作人员选定的检查时序下，根据对该检查时序预先固定地设定的检查内容进行检查。在这些构成下，也可提高对检查时序、检查内容的设定自由度，其结果是，可根据基板的种类、处理的内容进行高效的、有层次的检查。
(6)在上述实施方式中，对将本发明适用于对安装装置3A、3B的安装处理后的基板P进行检查的安装检查装置4的例子进行了说明，本发明当然也可适用于印刷检查装置2、焊料附着检查装置6。这种情况下，与检查时序相关的参数、与检查内容相关的参数根据各装置2、6适当选定即可。
接着对第二实施方式参照图9～图13进行说明。
在该第二实施方式下，所适用的安装线和第一实施方式相同，如图1一样构成。
并且，各检查装置2、4、6，虽然省略了图示，但具有搭载了CCD照相机的安装头、及使该安装头平面移动的驱动装置等，通过拍摄基板的被安装面，根据其图像数据进行各处理的检查，具体而言，在印刷检查装置2中进行焊料涂敷量等的检查，在安装检查装置4中进行部件的安装偏差等的检查，在回流炉5中进行焊料涂敷量及部件安装偏差等的检查。并且，关于焊料涂敷量的检查，在印刷检查装置2中通过涂敷在图案(pattern)上的焊料的图像识别来检查涂敷量，在焊料附着检查装置6中通过安装的部件周边的焊料的图像识别来检查涂敷量。
图9是表示中央管理装置8(参照图1)的构成的一例的框图。
如该图所示，中央管理装置8具有用于进行其动作控制的控制部主体110。该控制部主体110由进行逻辑运算的CPU112、预先存储用于控制该CPU112的各种程序等的ROM113、在装置运行中暂时存储各种数据的RAM114、HDD115及I/O控制器(1OC)116等构成，这些CPU112等通过内部总线互相连接。
HDD115中存储各种应用软件用的程序与上述各装置1～6的生产相关的各种信息、例如基板数据、部件数据、印刷及安装位置数据、回流温度数据等各种数据。并且，由各检查装置2、4、6实施的下述检查项目及各检查项目的检查条件等数据也存储在该HDD115中。
IOC116上连接有由键盘、鼠标等输入单元118、CRT监视器、LCD监视器构成的显示单元119，并且连接有上述各装置1～6，控制部主体110接收通过输入单元118的操作输入的预定的指示信息、来自各装置1～6的各种操作信号，进行该管理装置整体的控制。
并且，控制部主体110中进一步设有光盘等外部存储装置117，上述各装置1、3A、3B、5中的生产履历、各检查装置2、4、6的检查履历等各种信息存储在该外部存储装置117中。例如，存储各基板在检查装置2、4、6中的检查结果及各检查所使用的基板的图像数据等各种检查信息、与各处理装置(装置1、3A、3B、5)中所产生的错误、维修相关的信息等。
在外部存储装置117中存储的信息中，上述检查信息在部件安装线运转中，从各检查装置2、4、6自动发送，与各基板的识别信息一起依次存储在外部存储装置117中。基板的识别信息例如作为条形码、QR码记录在各基板上，在各检查装置2、4、6中的基板的图像识别的同时被读取，与检查结果及图像数据一起发送到中央管理装置8。并且，错误相关信息、维修相关信息等通过由操作人员操作各装置1～6中设置的键盘等的输入单元118输入错误内容、维修内容，而发送到中央管理装置8。
图10用框图表示控制部主体110中包括的功能构成中，用于管理检查装置2、4、6的特定的检查项目的检查条件的功能构成。
如该图所示，控制部主体110中作为上述功能构成包括主控制部121、检查信息存储部122、检查条件改变控制部123及显示控制部124。
主控制部121用于对管理检查条件上的各种处理进行统一控制。
检查信息存储部122用于存储各检查装置2、4、6的检查信息，具体而言存储检查项目及各检查项目的检查条件。图11表示各检查装置2、4、6的检查项目，这些检查项目和各检查项目的检查条件、也就是是否合格的判断基准(阈值等)作为各检查装置2、4、6的检查信息存储在检查信息存储部122中。例如，作为印刷检查装置2的检查信息，如同图所示，存储位置偏差(焊料印刷的位置偏差)、缺件(无焊料印刷)、焊料涂敷量过度不足、焊料桥的有无等检查项目、以及各项目的检查条件。并且，作为焊料附着检查装置6的检查信息，存储位置偏差(部件的位置偏差)、缺件(无部件)、焊料涂敷量过度不足、焊料桥的有无、极性判断(极性错误)、错误部件(部件错误)等检查项目、以及各项目的检查条件。
对于检查条件中通过操作人员的操作可改变设定值的检查条件、或者根据下述检查条件改变控制部123的指令信号改变设定值的检查条件，现在的设定值与检查条件的初始值一起存储在检查信息存储部122中。
检查条件改变控制部123，对于共同或互相有关联性的检查项目，判断焊料附着检查装置6和其他各检查装置2、4之间有无检查结果的矛盾，当存在矛盾时，输出指令信号，以改变对于印刷检查装置2或安装检查装置4的该检查项目所设定的检查条件，印刷检查装置2及安装检查装置4根据该指令信号改变设定检查条件。并且，“共同或关联的检查项目”是指，由于检查对象相同，因而一方的检查结果和另一方的检查结果通常处于一致的关系的检查项目，或者虽然检查对象不同但检查对象之间有关联性，双方的检查结果通常处于一致关系的检查项目。
在该实施方式中，作为有关联性的检查项目，对于“焊料涂敷量的过度不足检查”，根据印刷检查装置2及焊料附着检查装置6双方的检查结果判断有无矛盾，当存在矛盾时，从检查条件改变控制部123向印刷检查装置2输出指令信号，以改变对该检查项目设定的检查条件，具体而言，作为“焊料涂敷量的过度不足检查”的检查条件，在印刷检查装置2中设定为“面积公差(初始值)50％～150％”，当检查结果中产生矛盾时，向印刷检查装置2输出指令信号，以使该公差增减改变预先确定的固定值。并且，作为共同的检查项目，对于“(部件的)位置偏差检查”，根据安装检查装置4及焊料附着检查装置6双方的检查结果判断有无矛盾，当存在矛盾时，向安装检查装置4输出指令信号，以改变该检查项目的检查条件。具体而言，作为“(部件的)位置偏差”的检查条件，在安装检查装置4中，规定为“位置偏差公差(初始值)+0.2mm～-0.2mm”，当检查结果中产生矛盾时，输出指令信号，以使该公差增减改变预先确定的固定值。
并且在该实施方式中，该检查条件改变控制部123相当于本发明的判断单元及条件改变单元。
显示控制部124，根据预先存储的程序在上述显示单元119中进行规定的画面显示，例如当检查结果中产生矛盾时，进行显示控制，以使对应的检查装置2、4、6、检查项目及检查条件等信息显示到显示单元119。此时，进行显示控制，以作为检查条件显示改变前、改变后的条件，并且一并显示检查条件的初始值。
接着，对上述控制部主体110对检查条件管理(改变)的动作控制的一例参照图12的流程图进行说明。并且在以下流程图中，对于上述检查项目中的“(部件的)位置偏差检查”，就管理(改变)安装检查装置4的检查条件的情况进行说明，之后，对于检查项目“焊料涂敷量的过度不足检查”，就管理印刷检查装置2的检查条件的情况进行补充。
该流程图通过在部件安装线中将焊料附着检查装置6的检查结果发送到中央管理装置8而开始。
在焊料附着检查装置6中检查结束，该基板的检查结果发送到中央管理装置8后，首先，在步骤S101中，将该基板的各检查装置2、4、6的检查结果读入到检查条件改变控制部123，进行前/后工序的检查结果的比较。即，对检查项目“(部件的)位置偏差检查”在各检查装置2、6中的检查结果进行比较，在检查条件改变控制部123中判断两个检查结果是否没有矛盾(步骤S102)。在此，当判断为YES时结束本流程图。
另一方面，在步骤S102中判断为NO时，包括该基板在内，对预先设定的规定个数的基板判断是否连续在检查结果中产生矛盾(步骤S103)，此时当判断为NO时，进一步判断是否超过预先设定的规定比率(例如每一批为10％)而产生上述矛盾(步骤S104)。并且，在此判断为NO时，结束本流程图。
与之相对，在步骤S103、S104中判断为YES时，过渡到步骤S105，从检查条件改变控制部123向安装检查装置4输出指令信号，改变安装检查装置4的该检查项目(“(部件的)位置偏差检查”)的检查条件(参数自动校正)，并且将改变后的检查条件存储到上述检查信息存储部122。
具体而言，当焊料附着检查装置6的检查结果为“合格”判断，安装检查装置4的检查结果为“不合格”判断时，从结果来看，认为安装检查装置4的检查条件过于严格，这种情况下，使位置偏差公差的上下限值扩大规定值(例如0.05mm)，这样一来，将位置偏差公差改变为“+0.25mm～-0.25mm”，将该公差作为现在的检查条件更新地存储到检查信息存储部122中。
另一方面，焊料附着检查装置6的检查结果为“不合格”判断，安装检查装置4的检查结果为“合格”判断时，从结果来看，认为安装检查装置4的检查条件较为宽松，因此这种情况下，使位置偏差公差的上下限值缩小0.05mm，使位置偏差公差改变为“+0.15mm～-0.15mm”，并且将该公差作为现在的检查条件更新地存储到检查信息存储部122。
这样在步骤S105中结束检查条件的改变后，结束本流程图。
以上是针对“(部件的)位置偏差检查”，管理(改变)安装检查装置4的检查条件时的控制，但对于“焊料涂敷量过度不足检查”，也通过同时进行与之相同的处理，来管理(改变)印刷装置2的检查条件。
此时，步骤S105的具体处理如下所示。首先，当焊料附着检查装置6的检查结果是“合格”判断，印刷检查装置2的检查结果是“不合格”判断时，从结果来看，认为印刷检查装置2的检查条件过于严格，因此这种情况下，根据焊料附着检查装置6的检查结果是“焊料不足”引起的不合格判断，还是“焊料过多”引起的不合格判断，使位置偏差公差的上下限值分别增减改变规定值(例如2％)。具体而言，当印刷检查装置2的判断为“焊料不足”引起的不合格判断时，将面积公差的下限值下降2％，将焊料印刷的面积公差改变为“48％～150％”，当为“焊料过多”引起的不合格判断时，将面积公差的上限值提高2％，将焊料印刷的面积公差改变为“50％～152％”。
相反，当焊料附着检查装置6的检查结果是“不合格”判断，印刷检查装置2的检查结果是“合格”判断时，从结果来看，认为印刷检查装置2的检查条件较为宽松，因此这种情况下，使面积公差的上下限值增减改变2％。具体而言，当焊料附着检查装置6的判断为“焊料不足”引起的不合格判断时，将面积公差的下限值提高2％，将焊料印刷的面积公差改变为“52％～152％”，当为“焊料过多”引起的不合格判断时，将面积公差的上限值下降2％，将焊料印刷的面积公差改变为“50％～148％”。并且，将改变的该公差作为现在的检查条件更新地存储到检查信息存储部122。
根据这种控制部主体110的控制，例如对“(部件的)位置偏差检查”，在安装检查装置4和焊料附着检查装置6间出现矛盾的检查结果时，通过步骤S105的处理改变位置偏差公差，之后，根据该改变后的位置偏差公差，在安装检查装置4中实施“(部件的)位置偏差检查”。并且，当该处理之后依然出现矛盾的检查结果时，通过满足步骤S103、S104的条件(步骤S103、S104中为YES)，位置偏差公差再次被改变，这样一来，直到检查结果矛盾消除为止，每次以规定值反复改变位置偏差公差。并且，对于“焊料涂敷量过度不足检查”，在印刷装置2和焊料附着检查装置6间出现矛盾的检查结果时也同样处理。
根据以上说明的部件安装线，在印刷检查装置2或安装检查装置4和焊料附着检查装置6之间，对于“焊料涂敷量过度不足检查”、“(部件的)位置偏差检查”这样共同或关联的检查项目，当矛盾的检查结果以一定程度以上频繁发生时，使印刷检查装置2、安装检查装置4的该检查项目的检查条件以固定值增减，由此可自动消除矛盾的检查结果持续产生的情况。
因此，无需象现有的这种部件安装线一样进行如下所示的复杂的操作对于共同或关联的检查项目，在检查装置之间出现矛盾的检查结果时，由操作人员分别确定发生矛盾的检查装置、检查项目、检查条件，同时通过手动操作改变该检查项目的检查条件。并且可在早期消除本来不必要的不合格判断，其结果，可更顺利地推进基板的生产。
并且，如上所述的检查条件的改变是满足以下至少一方的条件时实施的(图12的步骤S103、S104中为YES时)连续的规定个数的基板的检查结果产生矛盾、或者检查结果的矛盾超过规定的比率而发生，因此可避免尽管检查结果的矛盾是因图像识别误差等产生的一时性矛盾，但检查条件仍无益改变的情况发生，从而可良好地保持检查的可靠性。
并且，上述部件安装线是适用了本发明的检查条件管理系统的部件安装线的一个实施方式，其具体构成在不脱离本发明的主旨的范围内可适当改变。例如可以是如下所述的构成。
(1)在实施方式中，在部件安装线的各检查装置2、4、6中实施的检查项目中，以“(部件的)位置偏差检查”和“焊料涂敷量的过度不足检查”为例，对于该检查项目，就管理印刷检查装置2及安装检查装置4的各检查条件的情况进行了说明，当然对于其以外的检查项目，管理各检查装置2、4、6的检查条件时也可适用本发明。例如对于图11所示的检查项目，“(部件的)位置偏差检查”、“焊料涂敷量的过度不足检查”以外的项目也如同图所示，在多个检查装置2、4、6中实施，因此也可对于这些检查项目中的任意一个管理印刷检查装置2、安装检查装置4的检查条件。
(2)在实施方式中，当出现矛盾的检查结果时，通过使在印刷检查装置2或安装检查装置4中设定的检查条件(公差)以预先确定的固定值进行增减，可自动改变设定检查条件，例如其构成也可以为，不进行检查条件的改变，仅将产生矛盾检查装置2、4、检查项目、检查结果及检查条件等信息显示到显示单元119，根据该信息显示，操作人员通过手动操作改变各检查装置2、4的检查条件(设定公差)。
这样一来，检查条件的改变操作通过手动操作来进行，但操作人员可根据显示单元119的显示迅速地确定产生矛盾的检查装置、检查项目、检查条件等，因此在这一点(即可迅速地进行这种确定这一点)上与现有的这种装置相比，在检查结果中产生矛盾时可迅速地采取措施。并且在该构成下，通过参照检查结果等，操作人员可将检查条件(公差)改变为任意的值，因此具有以下优点在例如因检查条件的输入错误等，需要大幅更正印刷检查装置2、安装检查装置4的设定检查条件时，可迅速地进行处置。
(3)当检查结果产生矛盾时，有时也不一定是因为设定的检查条件不恰当，因此在这种情况下，可实施图13所示的步骤S110～S113的处理，来取代图12的流程图中的步骤S105的处理。
即，在步骤S103、S 104中判断为YES时，过渡到步骤S110，在此判断检查条件的改变是否恰当(步骤S110)。在此判断为YES时，过渡到步骤S113，改变检查条件。并且，该步骤S113的处理内容是与图12的步骤S105的处理相同的处理内容。
另一方面，在步骤S110中判断为NO时，将存在可能性的检查项目等，即产生矛盾的检查装置、检查项目、检查条件等信息显示到显示单元119(步骤S111)。并且，对于该显示，例如在操作人员执行了必要的措施后，判断该操作是否结束，具体而言，判断有无输入单元118的输入操作(步骤S112)，当判断为结束时，结束本流程图。
根据这种控制，当检查结果产生矛盾时，为了消除该矛盾，可以介入操作人员的意志，因此适用于检查结果的矛盾的原因不确定的情况等。
具体而言，在印刷检查装置2及焊料附着检查装置6共同的检查项目“焊料桥检查”(参照图11)中，存在虽然印刷检查装置2的检查结果为合格判断但焊料附着检查装置6的检查结果为不合格判断的情况。此时，除了印刷检查装置2的检查条件不适当的情况外，部件安装时的部件的压力不适当的可能性也较高，因此对于这种检查项目，在步骤S110中判断为NO，将存在可能的项目、即“焊料桥检查”的显示和其检查结果、检查条件等信息显示到显示单元119(步骤S111)。
这样一来，操作人员可以在安装装置3A、3B中大体检查部件的压力是否适当，并在不存在异常时改变印刷检查装置2的检查条件。因此，可有效避免无论安装装置3A、3B中的部件的压力是否不恰当，均改变印刷检查装置2的检查条件的问题，可合理地消除矛盾原因。
其中，作为检查项目以“焊料桥检查”为例进行了说明，对于除此以外的检查项目，对于检查结果的矛盾原因为其他(检查条件设定不适当以外)原因的项目，在步骤S110中预先设定为做出NO判断，使得操作人员的意志可以介入即可。
(4)在实施方式中，在印刷检查装置2或安装检查装置4和焊料附着检查装置6之间，检查结果中产生矛盾时，以焊料附着检查装置6的检查结果为准(作为基准)，改变作为其前工序的检查的印刷检查装置2等的检查条件，这是因为，回流处理后的检查是最终阶段的检查，其条件一般与印刷检查装置2等相比较为严格，以检查结果的可靠性较高为前提。因此，当印刷检查装置2等和焊料附着检查装置6的检查等级(检查的精密程度)没有差别时，也可改变焊料附着检查装置6的检查条件，至于以哪个检查结果为基准，根据具体的检查项目等适当设定即可。
并且，在实施方式中，对于印刷检查装置2或安装检查装置4和焊料附着检查装置6之间共同或关联的检查项目，对检查结果中产生矛盾的情况进行了说明，当然在印刷检查装置2和安装检查装置4之间检查结果产生矛盾时也同样可适用本发明，这种情况下，以哪个检查结果为基准根据具体的检查项目等适当设定即可。
(5)在实施方式中，在部件安装线上设置中央管理装置8，在其控制部主体110上设置检查信息存储部122、检查条件改变控制部123、及显示控制部124等，但例如也可以将这些功能构成设置于焊料附着检查装置6的控制装置，使检查结果的矛盾判断、检查条件的改变指令等处理在焊料附着检查装置6中进行。
(6)在实施方式中，在安装装置3A、3B的上游侧，作为糊剂涂敷装置配置焊料印刷装置1，作为其处理的检查装置配置印刷检查装置2，也可以作为糊剂涂敷装置配置点胶机，作为其处理的检查装置配置涂敷检查装置。
(7)各检查装置2、4、6也可分别为如下所示的构成。
1.印刷检查装置在实施方式中，印刷检查装置2独立设置在焊料印刷装置1和安装装置3A之间，但也可以与焊料印刷装置1一体化(例如一体组装到焊料印刷装置1的基板送出部分)，或者与上一工序侧的安装装置3A一体化(例如一体组装到安装装置3A的基板送入部分)。此时，当采用上述(6)的构成时，对涂敷检查装置当然也是相同的。
2.安装检查装置在实施方式中，两个安装装置3A、3B共同的安装检查装置4独立地设置在下一工序侧的安装装置3B和回流炉5之间，但也可对各安装装置3A、3B设置专用的安装检查装置。
即，在上一工序的安装装置3A(为简便起见称为第一安装装置3A)和下一工序的安装装置3B(为简便起见称为第二安装装置3B)之间，独立配置用于检查第一安装装置3A处理后的基板的安装检查装置(为简便起见称为第一安装检查装置4A)，在第二安装装置3B和回流炉5之间，独立配置用于检查第二安装装置3B处理后的基板的安装检查装置(为简便起见称为第二安装检查装置4B)。并且，如上所述对各安装装置3A、3B设置安装检查装置时，第一安装检查装置4A，也可是与第一安装装置3A一体化的装置(例如一体组装到第一安装装置3A的基板送出部分的装置)、或者是与第二安装装置3B一体化的装置(例如一体组装到第二安装装置3B的基板送入部分)。同样，对于第二安装检查装置4B，可以是与第二安装装置3B一体化的装置(例如一体组装到第二安装装置3B的基板送出部分)、或者是与回流炉5一体化的装置(例如一体组装到回流炉5的基板送入部分的装置)。
3.焊料附着检查装置6在实施方式中，焊料附着检查装置6独立设置在回流炉5的下游侧，但也可是与回流炉5一体化的装置(例如一体组装到焊料回流炉5的基板送出部分)。
作为检查装置和处理装置一体化的方式，可以通过使处理装置的构成的一部分作为检查装置的构成的一部分而共有，而使检查装置相对处理装置一体组装。例如，在安装装置3B构成为，具有配备了部件吸附用的安装头的可移动的安装头单元，使该安装头单元一边相对于基板移动一边安装部件的情况下，也可以在该安装头单元中搭载基板拍摄用的照相机，在安装处理后，随着安装头单元的移动，通过该照相机拍摄安装点并进行检查，也就是可以在共同具有安装头单元(及其驱动单元)的状态下，将安装检查装置4一体组装到安装装置3B。
(8)也可在处理装置(焊料印刷装置1、安装装置3A、3B、回流炉5)及检查装置(印刷检查装置2、安装检查装置4、焊料附着检查装置6)中设置CRT监视器、LCD监视器等显示单元，显示产生矛盾的检查装置、检查项目、检查条件等信息。
例如，如上述(2)所述，显示产生矛盾的检查装置等的信息，由操作人员通过手动操作进行检查条件的改变时，或者如上述(3)所述，暂时显示产生矛盾的检查装置等信息时(图13的步骤S111的处理)，也可在处理装置及检查装置中的有关联的一个到多个装置、或者所有装置的显示单元中显示上述信息。根据这种构成具有以下优点当操作人员在部件安装线的附近进行监视时，操作人员通过确认显示内容，可迅速地确定检查结果中产生矛盾的检查装置、检查项目、检查条件，改变作为对象的检查装置的检查条件等，可进行迅速的对应。
并且，如上述(7)所述，当检查装置一体组装到处理装置时，也可对该一体化的装置设置共同的显示单元，在该显示单元中显示产生矛盾的检查装置等的信息。
权利要求
1.一种基板检查装置，设置在一边依次搬送多个基板一边向基板实施糊剂涂敷、部件安装、回流中的至少一个处理的处理装置的下游侧，通过摄像单元对实施了所述处理的基板进行拍摄，并根据所拍摄的图像数据检查所述处理是否良好，其特征在于，具有判断单元，根据通过所述摄像单元拍摄的基板的图像数据判断所述处理是否良好；存储单元，存储与检查时序相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的所述参数设定检查时序；控制单元，对所述摄像单元及判断单元进行控制，以在通过该设定单元设定的检查时序下，且根据对该检查时序预先设定的检查内容而实施所述检查；所述设定单元，由与检查时序相关的所述参数设定多个时序。
2.一种基板检查装置，设置在一边依次搬送多个基板一边向基板实施糊剂涂敷、部件安装、回流中的至少一个处理的处理装置的下游侧，通过摄像单元对实施了所述处理的基板进行拍摄，并根据所拍摄的图像数据检查所述处理是否良好，其特征在于，具有判断单元，根据通过所述摄像单元拍摄的基板的图像数据判断所述处理是否良好；存储单元，存储与检查内容相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的所述参数设定检查内容；和控制单元，对所述摄像单元及判断单元进行控制，以在预先设定的检查时序下，且根据通过所述设定单元设定的检查内容而实施所述检查，所述设定单元，当作为所述检查时序预先设定了多个检查时序时，可对应各个检查时序单独设定检查内容。
3.一种基板检查装置，设置在一边依次搬送多个基板一边向基板实施糊剂涂敷、部件安装、回流中的至少一个处理的处理装置的下游侧，通过摄像单元对实施了所述处理的基板进行拍摄，并根据所拍摄的图像数据检查所述处理是否良好，其特征在于，具有判断单元，根据通过所述摄像单元拍摄的基板的图像数据判断所述处理是否良好；存储单元，存储与检查内容相关的参数及与检查内容相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的所述参数设定检查时序及检查内容；和控制单元，对所述摄像单元及判断单元进行控制，以根据通过该设定单元设定的检查时序及检查内容而实施所述检查，所述设定单元，可由与检查时序相关的所述参数设定多个时序，且可对应各个该设定时序单独设定检查内容。
4.根据权利要求2或3所述的基板检查装置，其特征在于，作为与检查内容相关的所述参数，预先存储作为精密程度的检查等级，所述控制单元根据与所设定的检查等级对应的检查内容实施所述检查。
5.根据权利要求1或3所述的基板检查装置，其特征在于，所述设定单元，进一步可在设定时序中设定通过手动操作来进行检查的时序，所述控制单元，对于通过所述手动操作进行检查的时序，等待操作人员的指示操作来执行检查。
6.一种基板检查方法，使用权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于，作为所述检查时序，设定对各个基板实施检查的第一时序和对特定基板实施检查的第二时序，且设定检查等级，使得与第一时序下实施的检查相比，第二时序下实施的检查的精密程度高，并根据该设定内容实施基板的检查。
7.一种部件安装线的检查条件管理系统，具有多个处理装置，包括糊剂涂敷装置、部件安装装置及回流装置中的至少两个；和检查装置，在各处理装置进行处理后，分别根据图像识别检查对应基板，并且，对多个检查装置之间共同的或相互关联的检查项目进行检查，其特征在于，具有判断单元，根据共同的基板的各检查装置中的检查结果，对于所述共同或关联的检查项目，判断在检查装置间检查结果有无矛盾；条件改变单元，当通过该判断单元判断存在矛盾时，在检查结果中产生矛盾的检查装置中的任意一个检查装置中，改变所述共同或关联的检查项目的检查条件。
8.根据权利要求7所述的检查条件管理系统，其特征在于，所述条件改变单元在满足以下至少一方的条件时改变所述检查条件连续的规定个数的基板检查结果中产生所述矛盾；或者规定个数的基板检查结果中超过规定比率产生所述矛盾。
9.根据权利要求7所述的检查条件管理系统，其特征在于，所述回流装置，包含于部件安装生产线中，所述条件改变单元在回流处理后的检查结果和在回流处理前所实施的处理的该处理后的检查结果产生矛盾时，仅改变在回流处理前所实施的处理的该处理后的检查中的所述检查条件。
10.根据权利要求9所述的检查条件管理系统，其特征在于，在部件安装处理后及回流处理后，分别根据规定的允许值判断部件的安装误差是否合格，所述条件改变单元作为检查条件使部件安装处理后的检查中的所述允许值增减改变预先设定的值。
11.根据权利要求9所述的检查条件管理系统，其特征在于，在糊剂涂敷处理后及回流处理后，分别根据规定的允许值判断糊剂的涂敷量是否合格，所述条件改变单元，作为检查条件使糊剂涂敷处理后的检查中的所述允许值增减改变预先设定的值。
12.一种部件安装线的检查条件管理系统，具有多个处理装置，包括糊剂涂敷装置、部件安装装置及回流装置中的至少两个；和检查装置，在各处理装置进行处理后，分别根据图像识别检查对应基板，并且，对多个检查装置之间共同或互相关联的检查项目进行检查，其特征在于，具有显示单元，可显示与基板的生产相关的各种信息；判断单元，根据共同的基板的各检查装置中的检查结果，对于所述共同或关联的检查项目，判断在检查装置间检查结果有无矛盾；显示控制单元，当通过该判断单元判断存在矛盾时，将所述共同或关联的检查项目、及与该项目相关的各检查装置的检查条件中的至少一方的信息通过所述显示单元与可确定对应的检查装置的信息一起进行画面显示。
13.一种部件安装系统，具有多个处理装置，在糊剂涂敷装置、部件安装装置及回流装置中至少包括部件安装装置；和多个检查装置，在各处理装置进行处理后，分别根据图像识别检查对应基板，其特征在于，具有判断单元，根据共同的基板的各检查装置中的检查结果，对于共同或相互关联的检查项目，判断在检查装置间检查结果有无矛盾；和条件改变单元，当通过该判断单元判断存在矛盾时，在检查结果中产生矛盾的检查装置中的任意一个检查装置中，改变所述共同或关联的检查项目的检查条件。
14.根据权利要求13所述的部件安装系统，其特征在于，所述多个检查装置中的至少一个检查装置相对进行作为检查对象的处理的处理装置一体地设置。
15.一种处理装置，组装在权利要求13所述的部件安装系统中，其特征在于，具有显示单元，当通过所述判断单元判断存在矛盾时，可将所述共同或关联的检查项目、及与该项目相关的各检查装置的检查条件中的至少一方的信息与可确定对应的检查装置的信息一起进行画面显示。
全文摘要
本发明提供基板检查装置、基板检查方法、检查条件管理系统及部件安装系统，可以在确保较高的生产性的同时提高产品基板的可靠性。安装检查装置(4)，通过照相机拍摄进行了安装处理的基板，并根据其图像数据检查安装处理是否良好，其中具有判断部(612)，根据图像数据判断处理是否良好；存储部(613)，存储与检查时序相关的参数及与检查等级相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的参数设定检查时序等的键盘(68)等；和主控制部(611)，控制照相机等，以根据所设定的检查时序及检查等级实施检查。所述设定单元构成为可设定多个检查时序，且可对应各个设定时序单独设定检查等级。
文档编号H01L21/66GK1815250SQ20061000471
公开日2006年8月9日 申请日期2006年1月27日 优先权日2005年2月2日
发明者中村昭彦, 铃木芳邦 申请人:雅马哈发动机株式会社