专利名称：真空腔定位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空腔定位装置，尤其涉及一种对提供真空环境的真空腔体 进行密封的腔盖进行定位及支撑的真空腔定位装置。
背景技术：
随着科学技术的不断进步，人们对数码产品的使用要求不断提高，尤其是数码产 品的显示屏。0LED显示屏就是数码产品中的一种新产品，0LED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又禾尔为有机电发光显不(OrganicElectroluminesence Display, 0ELD)，0LED是一种低电压、低功耗、高亮度、高光效、宽视觉、全固化、全彩显、重量轻、价格 低的电致发光器件，正成为当今世界显示器件研究的热点，因此，具有较大的市场潜力。在此类半导体、电子工业及机械领域，特别是目前在真空制造和有洁净度要求的 领域，为了达到产品质量的要求，其工艺过程都需要一个干净的加工环境，例如在半导体加 工过程中广泛应用的化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、刻蚀、氧化等工艺制程，为 了提供一个较佳的工艺环境，加工过程往往都在一个封闭的腔体内进行，这个时候就需要 一种腔体设备，特别是真空腔体设备，腔体设备是贯穿整个生产制程，且也是最普遍、最重 要的设备。随着广泛应用在制造电致发光显示装置中的玻璃衬底已经变得越来越大，例如在 第六代尺寸为1500mmX 1800mm，第七代中尺寸为1870mmX2200mm，以及在第八代中尺寸为 2160mmX2400mm的玻璃衬底都会被引入到生产线。较大的玻璃衬底当然需要更大的腔体与 腔盖与之适应，所以腔盖的重量相对应的会越来越重。然而，有时候为了保证腔体内的真空 质量，需要定期或不定期的对腔体内的部件进行清理和维护，比如腔体内部零部件需要更 换、改造、调试或者说腔体内部需要清理的时候，就需要将腔盖打开进行维护。在维护的过 程中既要确保调试人员的安全和腔盖的稳定，又要保证调试的方便性，所以对腔盖进行稳 定定位的机构相当的重要。而现有的定位装置要么稳定性及可靠性不足，并且结构过于复
杂o因此，急需一种结构简单、性能安全可靠的具有定位及支撑功能的真空腔定位装置。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种结构简单、性能安全可靠的具有定位及支撑功能 的真空腔定位装置。为了实现上述目的，本实用新型提供一种真空腔定位装置，适用于对提供真空环 境的真空腔体进行密封的腔盖进行定位及支撑，所述真空腔定位装置包括支架、支臂、铰链 轴及定位杆，所述支架的起始端与所述真空腔体固定连接，所述支臂的起始端与所述腔盖 固定连接，所述支架的末端与所述支臂的末端相互重叠且均开设有相互对应的容置孔，所 述铰链轴枢接地穿过所述容置孔使所述支架与所述支臂枢接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心为圆心等径地开设有定位孔，所述定位杆可插拔的插入所述支 臂的末端及所述支架的末端的定位孔内实现支臂与支架的固定。较佳地，所述支架上开设有与所述定位杆数量相等的暂存孔，所述暂存孔容置所 述定位杆。在腔盖上升或者下降过程及腔盖关闭时，不需要使用所述定位杆对腔盖进行锁 定，所述定位杆脱离于所述定位孔之外，为了保证定位杆不至于丢失或者遗落，在所述支架 上设置的所述暂存孔可用于暂时存放所述定位杆，防止所述定位杆丢失。较佳地，所述支架的末端还固定连接有支架加强块，所述支臂的末端还固定连接 有支臂加强块，所述支架加强块及所述支臂加强块相互重叠，所述容置孔及定位孔开设于 所述支架加强块及所述支臂加强块上。由于真空腔定位装置一般用于对较大的腔盖进行定 位，腔盖重量都比较大，在定位过程中，极有可能因为腔盖太重而导致支架及支臂出现弯曲 变形，严重时甚至断裂，对正在进在清理或维护腔体的工作人员造成致命的伤害。因此，在 所述支架及支臂上增加了支架加强块及支臂加强块可以增加所述支架及所述支臂的强度， 从而使所述支架及所述支臂具有足够的支撑力支撑笨重的腔盖，保证整个真空腔定位装置 稳定性及可靠性，防止意外的发生。与现有技术相比，由于本实用新型所述支架及所述支臂通过铰链轴铰接，并在所 述支架及所述支臂的所述容置孔周围以所述容置孔的中心为圆心等径地设置所述定位孔， 定位时，通过转动所述支臂，所述支臂围绕所述容置孔的中心转动，使所述支架及所述支臂 上的定位孔重合，再将所述定位杆放置于两定位孔内，使所述支臂不能继续围绕所述容置 孔的中心转动，从而达到定位的目的，结构简单，性能安全可靠。
图1是本实用新型真空腔定位装置的第一实施例的结构示意图。图2是图1所示的真空腔定位装置应用于腔盖对真空腔体密封时的状态图。图3是图1所示的真空腔定位装置应用于腔盖对真空腔体开启时的状态图。图4是本实用新型真空腔定位装置的第二实施例的结构示意图。图5是图4所示的真空腔定位装置应用于腔盖对真空腔体密封时的状态图。图6是图4所示的真空腔定位装置应用于腔盖对真空腔体开启时的状态图。
具体实施方式
如图1所示，为本实用新型真空腔定位装置100的第一实施例，包括支架1、支臂 2、铰链轴3及一定位杆4，所述支架1的起始端与所述真空腔体202固定连接，所述支臂2 的起始端与所述腔盖201固定连接，所述支架1的末端与所述支臂2的末端相互重叠且均 开设有相互对应的容置孔5，所述铰链轴3枢接地穿过所述容置孔5使所述支架1与所述支 臂2枢接，所述支臂2的末端及所述支架1的末端以所述容置孔5的中心为圆心等径地开 设有支臂定位孔21及数个支架定位孔11，所述定位杆4可插拔的插入所述支臂2的末端 及所述支架1的末端的所述支臂定位孔21及支架定位孔11内实现所述支臂2与支架1的 固定。当所述支臂2绕所述铰链轴3转动一定角度时，所述支臂定位孔21可与在该角度对 应的所述支架定位孔11重合，所述定位杆4容置于相重合的所述支臂定位孔21及支架定 位孔11内。所述支架1上设置有与所述定位杆4数量相等的暂存孔13，所述暂存孔13容
4置所述定位杆4，当腔盖201上升或者腔盖201下降过程及关闭时，不需要使用所述定位杆 4对真空腔盖202进行锁定，所述定位孔4放置于所述暂存孔13内，可以防止所述定位杆4 丢失。如图2及图3所示，为本实用新型应用于真空腔体202时的结构示意图，所述支架 1安装于真空腔体202侧壁上，所述支臂2与所述支架1铰接，腔盖201固定于所述支臂2 上，所述腔盖201关闭时，所述定位杆4放置于所述暂存孔13内，所述真空腔定位装置100 解锁，整个真空腔体202处于密封状态。当需要对真空腔体202内部进行清理或维护时，所 述腔盖201打开，所述支臂2带动所述腔盖201绕所述铰链轴3转动一定角度，当调整到合 适角度时，所述支架定位孔11与所述支臂定位孔21重合，这时即可将存放于所述暂存孔13 内的所述定位杆4拔出并放置于重合的所述支架定位孔11及支臂定位孔21内，即可锁定 真空腔定位装置100，腔盖201即被锁定在该位置。所述腔盖201的定位角度可任意调整， 只需要将所述支臂定位孔21调整到与其他支架定位孔11重合再将所述定位杆4置于其内 即可。当关闭时，将所述定位杆4拔出放回所述暂存孔13内再关闭所述真空腔体202即可。所述支臂2上也可设置多个所述支臂定位孔21，当所述支臂2绕所述铰链轴3转 动一定角度进行定位时，数个所述支臂定孔21可分别同时与在该角度对应的数个所述支 架定位孔11重合，当然，此时也需要增加所述定位杆4的数量，数个所述定位杆4侧分别容 置于相重合的所述支架定位孔11及支臂定位孔21内。所述暂存孔13应在所述支架1上 设置与所述定位杆4相等的数量，以便在不需要定位时储存所有所述定位杆4。如图4、图5及图6所示，为本实用新型真空腔定位装置100的第二实施例，在第一 实施例的基础上增架支架加强块12及支臂加强块22，所述支架加强块12及所述支臂加强 块22固定连接在所述支架1及所述支臂2的末端并相互重叠，所述容置孔5、支架定位孔11 及支臂定位孔21开设于所述支架加强块12及所述支臂加强块22上。所述支架加强块12 及支臂加强块22可以增加所述支架1及所述支臂2的强度，从而使所述支架1及所述支臂 2具有足够的支撑力支撑重量较大的腔盖201，保证整个真空腔定位装置100具有足够的稳 定性及可靠性，防止所述支臂2断裂对正在进在清理或维护真空腔体202的工作人员造成 伤害。本实用新型所述支架1及所述支臂2通过铰链轴3铰接，并在所述支架1及所述 支臂2的所述容置孔5周围以所述容置孔5的中心为圆心等径地设置定位孔，定位时，通过 转动所述支臂2，所述支臂2围绕所述容置孔5的中心转动，使所述支架1及所述支臂2上 的定位孔重合，再将所述定位杆4放置于所述支架定位孔11及支臂定位孔21内，使所述支 臂2不能继续围绕所述容置孔5的中心转动，从而达到定位的目的，且由于定位杆4独立于 所述支架1，因此设置所述暂存孔13放置所述定位杆4，可防止所述定位杆4丢失，并且在 所述支架1及所述支臂2的末端增加支架加强块12及支臂加强块22，可以增加所述支架 1及所述支臂2的强度，防止因腔盖201太重而导致支架1及支臂2出现弯曲变形，甚至断 裂，对正在进在清理或维护腔体的工作人员造成伤害，结构简单，性能安全可靠。本实用新型真空腔定位装置100所涉及到的腔盖201及真空腔体202的尺寸大小 及安装方法均为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权 禾瞞围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属于本实用新型所涵盖的范围。
权利要求一种真空腔定位装置，适用于对提供真空环境的真空腔体进行密封的腔盖进行定位及支撑，其特征在于所述真空腔定位装置包括支架、支臂、铰链轴及定位杆，所述支架的起始端与所述真空腔体固定连接，所述支臂的起始端与所述腔盖固定连接，所述支架的末端与所述支臂的末端相互重叠且均开设有相互对应的容置孔，所述铰链轴枢接地穿过所述容置孔使所述支架与所述支臂枢接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心为圆心等径地开设有定位孔，所述定位杆可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔内实现支臂与支架的固定。
2.如权利要求1所述的真空腔定位装置，其特征在于所述支架上开设有与所述定位 杆数量相等的暂存孔，所述暂存孔容置所述定位杆。
3.如权利要求1所述的真空腔定位装置，其特征在于所述支架的末端还固定连接有 支架加强块，所述支臂的末端还固定连接有支臂加强块，所述支架加强块及所述支臂加强 块相互重叠，所述容置孔及定位孔开设于所述支架加强块及所述支臂加强块上。
专利摘要本实用新型公开了一种真空腔定位装置，适用于对提供真空环境的真空腔体进行密封的腔盖进行定位及支撑，所述真空腔定位装置包括支架、支臂、铰链轴及定位杆，所述支架的起始端与所述真空腔体固定连接，所述支臂的起始端与所述腔盖固定连接，所述支架的末端与所述支臂的末端相互重叠且均开设有相互对应的容置孔，所述铰链轴枢接地穿过所述容置孔使所述支架与所述支臂枢接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心为圆心等径地开设有定位孔，所述定位杆可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔内实现支臂与支架的固定。本实用新型具有定位及支撑功能，结构简单、性能安全可靠。
文档编号H01L21/00GK201608165SQ200920274209
公开日2010年10月13日 申请日期2009年12月1日 优先权日2009年12月1日
发明者刘惠森, 叶宗锋, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良, 郭远伦 申请人:东莞宏威数码机械有限公司