专利名称：：压电体元件的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种压电体元件。技术背景压电体在被施加应力时产生电极化，在被施加电场时产生变形。这种由应力引起的电极化的产生和由电场引起的变形的产生是基于同一原因的物理现象，把这种现象称为压电效应。在压电体的表面背面两面上设置有电极的压电体元件，通过利用其压电效应，己使石英振子、静电计、传感器、电动机、汽车部件、及其他诸多领域的产品得到实用。并且，作为压电体的代表，可以列举具有钙钛矿型晶体结构的钛锆酸铅(PZT)，也报告了许多以该PZT为基础进行了各种改良的压电体。例如，在专利文献1中，关于压电体公开了0.98Pb(Zr。.52Tia48)O3-0.02Sr(KQ.25NbQ.75)03。该压电体的居里温度Tc被记载为347.3°C，利用谐振器测定法测出的压电常数d33被记载为440pm/V。在此，所说居里温度Tc指强电介质向顺电体相(常誘電相)的转移温度，在该温度以上时，自发性极化将消失。因此，如果考虑在高温下维持压电效应，则居里温度Tc越高越好。关于这一点，专利文献1的压电体的居里温度Tc在30(TC以上，可以说耐高温性良好。另外，所说的压电常数c^指表示在向压电体施加了电场(V/m)时发生多少位移的指标之一。在将压电体用于致动器时，压电常数d33越大越好。关于这一点，专利文献l的压电体的压电常数d33为440pm/V，比较大，所以在这一点上也比较理想。另外，压电常数d33—般利用谐振器测定法测定，附加在d后面的两位数字中的左侧数字表示电场方向，右侧数字表示位移方向，数字"3"表示极化方向。专利文献1日本特表2001—515835号公报本发明者们在探讨研究具有优于专利文献1的压电体的特性的压电体时发现，利用谐振器测定法测出的压电常数d33、与根据实际向压电体施加电场时的位移求出的压电常数d33(以下称为基于实际位移的压电常数d33)不一致，有时即使利用谐振器测定法测出的压电常数(133相同，基于实际位移的压电常数d33也不同。并且发现以往的压电体具有以下倾向，若提高居里温度TC，则与此相反压电常数d33降低，相反若提高压电常数(133，则与此相反居里温度TC降低。据此，预测要制造耐高温性优于以往、而且施加电场时的位移也大的压电体是极其困难的事情。
发明内容本发明就是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，提供一种耐高温性良好而且施加了电场时的实际位移也大的压电体元件。为了解决上述问题，本发明者们对以钛锆酸铅为基础的压电体进行了刻意研究，结果发现了耐高温性良好而且施加了电场时的实际位移也大的压电体，并完成了本发明。艮卩，本发明的压电体元件，在对包含Pb成分、Zr成分、Ti成分、Sr成分、Nb成分和Zn成分的混合物进行成形后烧制得到的压电体的表面背面两面的至少一面上设置有电极，所述压电体中的各成分的各自的相对量在利用一般式Pb(ZrJVa)03+bSrO+cNb02.5+dZnO表示时，满足下述条件<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>根据本发明的压电体元件，不仅耐高温性良好，施加了电场时的实际位移也大，所以在高温下能够长期稳定地发挥压电效应。虽然本发明的压电体元件具有这种良好的功能特性的原因尚不明确，但本发明者们按照以下那样对其原因进行了分析。即，像本发明的压电体元件这样，在具有满足上述一般式(满足上述ad的数值范围)的压电体时，在常温下晶体的各向异性较强，晶体结构容易变得不对称，所以即使在高温下也不易受到热振动的影响，不易成为无极性的状态，因此耐高温性良好。并且，认为由于施加电压而产生多晶体的晶轴的旋转，而产生变形，但是，认为此时的变形大，所以实际位移增大。图1是单层地使用压电体元件时的电路图。图2是层叠多个压电体元件以用作层叠型压电体元件时的电路图。图3是对压电体元件的试验片施加电压时的电路图。具体实施方式本发明的压电体元件在a的值小于0.51时和大于0.54时，具有基于实际位移的压电常数d33降低的倾向，所以优选0.51^a^0.54。并且由于即使产生局部组成的偏差时，也能够抑制基于实际位移的压电常数d33降低，所以更优选0.53^a^0.54。并且，在b的值小于1.1X10—2时，具有基于实际位移的压电常数d33降低的倾向，而在大于6.0X10—2时具有居里温度Tc降低的倾向，所以优选1.1X10—2^bS6.0X10—2。并且，在c的值小于0.9X10—"时和大于4.25X10—2时，具有基于实际位移的压电常数d33降低的倾向，所以优选0.9X10—2^c^4.25X10—2。并且，在d的值小于0.1X10^时，具有基于实际位移的压电常数(133降低的倾向，而在大于1.25X10^时具有居里温度Tc降低的倾向，所以优选0.1X10_2^dS1.25X10—2。另外，在c的值为0.9X10_2Sc^4.25Xl(r2、而且d的值为0.1X1(r2^dS1.25X10—2时，在c/d的值小于2.9时和大于15.0时，具有基于实际位移的压电常数d33降低的倾向，所以优选2.9^c/d^15.0。本发明的压电体元件在禾IJ用一般式Pb(ZrJVa)03+bSrO+cNb02.5+dZnO(ad如上所述)表示的压电体的表面背面两面中的至少-方设置有电极时，优选(a)根据在常温下一边从0V到1000V施加直流电场一边利用电动测微仪测定位移时的电压和位移的关系得到的压「W考133为900pm/V以上(更优选1000pm/V以上)，而且居里温度U:土〕以上(更优选325。C以上，进一步优选340。C以上)，或者，(b、々:A温下一边从OV到200V施加直流电场一边利用电动测微仪测定位栘^的位移量为0.18|am以上(更优选0.20pm以上)，而且居里温度Tc在300°C以上(更优选325°C以上，进一步优选340°C以上)。该情况时，相对施加电压的实际位移量变大，如果在小于居里温度Tc的温度条件下使用，则自发性极化不会消失，所以能够在高温下长期稳定地发挥压电效应。本发明的压电体元件不一定需要在利用一般式PKZraTUCb+bSrO+cNbOu+dZnO(ad如上所述)表示的压电体的表面背面两面中的至少一方上设置电极，也可以是在以钛锆酸铅为基础的包含Zn成分的压电体的表面背面两面的至少一面上设置有电极，也可以(a)根据在常温下一边从0V到IOOOV施加直流电场一边利用电动测微仪测定位移时的电压和位移的关系得到的压电常数43为900pm/V以上(更优选1000pm/V以上)，而且居里温度Tc在30(TC以上(更优选325。C以上，进一歩优选340。C以上)，或者，(b)在常温下一边从0V到200V施加直流电场一边利用电动测微仪测定位移时的位移量为0.18fim以上(更优选0.20(im以上)，而且居里温度Tc在300。C以上(更优选325°C以上，进一步优选34(TC以上)。该情况时，相对施加电压的实际位移量变大，如果在小于居里温度Tc的温度条件下使用，则自发性极化不会消失，所以能够在高温下长期稳定地发挥压电效应。优选该压电体元件使用的压电体包括Pb成分、Zr成分、Ti成分、Sr成分、Nb成分和Zn成分。本发明的压电体元件可以适用于各种压电器件。关于可以适用的压电器件，例如有压电致动器、压电蜂鸣器、超声波清洗机、超声波电动机、喷墨头等。本发明的压电体元件在高温下长期稳定地发挥压电效应，所以适合用作汽车的喷油器、尤其是柴油机车辆的共轨系统的喷油器。例如，在喷油器内的喷油器针(needle)附近内置有压电体元件，通过操作施加到压电体元件的电极上的电压，使压电体元件移位，控制喷油器的针阀(needlevalve)的开闭。并且，共轨系统的喷油器要求响应性良好，使用了压电体元件的类型比以往的螺线管类型的喷射间隔的响应更快速，所以比较有利。在单层地使用本发明的压电体元件时，例如图1所示，准备在压电体12的表面背面两面设置有电极14、16的压电体元件10，将一个电极14连接到电源的正极，将另一个电极16连接到电源的负极来使用。并且，在层叠多个压电体元件来用作层叠型压电体元件时，例如图2(a)所示，准备层叠了多个在压电体12的表面背面两面上设置有电极14、16的压电体元件10而得到的层叠型压电体元件30，将两个电极14、16重合形成的电极层18隔一个地电连接后连接到电源的正极，将剩余的电极层18电连接后连接到电源的负极来使用。或者，如图2(b)所示，准备层叠了多个只在压电体22的背面设置有电极24的压电体元件20而得到的层叠型压电体元件40，将电极24隔一个地电连接后连接到电源的正极，将剩余的电极24电连接后连接到电源的负极来使用。本发明的压电体元件例如经过(1)原料掺合工序、(2)混合粉碎工序、(3)临时烧制及粉碎工序、(4)粘接剂掺合工序、(5)造粒工序、(6)成形工序、(7)烧制工序、(8)加工工序、(9)电极形成工序、(10)极化工序而制得。以下说明各个工序。(1)原料掺合工序首先，分别称必要量的作为初始原料的Pb成分、Zr成分、Ti成分、Sr成分、Nb成分和Zn成分的粉末，将它们混合。此时，可以事前掌握被用作原料的材料中含有的杂质的种类、粒径分布等。关于此处使用的Pb成分，只要是能够通过烧制形成铅氧化物的Pb成分，则没有特别限制，可以使用各种Pb成分。关于这种Pb成分，例如可以列举Pb304(铅丹)和PbO等氧化物。并且，关于Zr成分，只要是能够通过烧制形成锆氧化物的Zr成分，则没有特别限制，可以使用各种Zr成分。关于这种Zr成分，例如可以列举二氧化锆等锆氧化物、氢氧化锆等。并且，关于Ti成分，只要是能够通过烧制形成钛氧化物的Ti成分，则没有特别限制，可以使用各种Ti成分。关于这种Ti成分，例如可以列举二氧化钛等钛氧化物、氢氧化钛等。并且，关于Sr成分，只要是能够通过烧制形成锶氧化物的Sr成分，则没有特别限制，可以使用各种Sf成分。关于这种Sr成分，例如可以列举锶氧化物、碳酸锶等。并且，关于Nb成分，只要是能够通过烧制形成铌氧化物的Nb成分，则没有特别限制，可以使用各种Nb成分。关于这种Nb成分，例如可以列举五氧化铌等铌氧化物等。并且，关于Zn成分，只要是能够通过烧制形成锌氧化物的Zn成分，则没有特别限制，可以使用各种Zn成分。关于这种Zn成分，例如可以列举氧化锌、硝酸锌、碳酸锌等。其中，考虑到压电常数的稳定性，优选使用氧化锌。(2)混合粉碎工序将在前述(1)得到的原料的混合物与纯水加入到球磨机(ballmill)中混合，然后干燥。此时，优选在转速至少为200rpm、混合时间为530小时的条件下进行，优选纯水的掺合量为总重量的5075%。并且，优选在混合粉碎时粉碎得使全体均匀。这是因为如果不均匀，将给临时烧制时的反应性能和最终产品的压电特性带来大的影响。(3)临时烧制及粉碎工序在粉体的状态下对混合粉碎后的原料进行临时烧制。在该临时烧制之前，为了预先去除多余的水分，例如在8015CTC下干燥约1小时后，在7001000。C(优选800卯0。C)的大气等氧化性氛围气中，进行l7小时的临时烧制。临时烧制后的粉体通过球磨机等粉碎装置被粉碎为平均粒径为0.12.0|am，优选0.11.0jim。此时，为了均匀粉碎，优选以掺合了水的湿式来实施粉碎。该粉碎时间没有特别限制，但是，例如粉碎530小时，优选1020小时。另夕卜，在粉碎后进行干燥获得原料粉末。(4)粘接剂掺合工序为了容易进行成形，也可以将粘接剂(粘合剂)均匀地加入粉末中。关于在成形中使用的粘接剂，例如可以使用聚乙烯醇等树脂。其重量比优选在0.5%以下。如果重量比超过0.5%，则电气特性和压电性降低，容易产生氧化物的还原。(5)造粒工序将惨合了粘接剂的原料粉末造成颗粒。造粒品优选粒径为120)am，形状优选为圆形、椭圆形、多边形、方形等。(6)成形工序将造粒品成形为所期望的形状。该成形可以采用干式成形法和湿式成形法的任一方法。干式成形法除了将造粒品放入模具后进行加压成形的粉末压縮法外，还有静水压法。湿式成形法除了将泥桨状或坯土状原料粉末成形为薄板状等的刮刀片(doctorblade)法外，还有挤压成形法、辊轧成形法等。除此以外，也可以使用公知的成形方法。(7)烧制工序通过烧制成形体得到烧制体。此时的烧制温度优选10501250°C，保持时间优选为18小时。在烧制时，也可以将成形体密封在容器中，在PbO氛围气中进行。由此，可以防止PbO蒸发。也可以在烧制的保持时间结束之前或保持时间结束后，阶段性地使温度上升或下降。另外，在成形工序后的成形体中含有粘接剂的情况下，优选在20050(TC的温度下进行脱脂/脱碳处理。(8)加工工序进行研磨加工、切割加工、表面修整加工等，使烧制体成为预定的尺寸。(9)电极烧熔工序在所得到的烧制体的一面或两面涂覆银膏，在50080(TC下烧熔形成电极，由此形成压电体元件。形成电极的方法除此以外，例如也可以采用基于无电解镀的电极生成法、真空蒸镀法、溅射法等，并且，除银以外，也可以形成单层或两层以上多层的金、镍、铜、钛、锌、铝等金属。电极厚度优选为220)Lim。如果电极厚度小于2|im，则有时会局部地产生未覆盖烧制体表面的部分，压电效应降低，所以不优选该厚度。并且，如果电极厚度超过20)^im，则电极的刚性提高，在施加电压时，有可能阻碍压电体元件变形，所以不优选该厚度。(10)极化工序烧制体为各向同性，不具有压电性，所以施加固有的矫顽电场的值以上的直流电场，进行使自发极化的方向对齐的极化处理。该极化处理例如通过在IO(TC左右的绝缘油中保持数十分钟来进行。实施例[实施例1一14和比较例l一l、2]Pb成分使用PbO，Zr成分使用Zr02，Ti成分使用Ti02，Sr成分使用SrO，Nb成分使用Nb20s，Zn成分使用ZnO，称出这些成分以便满足表1的实施例1一14和比较例l一l、2所示烧制后的组成ad，将各成分的混合物与纯水加入球磨机中混合粉碎20小时，然后干燥。此时，施加的纯水为总重量的65%。并且，球磨机的转速为500rpm。然后，将在球磨机中粉碎的混合物在10(TC下干燥24小时使脱水，然后在空气中在85(TC下临时烧制2小时，利用球磨机将临时烧制后的粉体粉碎20小时。粉碎后的平均粒径为0.8pm。向所得到的粉体中加入聚乙烯醇达0.5重量％作为粘接剂，进行造粒使粒径为约1.4)Lim。将该造粒品放入方形形状的模具中，然后在130MPa下加压成形，然后在Pb氛围气中烧制得到烧制体。烧制时的升温速度为10(TC/小时，在达到1100120(TC后，在该温度下保持2小时。为了使烧制体成为预定的大小，使用加工中心(machiningcenter)进行切取，实施使切取出的侧面平坦化的研磨加工，形成纵5mmX横5mmX厚0.5mm的烧制体。然后，使用金刚石或陶瓷等高硬度的砂轮，对该烧制体的表面进行沿水平面的平行的表面研磨，使烧制体的表面背面两面平坦化。在平坦化后的烧制体上印刷银膏(昭荣化学工业公司制，型号H5689)，在700'C下进行1小时烧熔，在表面背面两面形成电极。将其置于14(TC的硅油中，施加大于矫顽电场值的3kV/mm的直流电场达两分钟，进行极化处理。这样，得到在压电体的两面具有电极的压电体元件。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>对实施例1一14和比较例l一l、2的压电体元件，分别求出(1)基于谐振法的压电常数d33、(2)基于实际位移的压电常数d33、(3)实际位移量AL2、(4)居里温度Tc、(5)可靠性试验中的压电常数变化率AD。以下说明各个测定方法。(1)基于谐振法的压电常数(d33)的测定方法对在各个实施例和比较例中制备的试验片，根据电子材料工业会规格EMA—60016006，利用阻抗测定器(Agilent公司制，型号4294A)进行测定。(2)基于实际位移法的压电常数(d33)的测定方法如图3所示，向在各个实施例和比较例中制备的压电体元件的试验片的表面背面两面电极连接直流电源，一边施加01000V的直流电场，一边利用电动测微仪(TESA公司制，型号TT60)测定实际位移量AL1，根据关系式d33=ALl/V计算d33。(3)实际位移量AL2的测定方法对在各个实施例和比较例中制备的试验片施加0200V的直流电场，同时利用电动测微仪(TESA公司制，型号TT60)测定实际位移量AL2。(4)居里温度(Tc)的测定方法将在各个实施例和比较例中制备的试验片依次加热到200400°C，利用阻抗测定器(Agilent公司制，型号4294A)，测定lkHz的静电电容为最大时的温度，把该最大值时的温度作为居里温度Tc。(5)可靠性试验中的压电常数变化率AD的计算方法利用冷热循环试验进行可靠性评价。测定在各个实施例和各个比较例中制备的试验片的压电常数(d330)。然后，把一4(TC/保持时间30分、28(TC/保持时间30分作为一个循环，实施500个循环，在常温下放置5小时后，再次测定压电常数(d33l)。并且，利用下式求出压电常数的变化率(AD)。另外，此处的压电常数是基于实际位移法的压电常数。△D=(d330—d33l)/(d330)X100(%)在实施例1一14和比较例1、2中，使b、c、d的值固定，只改变a的值。结果，如表1所示，在0.51^a^0.54的范围内，压电常数(133、实际位移量AL2、居里温度Tc、压电常数变化率AD均得到良好的值，而在a为0.49时和0.55时，尤其是实际位移量AL2大幅降低。[实施例2—14和比较例2—1、2]称出PbO、Zr02、Ti02、SrO、Nb205、ZnO，以便达到满足表2的实施例2—14和比较例2—1、2所示的ad的组成，除此以外与上述实施例1相同，制造了压电体元件。并且，对于这些压电体元件，分别求出(1)基于谐振法的压电常数d33、(2)基于实际位移的压电常数d33、(3)实际位移量AL2、(4)居里温度Tc、(5)可靠性试验中的压电常数变化率AD，其结果集中在表2中示出。<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>在实施例2—14和比较例2—1、2中，使a、c、d的值固定，只改变b的值。结果，如表2所示，在1.1Xl(T2^b^6.0Xl(T2的范围内，压电常数d33、实际位移量AL2、居里温度Tc、压电常数变化率AD均得到良好的值。与此相对，在b为1.0X10—2时和7.0X10—2时，实际位移量AL2大幅降低，在后者即b为7.0X10—2时，居里温度Tc也低于30(TC，而且压电常数变化率AD明显增大。[实施例3—16和比较例3—1、2]称出PbO、Zr02、Ti02、SrO、Nb205、ZnO，以便达到满足表3的实施例3—16和比较例3—1、2所示的ad的组成，除此以外与上述实施例1相同，制造了压电体元件。并且，对于这些压电体元件，分别求出(1)基于谐振法的压电常数(133、(2)基于实际位移的压电常数d33、(3)实际位移量AL2、(4)居里温度Tc、(5)可靠性试验中的压电常数变化率AD，其结果在表3中集中示出。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>在实施例3—16和比较例3—1中，使a、b的值固定，改变c、d的值。结果，如表3所示，在0.9X10—2^c^4.25X10—2的范围内，压电常数d33、实际位移量AL2、居里温度Tc、压电常数变化率AD均得到良好的值。与此相对，在c为0.75X10—2时和4.50X10^时，实际位移量AL2大幅降低，在后者即c为4.50X10^时，居里温度Tc也低于300°C，而且压电常数变化率AD明显增大。[实施例4一19和比较例4一14]称出PbO、Zr02、Ti02、SrO、Nb205、ZnO，以便达到满足表4的实施例4一19和比较例4一14所示的ad的组成，除此以外与上述实施例1相同，制造了压电体元件。并且，对于这些压电体元件，分别求出(1)基于谐振法的压电常数d33、(2)基于实际位移的压电常数(133、(3)实际位移量AL2、(4)居里温度Tc、(5)可靠性试验中的压电常数变化率AD，其结果在表4中集中示出。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>在实施例4一19和比较例4一14中，使a、b的值固定，改变c、d的值。结果，如表4所示，在0.10Xlcr^d^l.25X10—2的范围内，而且在2.9^c/d^15.0时，压电常数d33、实际位移量AL2、居里温度Tc、压电常数变化率AD均得到良好的值。与此相对，在d为0.08X10—2时和1.30X10—2时，实际位移量AL2大幅降低，在后者即d为1.30X10—2时，居里温度Tc也低于30(TC，而且压电常数变化率AD明显增大。另一方面，在c/d为2.5时和18.75时，实际位移量AL2大幅降低。另外，若向压电体元件施加高电压，则压电性消失，把该压电性消失时的电场值称为矫顽电场。该矫顽电场越高越好。这是因为如果矫顽电场较高，则即使在压电体元件由于某种原因被施加了高电压时，压电性也不会消失。在上述各个实施例的压电体元件中，矫顽电场的值均是10kV/cm左右，比较良好。本发明以在2005年3月1日提出申请的日本专利申请第2005—056222号为主张优先权的基础，并且该原专利申请的全部内容通过引用被包含于本说明书中。本发明的压电体元件除用作致动器、传感器外，还可以在模拟电子电路中的振荡电路和滤波电路等广泛领域中应用。权利要求1.一种压电体元件，该压电体元件在对包含Pb成分、Zr成分、Ti成分、Sr成分、Nb成分和Zn成分的混合物进行成形后烧制得到的压电体的表面背面两面的至少一面上设置有电极，其特征在于，所述压电体中的各成分的各自的相对量在利用一般式Pb(ZraTi1-a)O3+bSrO+cNbO2.5+dZnO表示时，满足下述条件0.51≤a≤0.541.1×10-2≤b≤6.0×10-20.9×10-2≤c≤4.25×10-20.1×10-2≤d≤1.25×10-22.9≤c/d≤15.0。2.根据权利要求l所述的压电体元件，其特征在于，根据在常温下一边从0V到1000V施加直流电场一边利用电动测微仪测定位移时的电压和位移的关系得到的压电常数(133为900pm/V以上，而且居里温度Tc在300。C以上。3.根据权利要求1或2所述的压电体元件，其特征在于，在常温下一边从0V到200V施加直流电场一边利用电动测微仪测定位移时的位移量为0.18fim以上，而且居里温度Tc在30(TC以上。4.一种压电体元件，该压电体元件在以钛锆酸铅为基础的包含Zn成分的压电体的表面背面两面的至少一面上设置有电极，其特征在于，根据在常温下一边从0V到1000V施加直流电场一边利用电动测微仪测定位移时的电压和位移的关系得到的压电常数d33为900pm/V以上，而且居里温度Tc在300°C以上。5.根据权利要求4所述的压电体元件，其特征在于，所述压电体包含Pb成分、Zr成分、Ti成分、Sr成分、Nb成分和Zn成分。6.—种压电体元件，该压电体元件在以钛锆酸铅为基础的包含Zn成分的压电体的表面背面两面的至少一面上设置有电极，其特征在于，在常温下一边从0V到200V施加直流电场一边利用电动测微仪测定位移时的位移量为0.18pm以上，而且居里温度Tc在300°C以上。7.根据权利要求6所述的压电体元件，其特征在于，所述压电体包含Pb成分、Zr成分、Ti成分、Sr成分、Nb成分和Zn成分。8.根据权利要求2、4或5所述的压电体元件，其特征在于，所述压电常数d33为1000pm/V以上。9.根据权利要求3、5或7所述的压电体元件，其特征在于，所述200V时的位移量为0.20(im以上。全文摘要本发明提供一种压电体元件，在压电体的表面背面两面中的至少一方上设置有电极，该压电体是在将包括Pb成分、Zr成分、Ti成分、Sr成分、Nb成分和Zn成分的混合物成形后烧制得到的，所述压电体中的各成分的各自相对量在利用一般式Pb(Zr<sub>a</sub>Ti<sub>1-a</sub>)O<sub>3</sub>+bSrO+cNbO<sub>2.5</sub>+dZnO表示时，例如满足下述条件a＝0.51、b＝2.0×10<sup>-2</sup>、c＝1.50×10<sup>-2</sup>、d＝0.5×10<sup>-2</sup>、c/d＝3.0。文档编号H01L41/18GK101133502SQ20068000667公开日2008年2月27日申请日期2006年2月24日优先权日2005年3月1日发明者井户贵彦,伊藤淳,松山卓央,松野吉弥,福安繁夫,鹿野治英申请人:揖斐电株式会社;大日本塗料株式会社