涂布喷嘴、涂布方法以及内容积控制阀的制作方法

专利名称：涂布喷嘴、涂布方法以及内容积控制阀的制作方法
技术领域：
本发明涉及能够一次在基板的多个面上涂布液体的涂布喷嘴、涂布方法、以及与 涂布喷嘴一起使用的内容积控制阀。
背景技术：
以往，太阳电池面板通过作为粘结剂或密封件的热熔剂嵌入在金属性外壳上。太 阳电池面板例如在受光面侧的玻璃板的背面设有透明电极、在透明电极与背面电极之间配 置有非晶硅及薄膜多晶硅。金属性外壳上设有用于嵌入太阳电池面板的槽形的嵌合部分。 根据以往的方法，在外壳的嵌合部分涂布热熔剂，之后将太阳电池面板嵌入嵌合部分，从而 将太阳电池面板组装在外壳上(参照专利文献1。)。但是，由于在外壳的嵌合部分设有设置用的孔等，因此有时是不希望在外壳的嵌 合部涂布具有流动性的热熔剂的。此外，为了可靠地防止水浸入至太阳电池面板和外壳之间，有时会增加对嵌合部 分涂布的热熔剂的量。在该情况下，多余的热熔剂会从嵌合部分溢出，需要用于将溢出的热 熔剂除去的工序。为了解决上述的向外壳涂布热熔剂的问题点，考虑到了对太阳电池面板涂布热熔 剂的方法。在通过对太阳电池面板涂布热熔剂来组装设有设置用孔的外壳和太阳电池面板 时，也能够使用具有流动性的热熔剂。此外，由于对太阳电池面板直接涂布热熔剂，因此，能 够更加可靠地防止水浸入太阳电池面板。进而，能够使用更加廉价的外壳。专利文献1 日本特开2000-243998号公报为了使用以往的涂布装置对太阳电池面板等基板的外周部涂布热熔剂等液体，需 要从3个涂布装置分别对基板的端面、基板的与端面相邻的上表面、基板的与端部相邻的 下表面涂布液体。3个涂布装置中分别设有喷嘴、向喷嘴供给液体的液体供给阀、用于从液 体供给源向液体供给阀供给液体的液体通路。这样，存在为了设置多个喷嘴、多个液体供给阀及多个液体供给通路而花费费用 的问题。此外，由于构造部件的数量增加，因此存在需要有用于设置多个涂布喷嘴的较大 的空间的问题。进而，由于需要设置从液体供给源至多个涂布喷嘴的多个液体供给通路，因此存 在多个液体供给通路的配管烦杂的问题。进而，存在将多个涂布喷嘴分别相对基板进行定位的作业花费时间、并且调整各 个涂布喷嘴的喷出开始及喷出停止的定时的作业花费时间的问题。进而，由多个涂布喷嘴形成的涂膜之间的接缝的加工质量不好。即，存在接缝隆起 或产生膨胀的问题。

发明内容
本发明的目的在于提供能够对基板的端面和基板的与端面相邻的面喷出液体的 涂布喷嘴及涂布方法。此外，本发明的目的在于提供与涂布喷嘴一起使用的内容积控制阀。为了解决上述问题，本发明中设置成如下的涂布喷嘴。S卩，一种涂布喷嘴，具有喷嘴主体，具有接受从液体供给阀供给的液体的入口开 口和喷出液体的出口开口 ；分配板，与所述喷嘴主体相邻配置，具有对从所述出口开口喷出 的液体进行分配的槽孔；隔片板，与所述分配板相邻配置，设有与所述分配板的所述槽孔连 通的切口部；以及遮蔽板，与所述隔片板相邻配置，覆盖所述隔片板的所述切口部；在所述 分配板和所述遮蔽板之间通过所述隔片板的所述切口部形成用于对基板的端面及所述基 板的与所述端面相邻的面喷出液体的缝隙部。此外，为了解决上述问题，本发明中设置成如下的涂布方法。S卩，一种涂布方法，使所述涂布喷嘴一边沿着基板的缘部移动一边对所述基板的 端面及所述基板的与所述端面相邻的面涂布液体。此外，此外，为了解决上述问题，本发明中设置成如下的内容积控制阀。S卩，一种内容积控制阀，与涂布喷嘴一起使用，所述涂布喷嘴具有接受从液体供给 阀供给的液体的一个入口开口、喷出液体的多个出口开口、和设置在所述多个出口开口和 所述一个入口开口之间的缸体部，所述内容积控制阀具有第一柱塞，在所述缸体部内往返 移动，能够停止在所述缸体部内的多个位置；第一活塞，固定于所述第一柱塞；一个或两个 以上第二柱塞及第二活塞，作用于所述第一活塞，以使所述第一柱塞停止在所述多个位置； 从所述多个位置选择所述第一柱塞停止的位置，以变更喷出所述液体的出口开口的个数。发明效果根据本发明，提供能够对基板的端面和基板的与端面相邻的面喷出液体的涂布喷 嘴及涂布方法。此外，根据本发明，能够提供与涂布喷嘴一起使用的内容积控制阀。本发明的涂布喷嘴由于能够对基板的端面和基板的与端面相邻的面喷出液体，因 此，能够降低用于设置多个喷嘴、液体供给阀及液体供给通路的費用。此外，本发明的涂布喷嘴与使用多个以往的涂布喷嘴的涂布装置相比，能够减少 构造部件的数量，能够减少用于设置涂布喷嘴的空间。进而，本发明的涂布喷嘴与使用多个以往的涂布喷嘴的涂布装置相比，能够减少 从液体供给源至涂布喷嘴的液体供给通路的数量。进而，本发明的涂布喷嘴与使用多个以往的涂布喷嘴的涂布装置相比，能够减少 花费在涂布喷嘴的安装位置调整、喷出开始及喷出停止的定时调整上的时间。进而，本发明的涂布喷嘴能够进行在基板的端面的涂膜和基板的与端面相邻的面 的涂膜之间不存在接缝的涂布。


图1是表示本发明的涂布系统的图。图2是实施例1的三面涂布喷嘴的分解立体图。
图3是三面涂布喷嘴和内容积控制阀的俯视图。图4是沿图3的线IV-IV截取的喷嘴主体的剖面图。图5是喷嘴主体的主视图。图6是喷嘴主体的侧视图。图7是喷嘴主体的立体图。图8是为了表示喷嘴主体的热熔剂通路而将喷嘴主体透视描绘的说明图。图9是分配板的主视图。图10是分配板的侧视图。图11是安装在喷嘴主体上的分配板的主视图。图12是安装在喷嘴主体上的分配板的侧视图。图13是安装在喷嘴主体上的分配板的立体图。图14是隔片板的主视图。图15是隔片板的侧视图。图16是与分配板相邻安装的隔片板的主视图。图17是与分配板相邻安装的隔片板的侧视图。图18是与分配板相邻安装的隔片板的立体图。图19是遮蔽板的主视图。图20是遮蔽板的侧视图。图21是三面涂布喷嘴的喷嘴前端部的说明图。图22是喷嘴前端部的放大图。图23是与隔片板相邻安装的遮蔽板的主视图。图24是与隔片板相邻安装的遮蔽板的侧视图。图25是与隔片板相邻安装的遮蔽板的立体图。图26是代替例1的遮蔽板的侧视图。图27是代替例2的遮蔽板的侧视图。图28是安装板的主视图。图29是与遮蔽板相邻安装的安装板的主视图。图30是与遮蔽板相邻安装的安装板的侧视图。图31是与遮蔽板相邻安装的安装板的立体图。图32是表示用螺钉固定的三面涂布喷嘴的图。图33是沿图32的线XXXIIIA-XXXIIIA及线XXXIIIB截取的三面涂布喷嘴的剖面 侧视图。图34是沿图32的线XXXIIIA-XXXIIIA及线XXXIIIB截取的三面涂布喷嘴的剖面 立体图。图35是表示涂布前及涂布后的内容积控制阀和热熔剂供给阀的图。图36是表示涂布时的内容积控制阀和热熔剂供给阀的图。图37是表示利用实施例1的三面涂布喷嘴对太阳电池面板涂布的热熔剂的涂膜 的剖面图。图38是表示热熔剂的涂布方法的说明图。
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图39是实施例2的三面涂布喷嘴的分解立体图。图40是分散板的主视图。图41是与分配板相邻安装的分散板的主视图。图42是与分配板相邻安装的分散板的侧视图。图43是与分配板相邻安装的分散板的立体图。图44是与分散板相邻安装的隔片板的主视图。图45是与分散板相邻安装的隔片板的侧视图。图46是与分散板相邻安装的隔片板的立体图。图47是表示实施例2的三面涂布喷嘴的热熔剂流路的说明图。图48是用于实施例3的两面涂布喷嘴的分配板的主视图。图49是用于实施例3的两面涂布喷嘴的隔片板的主视图。图50是表示通过实施例1 3而涂布了热熔剂的太阳电池面板的图。图51是实施例4的三面涂布喷嘴的分解图。图52是喷嘴主体的主视图。图53是喷嘴主体的侧视图。图54是分配板的主视图。图55是隔片板的主视图。图56是表示实施例4的内容积控制阀的动作说明图。图57是表示喷嘴主体的第一及第二出口开口与第一柱塞之间的位置关系的图。图58是表示实施例4的第一柱塞和热熔剂供给阀的动作的说明59是表示涂布前及涂布后的内容积控制阀和热熔剂供给阀的图。图60是表示三面涂布时的内容积控制阀和热熔剂供给阀的图。图61是表示一面涂布时的内容积控制阀和热熔剂供给阀的图。图62是表示利用一个涂布装置对太阳电池面板进行涂布的方法的说明图。图63是表示利用一个涂布装置对太阳电池面板进行涂布的其他方法的说明图。图64是表示利用一个涂布装置对太阳电池面板进行涂布的其他方法的说明图。图65是表示利用两个涂布装置对太阳电池面板进行涂布的方法的说明图。图66是表示利用四个涂布装置对太阳电池面板进行涂布的方法的说明图。附图标记2…太阳电池面板(基板)、2b…下表面、2e...端面、2t...上表面、10、210、410…三 面涂布喷嘴、11、411…喷嘴主体、lla、411a…入口开口、Ilf…出口开口、12、412…分配板、 12a- “二”字形的槽孔、13、413…隔片板、13a…第二切口部、13al···第一缝隙部、13a2…第 二缝隙部、13a3···第三缝隙部、14···遮蔽板、30···热熔剂供给阀(液体供给阀)、411f…第一 出口开口、411k···第二出口开口、412a··· “ - ”字形的第二槽孔、412d···第一竖槽孔、413rL··· 第一切口部、413aL···第一缝隙部、413a21 · ·第二缝隙部、413a3…第三缝隙部、413r2…第 二切口部、413r3…第三切口部、413r4…第四切口部
具体实施例方式以下，参照附图，基于优选的实施方式对本发明进行说明。其中，关于以下的实施方式中记载的结构部件的尺寸、材质、形状、该结构部件的相对配置等，只要没有特别的特 定记载，就表示本发明的范围不仅限定于该实施方式中记载的情况。[实施例1](涂布系统)图1是表示本发明的涂布系统的图。在本实施例中，作为多面涂布装置的例子举 出三面塗装置进行说明。三面涂布装置1安装在机械手100上。机械手100使三面涂布装 置ι沿着作为被涂物(基板)的太阳电池面板(S0larpanel)2的缘部移动。太阳电池面板 2是在太阳光发电中使用的面板。三面涂布装置1 一边沿箭头A1、A2、A3及A4所示的喷嘴 移动方向移动，一边对太阳电池面板2的缘部的端面、与端面相邻的上表面(上侧周面)、 与端面相邻的下表面(背侧周面)涂布作为粘结剂或密封剂等液体的热熔剂。在本实施例 中，示出了使三面涂布装置1相对于太阳电池面板2移动的结构，但是本发明不限于此，也 可以是使太阳电池面板2相对于三面涂布装置1移动。因此，喷嘴移动方向表示的是三面 涂布装置1相对于太阳电池面板2的相对移动方向。三面涂布装置1具有作为涂布喷嘴的三面涂布喷嘴10、内容积控制阀20、热熔剂 供给阀(液体供给阀)30、和喷枪40。三面涂布喷嘴10形成有用于使太阳电池面板2通过 的切口部10r。三面涂布喷嘴10的使太阳电池面板2通过的部分形成为“二”字形。内容 积控制阀20经由空气通路51、52与阀空气控制回路60连接。在内容积控制阀20和空气通 路51、52之间设有速度控制器21、22。阀空气控制回路60经由空气通路53与空气供给源 70连接。阀空气控制回路60通过控制装置110的空气控制信号111而被控制。喷枪40经 由热熔剂通路(液体通路)54与热熔剂供给源80连接。喷枪40还经由空气通路55与喷 枪空气控制回路90连接。喷枪空气控制回路90经由空气通路56与空气供给源70连接。 喷枪空气控制回路90通过控制装置110的空气控制信号112而被控制。(三面涂布喷嘴)图2是三面涂布喷嘴10的分解立体图。三面涂布喷嘴10安装在内容积控制阀20的一 端部。三面涂布喷嘴10具有喷嘴主体11、分配板12、缝(shim)板13、遮蔽板14、和安装板15。(喷嘴主体)图3是表示三面涂布喷嘴10和内容积控制阀20的俯视图。图4是沿图3的线 IV-IV截取的喷嘴主体11的剖面图。喷嘴主体11上设有用于使太阳电池面板2通过的切 口部llr。切口部Ilr具有宽Wl和长度Li。喷嘴主体11通过螺母31安装在热熔剂供给 阀30上。喷嘴主体11被直接安装在热熔剂供给阀30上，因此本实施例的热熔剂通路的长 度较短。如果热熔剂通路的长度较长，则在涂布作业初始时产生锥状的涂膜，或者涂布作业 结束时热熔剂的切断不好。在本实施例中，由于缩短了热熔剂通路的长度，因此能够减少涂 布作业初始时的锥状涂膜的产生以及涂布作业结束时的热熔剂的切断不良。喷嘴主体11 上设有接受从热熔剂供给阀30供给的热熔剂的入口开口 11a。喷嘴主体11上设有与入口 开口 Ila连通的热熔剂通路(液体通路)lib。此外，喷嘴主体11上设有与热熔剂通路lib 相交且与热熔剂通路lib连通的缸体部11c。缸体部Ilc相对于热熔剂通路lib设置在与 切口部Ilr相反的一侧。喷嘴主体11上设有用于装配内容积控制阀20的装配孔lid。缸 体部Ilc朝向装配孔Ild开口。缸体部Ilc中插入有内容积控制阀20的柱塞23。柱塞23 在缸体部Ilc内往返移动。
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图5是喷嘴主体11的主视图。在安装有分配板12的喷嘴主体11的安装面lie， 设有热熔剂的出口开口 llf。喷嘴主体11上设有调温加热器17和温度传感器18。若喷嘴 主体11被周围空气及太阳电池面板2冷却而使喷嘴主体11的温度降低，则热熔剂涂布结 束时的切断不好。因此，为了加热喷嘴主体11而将其维持为适当的温度而在喷嘴主体11 上设置调温加热器17。温度传感器18检测喷嘴主体11的温度。控制装置110基于温度传 感器18的检测温度，控制调温加热器17，将喷嘴主体11保持为适当的温度。由此，能够使 热熔剂涂布结束时的切断良好。图6是喷嘴主体11的侧视图。喷嘴主体11上设有将出口 开口 Ilf和热熔剂通路lib连通的热熔剂通路(液体通路)llg。在本实施例中，热熔剂通 路Ilg与三面涂布喷嘴10相对太阳电池面板2相对移动的方向A平行地延伸。此外，热熔 剂通路lib相对于热熔剂通路Ilg垂直地延伸。缸体部Ilc在热熔剂通路lib与热熔剂通 路Ilg之间的结合部Ilh之处，与热熔剂通路lib连通。图7是喷嘴主体11的立体图。图8是为了表示喷嘴主体11的热熔剂通路而将喷 嘴主体11透视描绘的说明图。在通过螺母31将热熔剂供给源30安装在喷嘴主体11上时， 热熔剂被供给至喷嘴主体11的入口开口 11a。热熔剂从入口开口 Ila经过热熔剂通路lib 而流向结合部llh。此时，缸体部lie内的柱塞23的前端部位于结合部Ilh的附近。热熔 剂从结合部1 Ih经过热熔剂通路Ilg流向出口开口 llf。(分配板)图9是分配板12的主视图。分配板12设有用于使太阳电池面板2通过的切口部 12r。切口部12r具有宽W2和长度L2。切口部12r的上边与侧边之间以及下边与侧边之间 通过半径R的圆弧连结。分配板12的切口部12r的宽W2等于或小于喷嘴主体11的切口 部Ilr的宽W1。此外，在将图4的喷嘴主体11的左端部和图9的分配板12的左端部对齐 安装的情况下，分配板12的切口部12r的长度L2等于或小于喷嘴主体11的切口部Ilr的 长度Li。能够按照所需的涂布形状及涂膜厚度来设定分配板12的宽W2、长度L2、以及半径 R的尺寸。分配板12上沿着切口部12r的周围设有“ 二 ”字形的槽孔12a(12alU2a2U2a3)。 如图9所示，槽孔12a包括竖槽孔12al、从竖槽孔12al的一端部沿着切口部12r的上边 水平延伸的上横槽孔12a2、和从竖槽孔12al的另一端部沿着切口部12ι 的下边水平延伸的 下横槽孔12a3。槽孔12a具有宽W3。宽W3的尺寸对热熔剂的流量或分配的均勻性产生影 响。切口部12r与槽孔12a之间的距离Dl决定喷出热熔剂的缝隙部的流路长度。分配板12上设有6个用于使安装螺钉通过的孔12b。图10是分配板12的侧视图。分配板12具有厚Tl。分配板12的厚Tl决定三面 涂布喷嘴10内热熔剂积留的容积。通过减小厚Tl，能够减小热熔剂积留的容积。以下，对分配板12中的热熔剂的流动进行说明。图11、图12及图13分别是安装在喷嘴主体11上的分配板12的主视图、侧视图及 立体图。从热熔剂供给阀30供给的热熔剂，从喷嘴主体11的入口开口 Ila经过热熔剂通 路lib、结合部llh、热熔剂通路llg，流向出口开口 llf，从出口开口 Ilf喷出。从出口开口 Ilf喷出的热熔剂被分配而流向分配板12的竖槽孔12al的上方及下方。流向上方的热熔 剂在上横槽孔12a2内流动而充满于上横槽孔12a2内。流向下方的热熔剂在下横槽孔12a3 内流动而充满于下横槽孔12a3内。
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通过分配板12，热熔剂被分配至与太阳电池面板2的端面对应的喷出口、与上表 面对应的喷出口、与下表面对应的喷出口。分配板12的竖槽孔12al、上横槽孔12a2及下横 槽孔12a3形成热熔剂积留。(隔片板)图14是隔片板13的主视图。隔片板13设有用于使太阳电池面板2通过的第一 切口部13r。第一切口部13r具有宽W2和长度L3。第一切口部13r的宽W2与分配板12 的切口部12ι 的宽W2相等。但是并不限于此。第一切口部13r的长度L3与图9所示的从 分散板12的左端部12c至上横槽孔12a2及下横槽孔12a3的端部的距离D2相等。但是并 不限于此。隔片板13设有第二切口部13a。第二切口部13a与第一切口部13r连通。第二切 口部13a具有宽W4和长度L4。第二切口部13a的宽W4与分配板12的竖槽孔12al的长度 相等。但是并不限于此。第二切口部13a的长度L4与上横槽孔12a2或下横槽孔12a3的 长度相等。但是并不限于此。在与分配板12相邻地配置隔片板13时，隔片板13的第二切 口部13a与分配板12的竖槽孔12al、上横槽孔12a2及下横槽孔12a3连通。在本实施例 中，隔片板13的第二切口部13a是恰好将分配板12的竖槽孔12al、上横槽孔12a2及下横 槽孔12a3包围的尺寸。但是并不限于此。隔片板13的第二切口部13a区划形成用于对太 阳电池面板2喷出热熔剂的多个缝隙部。在本实施例中，多个缝隙部连续地形成。能够根 据所需的涂布形状及涂膜厚度来设定第一切口部13r的宽W2和长度L3、以及第二切口部 13a的宽W4和长度L4。隔片板13上设有6个用于使安装螺钉通过的孔13b。图15是隔片板13的侧视图。隔片板13具有厚T2。隔片板13的厚T2决定喷出 热熔剂的缝隙部的宽度。图16、图17及图18分别是与分配板12相邻安装的隔片板13的主视图、侧视图及 立体图。热熔剂从分配板12的竖槽孔12al、上横槽孔12a2及下横槽孔12a3分别流向缝隙 部 13al、13a2 及 13a3。(遮蔽板)图19是遮蔽板14的主视图。图20是遮蔽板14的侧视图。遮蔽板14设有用书 使太阳电池面板2通过的切口部14r。切口部14r具有宽W2和长度L2。切口部12的上边 与侧边之间以及下边与侧边之间通过半径R的圆弧连结。在本实施例中，遮蔽板14的切口 部14r的宽W2与分配板12的切口部12r的宽W2相等。此外，遮蔽板14的切口部14r的 长度L2与分配板12的切口部12r的长度L2相等。但是并不限于此。能够根据所需的涂 布形状及涂膜厚度来设定遮蔽板14的宽W2、长度L2及半径R的尺寸。遮蔽板14上设有6个用于使安装螺钉通过的孔14b。图20是遮蔽板14的侧视 图。遮蔽板14具有厚T3。遮蔽板14的厚T3决定喷嘴的唇部的长度。切口部14r包括平 行部14rl和倾斜部14r2。平行部14rl与喷嘴移动方向A平行。倾斜部14r2相对于喷嘴 移动方向A倾斜，朝向喷嘴移动方向A的上游侧扩宽。切口部14r的形状对涂布的均勻性、 涂膜的外观美观性、热熔剂切断的良好性产生影响。根据涂布速度或粘结剂的种类选择切 口部14r的形状，以获得最佳的涂布口部14r。接着，说明切口部14r的形状对涂布的热熔剂切断的良好性产生影响。
图21是三面涂布喷嘴10的喷嘴前端部的说明图。通过机械手100，使三面涂布喷 嘴10相对于太阳电池面板2向喷嘴移动方向A移动。从喷嘴主体11的出口开口 Ilf喷出 的热熔剂经过分配板12的竖槽孔12al，流向缝隙部13al。缝隙部13al是在分配板12和 遮蔽板14之间通过隔片板13的第二切口部13a形成的。从缝隙部13al喷出的热熔剂在 太阳电池面板2的端面2e上形成涂膜3。图22是喷嘴前端部的放大图。遮蔽板14的平行部14rl具有长度L5，由与喷嘴移 动方向A平行的平面构成。以与平行部14rl连续的方式，从平行部14rl向喷嘴移动方向 A的上游侧设置倾斜部14r2。遮蔽板14的倾斜部14r2被倒角加工成相对于平行部14rl 具有角度θ的倾斜的倾斜面。倾斜部14r2向离开太阳电池面板2的方向倾斜。从缝隙部 13al喷出的热熔剂被平行部14rl摊均，而被均勻化。在平行部14rl与倾斜部14r2的接 线14p处，遮蔽板14的切口部14ι 理论上与喷出的热熔剂之间被断开。然而，存在喷出的 热熔剂绕入倾斜面14r2的情况下。绕入的热熔剂3a将会成为拉丝的原因。遮蔽板14的切口部14r的形状对喷出的热熔剂的切断产生影响。切口部14r的 平行部14rl的长度L5越短则平行部14rl与热熔剂之间的接触越少，因此，绕进而粘附在 倾斜面14r2上的热熔剂的量变少，热熔剂切断良好。但是，根据热熔剂的粘度、涂布速度及 涂布量，选择适当的长度L5。倾斜部14r2减少绕进而附着的残留热熔剂的量，减少拉丝。 倾斜部14r2的角度θ根据热熔剂的粘度、涂布速度及涂布量选择适当的值。图23、图24及图25分别是与隔片板13相邻安装的遮蔽板14的主视图、侧视图及 立体图。遮蔽板14以覆盖隔片板13的第二切口部13a的方式安装。在分散板12和遮蔽 板14之间，隔片板13的第二切口部13a形成在太阳电池面板2的端面2e上涂布热熔剂的 第一缝隙部13al、对上表面涂布热熔剂的第二缝隙部13a2、对下表面涂布热熔剂的第三缝 隙部13a3。第一缝隙部13al与第二缝隙部13a2连续。此外，第一缝隙部13al与第三缝隙 部13a3连续。因此，能够对太阳电池面板2的端部的上表面2t、端面2e及下表面2b连续 地进行涂布。接着，示出遮蔽板14的代替例。图26是代替例1的遮蔽板114的侧视图。遮蔽板114的切口部114r以具有圆弧 形状截面的面形成。是朝向喷嘴移动方向A的上游侧变宽的形状。图27是代替例2的遮蔽板214的侧视图。遮蔽板214的切口部214r具有与喷嘴 移动方向A平行的平面的平行部214rl、相对于喷嘴移动方向A具有角度的倾斜部214r2、 和连接平行部214rl和倾斜部214r2的凹形状的凹部214r3。倾斜部214r2向喷嘴移动方 向A的上游侧扩宽。遮蔽板的切口部的形状对喷出的热熔剂的切断产生影响，因此根据热熔剂的粘 度、涂布速度及涂布量，选择适当的形状。另外，在本实施例中使用了遮蔽板，但是，在本发明中并不需要一定要使用遮蔽 板。例如，可以省略遮蔽板，而将以下说明的安装板与隔片板相邻安装。(安装板)图28是安装板15的主视图。安装板15设有用于使太阳电池面板2通过的切口 部15r。切口部15r具有宽W5和长度L6。宽W5与在遮蔽板14的切口部14r的宽度W2上加上倾斜部14r2的宽度的二倍之后的长度相等或比该长度长。长度L6与在遮蔽板14的 切口部14r的长度L2上加上倾斜部14r2的宽度之后的长度相等或比该长度长。安装板15上设有6个用于收纳螺钉4的头的沉孔15b。图29、图30及图31分别是与遮蔽板14相邻安装的安装板15的主视图、侧视图及 立体图。形成第一、第二及第三缝隙部13al、13a2及13a3的分散板12、隔片板13及遮蔽板 14比喷嘴主体11及安装板15更向切口部内突出。(热熔剂流路)图32是表示通过螺钉4而被固定的三面涂布喷嘴10的图。分配板12、隔片板13、 遮蔽板14及安装板15通过6个螺钉4被安装在喷嘴主体1上。图33及图34分别是沿图 32的线XXXIIIA-XXXIIIA及线XXXIIIB-XXXIIIB截取的三面涂布喷嘴10的剖面侧视图及 剖面立体图。螺钉4被省略。热熔剂被从通过螺母31安装在喷嘴主体11上的热熔剂供给阀30向喷嘴主体11 的入口开口 Ila供给。热熔剂经过热熔剂通路11b，到达热熔剂通路lib与Ilg之间的结 合部llh。热熔剂从结合部Ilh经过热熔剂通路llg，从出口开口 Ilf喷出至分散板12的 竖槽孔12al。热熔剂从竖槽孔12al流向上横槽孔12a2(未图示)和下横槽孔12a3。热熔 剂从竖槽孔12al、上横槽孔12a2(未图示)及下横槽孔12a3经过隔片板13的第二切口部 13a,从在分散板12和遮蔽板14之间形成的第一、第二及第三缝隙部13al、13a2及13a3喷 出ο(三面涂布装置的动作)以下，对三面涂布装置1的动作进行说明。(涂布前及涂布后)图35是表示热熔剂涂布前及涂布后的内容积控制阀20和热熔剂供给阀30的图。内容积控制阀20通过螺钉等紧固构件(未图示)而被固定在喷嘴主体11上。内 容积控制阀20上设有能够往返移动的柱塞23。柱塞23的一端部被插入至喷嘴主体11的 缸体部11c。柱塞23的另一端部固定有活塞24。活塞24被设置成能够在内容积控制阀20 的活塞室25内往返移动。活塞24将活塞室25分割成第一室25a和第二室25b。空气供给源70经由空气通路53将空气供给至阀空气控制回路60。在热熔剂涂 布前及涂布后，阀空气控制回路60经由空气通路52及速度控制器22将空气供给至活塞室 25的第一室25a。另一方面，活塞室25的第二室25b内的空气经由速度控制器21及空气 通路51被送至阀空气控制回路60，从阀空气控制回路60排出至大气中。第一室25a内的 压力高于第二室25b内的压力，因此，活塞24以收缩第二室25b而扩大第一室25a的方式 移动。通过活塞24的移动，柱塞23的前端部朝向离开喷嘴主体11的结合部Ilh的方向在 缸体部Ilc内移动至退避位置。此时，柱塞23将热熔剂通路Ilg内具有的热熔剂经由结合 部Ilh吸入缸体部11c。这通常被称作回吸(suckback)功能。回吸功能通过增大喷嘴主体 11内部的热熔剂通路的容积，来改善涂布停止时的热熔剂的切断。另外，作为节流阀的速度控制器21及22调整空气的流量，控制活塞24的移动速度。热熔剂供给阀30通过螺母31而被固定在喷嘴主体11上。热熔剂供给阀30上设 有热熔剂室32。热熔剂室32与热熔剂流入的入口 33、喷出热熔剂的喷出口 34连通。喷枪
1340固定在热熔剂供给阀30上。喷枪40设有热熔剂通路(液体通路)41。热熔剂通路41 的一端部与热熔剂供给阀30的入口 33连通，另一端部与和热熔剂供给源80连接的热熔剂 通路54连通。热熔剂从热熔剂供给源80经由热熔剂通路54、喷枪40的热熔剂通路41及 入口 33，被供给至热熔剂室32。热熔剂供给阀30上设有在热熔剂室32内往返移动的阀杆 35。阀杆35的一端部与在喷出口 34附近设置的阀座36抵接或分离。阀杆35的另一端部 固定在活塞37上。活塞37将活塞室38分割为第一室38a和第二室38b。第一室38a与喷 枪40的空气通路42的一端部连通。空气通路42的另一端部与和喷枪空气控制回路90连 接的空气通路55连通。在热熔剂涂布前及涂布后，喷枪空气控制回路90经由空气通路55 及喷枪40的空气通路42将活塞室38的第一室38a开放于大气压中。活塞室38的第二室 38b中设有对活塞37施力的弹簧(施力构件)39。弹簧39的施力使活塞37被推压，将阀 杆35的一端部抵接于阀座36，关闭喷出口 34。因此，能够阻止热熔剂室32内的热熔剂从 喷出口 34喷出。(涂布时)图36是表示热熔剂涂布时的内容积控制阀20和热熔剂供给阀30的图。在热熔剂涂布时，控制装置110通过空气控制信号111控制阀空气控制回路60，将 来自空气供给源70的空气供给至空气通路51。空气经由空气通路51及速度控制器21被 供给至活塞室25的第二窒25b。另一方面，活塞室25的第一室25a通过阀空气控制回路 60开放于大气中。因此，第二室25b膨胀而第一室25a收缩，活塞24移动。通过活塞24的 移动，使柱塞23的前端部移动至结合部Ilc附近的突出位置。由此，缸体部Ilc的内容积 变小。控制装置110通过空气控制信号112控制喷枪空气控制回路90，将来自空气供给 源70的空气供给至空气通路42。空气被供给至活塞室38的第一室38a，抵抗第二宝38b 内的弹簧39的施力而使第一室38a膨胀。通过第一室38a的膨胀，活塞37移动。通过活 塞37的移动，阀杆35从阀座36离开，将喷出口 34打开。热熔剂室32内的热熔剂从喷出 口 34喷出至喷嘴主体11的入口开口 11a。热熔剂从喷嘴主体的出口开口 Ilf经过分配板 12的竖槽孔12a、上横槽孔12a2、下横槽孔12a3，从第一缝隙部13al、第二缝隙部13a2及第 三缝隙部13a3喷出。图37是利用实施例1的三面涂布喷嘴10对太阳电池面板2涂布的热熔剂的涂膜 3的剖面图，是沿图38的线XXXVII-XXXVII截取的剖面图。三面涂布喷嘴10的形成缝隙部的部分的截面形成为“ 二 ”字形。从三面涂布喷嘴 10的第一缝隙部13al喷出的热熔剂被涂布在太阳电池面板2的端面2e上。同样，从第二 缝隙部13a2喷出的热熔剂被涂布在太阳电池面板2的端部的上表面2t上。此外，从第三 缝隙部13a3喷出的热熔剂被涂布在太阳电池面板2的端部的下表面2b上。由于第一、第 二及第三缝隙部13al、13a2、13a3连续，因此能够在太阳电池面板2的端部的上表面2t、端 面2e及下表面2b上涂布的涂膜3是连续的。因此，涂膜3是没有接缝的涂膜。(涂布方法)图38是表示热熔剂的涂布方法的说明图。太阳电池面板2通过传送带(未图示)等传送装置被传送至规定位置，通过固定 装置(未图示)被固定在规定位置。利用三面涂布喷嘴10对太阳电池面板2的4边(4个
14缘部)涂布热熔剂。三面涂布喷嘴10—边向喷嘴移动方向A移动一边涂布热熔剂。如图 37所示，热熔剂从第一、第二及第三缝隙部13al、13a2、13a3喷出，涂布在太阳电池面板2的 端部的端面2e、上表面2t及下表面2b上。在对太阳电池面板2的角部2c进行涂布的情 况下，有两个涂布方法。在第一个涂布方法(1)中，沿喷嘴移动方向Al移动三面涂布喷嘴 10而暂且通过角部2c。此时，暂时停止热熔剂的喷出。接着，使三面涂布喷嘴10左转90 度。使三面涂布喷嘴沿喷嘴移动方向A2移动，在面板2的角部2c处再次开始热熔剂的喷 出。在第二个涂布方法(2)中，三面涂布喷嘴10—边在角部2c涂布热熔剂一边以不离开 面板2的方式如箭头B所示那样左转90度。重复进行所述涂布方法(1)或(2)，用热熔剂对面板2的4个缘部进行涂布。涂布 结束后，面板2通过传送装置被传送出。在连续进行涂布的情况下，下一个面板2被传送装 置传送至规定位置，并被固定装置固定。重复相同的所述动作，连续对多个面板2的4个缘 部涂布热熔剂。根据本实施例，由于能够通过一个工序对面板的一个缘部进行“ 二 ”字形的涂布 (三面涂布)，因此，能够有利于生产线的高速化及生产量的增大。(尺寸的变更)在以往的喷嘴中，热熔剂的涂布宽度或基板的尺寸发生变更时，不得不重新制造 喷嘴本身。与此相对，根据本实施例，即使热熔剂的涂布宽度或基板的尺寸发生了变更，不 重新制造喷嘴本身而通过只变更分配板及隔片板的尺寸所能够应对的范围就比以往的喷 嘴要广。即，能够将一个涂布喷嘴适用于对多种基材的热熔剂涂布，因此在经济方面具有优 势。本实施例的涂布喷嘴不限于“二 ”字形，也能够适用于复杂的曲面形状。如上所述，本实施例的涂布喷嘴由于能够对基板的端面和基板的与端面相邻的面 喷出液体，因此能够削减用于设置多个喷嘴、多个液体供给阀及多个液体供给通路的費用。此外，本实施例的涂布喷嘴与使用多个以往的涂布喷嘴的涂布装置相比，能够减 少构造部件的数量，能够减少用于设置涂布装置的空间。进而，本发明的涂布喷嘴与使用多个以往的涂布喷嘴的涂布装置相比，能够减少 从液体供给源至涂布喷嘴的液体供给通路的数量。进而，本发明的涂布喷嘴与使用多个以往的涂布喷嘴的涂布装置相比，能够减少 花费在涂布喷嘴的安装位置调整、喷出开始及喷出停止的定时调整上的时间。进而，本发明的涂布喷嘴能够进行在基板的端面的涂膜和基板的与端面相邻的面 的涂膜之间不存在接缝的涂布。因此，能够实现外观美观的涂布。进而，本实施例的涂布喷嘴由于使用内容积控制阀，因此能够使涂布结束的“热熔 剂切断”良好。此外，能够减轻涂布结束后的热熔剂的拉丝。进而，本实施例的涂布喷嘴由于设有调温加热器及温度传感器，因此，能够进行与 从低温至高温的范围广泛的材料的特性相对应的涂布。[实施例2]图39是实施例2的三面涂布喷嘴210的分解立体图。在图2所示的实施例1的 三面涂布喷嘴10中，与分配板12相邻地安装有隔片板13。在实施例2中，在分配板12和 隔片板13之间设置分散板16。实施例2的三面涂布喷嘴210除了分散板16之外具有与实
15施例1的三面涂布喷嘴10相同的结构，因此，对于相同的结构附加相同的参照标号而省略 其说明。(分散板)图40是分散板16的主视图。分散板16设有用于使太阳电池面板2通过的切口 部16r。切口部16r具有宽度W2和长度L2。切口部16r的上边与侧边之间以及下边与侧边 之间通过半径R的圆弧连结。切口部16r的宽W2、长度L2及半径R与分配板12的宽W2、 长度L2及半径R相等。分散板16在与分配板12的竖槽孔12al、上横槽孔12a2及下横槽孔12a3对应的 部分，设有多个贯通孔16a。在实施例2中设有8个贯通孔16a。分散板16的多个贯通孔 16a改善从分配板12的竖槽孔12al、上横槽孔12a2及下横槽孔12a3流向隔片板13的第 二切口部13a的热熔剂的分散。通过分散板16，使从分配板12向隔片板13的热熔剂的流 动均勻化。分散板16上设有6个用于使安装螺钉4通过的孔16b。图41、图42及图43分别是与分配板12相邻安装的分散板16的主视图、侧视图及 立体图。从喷嘴主体11的出口开口 Ilf喷出的热熔剂经由分配板12的竖槽孔12al，流向 上横槽孔12a2及下横槽孔12a3。通过分散板13，热熔剂能够充分地流动至上横槽孔12a2 及下横槽孔12a3的末端部。图44、图45及图46分别是与分散板16相邻安装的隔片板13的主视图、侧视图及 立体图。热熔剂从设置于分散板16的8个贯通孔16a流向隔片板13的第二切口部13a。 结果，在分散板16和遮蔽板14之间流动于由隔片板13的第二切口部13a形成的第一、第 二及第三缝隙部13al、13a2及13a3中的热熔剂被均勻化。(热熔剂流路)图47是表示实施例2的三面涂布喷嘴210的热熔剂流路的说明图。图47 (a)是表 示喷嘴主体11的热熔剂流路的图。热熔剂从入口开口 Ila经过热熔剂通路lib流向结合 部llh。此时，内容积控制阀20的柱塞23的前端部位于结合部Ilh的附近。热熔剂从结合 部Ilh经过热熔剂通路Ilg流向出口开口 llf。图47(b)是表示分配板12的热熔剂流路的 图。热熔剂从出口开口 Ilf喷出至分配板12的竖槽孔12al。热熔剂被分配至竖槽孔12al 的上方及下方。分配至上方的热熔剂在上横槽孔12a2内流动而填满于上横槽孔12a2内。 分配至下方的热熔剂在下横槽孔12a3内流动而填满于下横槽孔12a3。图47(c)是表示分 散板16的热熔剂流路的图。通过分散板16，使热熔剂能够充分地流动至上横槽孔12a2及 下横槽孔12a3的末端部。热熔剂从竖槽孔12al、上横槽孔12a2及下横槽孔12a3经过分散 板16的多个贯通孔16a，流向隔片板13的第二切口部13a。图47(d)是表示隔片板13的 热熔剂流路的图。从分散板16的多个贯通孔16a喷出的热熔剂在隔片板13的第二切口部 13a内均勻地扩散。图47(e)是表示由遮蔽板14覆盖隔片板13的第二切口部13a的状態 的图。热熔剂从在分散板16和遮蔽板14之间通过隔片板13的第二切口部13a形成的第 一、第二及第三缝隙部13al、13a2及13a3喷出。图47 (f)是表示安装有安装板15的状态 的图。在实施例2中，在分配板12和隔片板13之间配置了设有多个贯通孔16a的分散 板16，因此，能够使三面涂布喷嘴210内的热熔剂的分散变得均勻。结果，能够使对太阳电池面板2涂布的热熔剂的涂膜厚度均勻。[实施例3]在实施例1及实施例2中，说明了三面涂布喷嘴10及210。根据本发明，仅通过更 换分配板及隔片板，就能够将三面涂布喷嘴10及210变更为两面涂布喷嘴。图48及图49 分别是用于两面涂布喷嘴的分配板312及隔片板313的主视图。分配板312设有用于使太阳电池面板2通过的切口部312r。切口部312r与图9 所示的实施例1的分配板12 —样，具有宽度W2和长度L2。分配板312在切口部312r的周 围设有L字的槽孔312a。分配板312上设有竖槽孔312al，该竖槽孔312al从分配板312在 被安装在喷嘴主体11时与喷嘴主体11的出口开口 Ilf相对的位置向上方延伸。此外，分 配板312上设有从竖槽孔312al的上端部沿着切口部312r的上边延伸到上横槽孔312a2。 槽孔312a(312al、312a2)具有宽度W3。切口部312r与槽孔312a之间的距离Dl决定喷出 热熔剂的缝隙部的流路长度。分配板312上设有6个用于使安装螺钉通过的孔312b。隔片板313设有用于使太阳电池面板2通过的第一切口部313r。第一切口部313r 具有宽度W2、上边长度L3及下边长度L2。第一切口部313r的宽度W2及下边长度L2与分 配板312的切口部312r的宽度W2及长度L2相等。但是并不限于此。第一切口部313ι 的 上边长度L3与从分散板312的左端部312c至上横槽孔312a2的端部的距离D2相等。但 是并不限于此。隔片板313设有第二切口部313a。第二切口部313a与第一切口部313r连通。第 二切口部313a具有宽度W6和长度L4。宽度W6与分配板312的竖槽孔312al的长度相等。 但是并不限于此。长度L4与分配板312的上横槽孔312a2的长度相等。但是并不限于此。 在本实施例中，在与分配板312相邻地配置隔片板313时，第二切口部313a成为将竖槽孔 312al及上横槽孔312a2包括在内的尺寸。在第一切口部313r和第二切口部313a之间设有台阶部313S。台阶部313S具有 宽度W7和长度L7。宽度W7是决定对太阳电池面板2的端面2e喷出热熔剂的缝隙部的长 度的要素。长度L7具有在分配板312的切口部312r和槽孔312a的距离Dl上加上槽孔 312a的宽度W3之后的长度相等。但是并不限于此。隔片板313上设有6个用于使安装螺 钉通过的孔313b。喷嘴主体11上通过螺钉4固定有分配板312、隔片板313、遮蔽板14及安装板15， 构成了两面涂布喷嘴。两面涂布喷嘴上形成有用于对太阳电池面板2的端面2e和上表面 2t (或下表面2b)进行涂布的缝隙部。另外，也可以是将实施例2的分散板16设置在分配 板312和隔片板313之间。由此，根据本发明，仅通过更换分配板及隔片板就能够将三面涂布喷嘴变更为两 面涂布喷嘴。[实施例4]使用实施例1 3的涂布喷嘴，利用图38所示的涂布方法⑴或(2)，对太阳电池 面板2的端面2e、上表面2t及/或下表面2b涂布热熔剂。图50是表示通过实施例1 3 涂布了热熔剂的太阳电池面板2的图。涂布在太阳电池面板2的上表面2t及/或下表面 2b上的热熔剂的涂膜3，在面板2的角部2c产生涂膜的重叠部分3b。涂膜的重叠部分3b 使涂膜不均勻，并且，还将导致热熔剂的多余消耗。以下所说明的实施例4的多面涂布装置
17能够防止涂膜的重叠部分3b的产生。实施例4的多面涂布装置除了涂布喷嘴及内容积控制阀之外具有与实施例1的 多面涂布装置1的结构相同的结构，因此，对于相同的结构赋予相同的参照标号而省略其 说明。图51是实施例4的三面涂布喷嘴410的分解图。三面涂布喷嘴410具有喷嘴主体 411、分配板412、隔片板413、和安装板415。实施例4的安装板415兼起实施例1的遮蔽板 的作用。但是，也可以在隔片板413和安装板415之间设置遮蔽板。此外，也可以与实施例 2 一样在分配板412和隔片板413之间设置分散板。(喷嘴主体)如图51所示，喷嘴主体411上设有被供给热熔剂的入口开口 411a。图52及图53 分别是喷嘴主体411的主视图及侧视图。喷嘴主体411上设有用于使太阳电池面板2通过 的切口部41 Ir。喷嘴主体411上设有与入口开口 41 Ia连通的热熔剂通路(液体通路)41 Ib。 此外，喷嘴主体411上设有缸体部411c，该缸体部411c与热熔剂通路411b相交，并与熔剂 通路411b在结合部41 Ih连通。缸体部41 Ic相对于热熔剂通路41 Ib设置在与切口部41 Ir 相反的一侧。安装有分配板412的喷嘴主体411的安装面411e上，设有热熔剂的第一出口 开口 411f和第二出口开口 411k。第一出口开口 411f的中心与第二出口开口 411k的中心 隔着距离D3。第一出口开口 411f的中心与切口部411i 的侧边隔着距离D4。第一出口开 口 411f经由热熔剂通路(液体通路)411g与结合部411h连通。第二出口开口 411k经由 热熔剂通路(第二液体通路)41 Im与缸体部411c连通。(分配板)图54是分配板412的主视图。分配板412设有用于使太阳电池面板2通过的切 口部412r。切口部412r具有宽度W2和长度L2。分配板412上沿切口部412r的周围设有 “ 二 ”字形的第二槽孔412a(412al、412a2、412a3)。如图54所示，第二槽孔412a具有竖槽 孔412al、从竖槽孔412al的一端部沿着切口部412r的上边水平延伸的上横槽孔412a2、和 从竖槽孔412al的另一端部沿着切口部412r的下边水平延伸的下横槽孔412a3。第二槽 孔412a(412al、412a2、412a3)具有宽度W3。切口部412r的上边与上横槽孔412a2隔着距 离D 1。同样，切口部412r的下边与下横槽孔412a3隔着距离D1。切口部412r的侧边与 竖槽孔412al隔着距离D5。上横槽孔412a2的端部及下横槽孔412a3的端部与分配板412 的左端部412c隔着距离D2。切口部412i 的侧边和竖槽孔412al之间设有第一竖槽孔(第 一槽孔)412d。第一竖槽孔412d是具有宽度W3的直线形状的槽孔。第一竖槽孔412d的 长度与切口部412r的宽度W2相等。但是并不限于此。切口部412r的侧边与第一竖槽孔 412d隔着距离D1。第一竖槽孔412d的中心与竖槽孔412al的中心隔着距离D3。第一竖 槽孔412d的中心与切口部412r的侧边隔着距离D4。因此，在将分配板412安装在喷嘴主 体411上时，第一竖槽孔412d的中心与第一出口开口 411f的中心一致，竖槽孔412al的中 心与第二出口开口 411k的中心一致。第一竖槽孔412d与第一出口开口 411f连通，竖槽孔 412al与第二出口开口 411k连通。(隔片板)图55是隔片板413的主视图。隔片板413设有用于使太阳电池面板2通过的第 一切口部413rl。第一切口部413rl具有宽度W2和长度L2。但是，由于第一切口部413rl 与后述的其他切口部连通，因此，宽度W2的部分与隔片板413的左端部413e隔着距离D2。距离D2与上横槽孔412a2的端部及下横槽孔412a3的端部和分配板412的左端部412c的 距离D2相等。但是并不限于此。隔片板413上设有第二切口部413r2、第三切口部413r3 及第四切口部413r4。第二切口部413r2、第三切口部413r3及第四切口部413r4分别与第 一切口部413rl连通。第二切口部413r2具有宽度W2及长度L8。宽度W2与第一切口部 413rl的宽度W2相等。此外，长度L8与在分配板412的切口部412r的侧边和第一竖槽孔 412d的距离Dl上加上第一竖槽孔412d的宽度W3之后的长度相等。但是并不限于此。第 二切口部413r2与分配板412及安装板415共同作用而形成用于对太阳电池面板2的端面 2e喷出热熔剂的第一缝隙部413al。第三切口部413r3具有宽度W8及长度L8。宽度W8与 从第一切口部413rl的宽度L2中减去距离D2之后的长度相等。此外，长度L8与在分配板 412的切口部412r的上边和上横槽孔412a2的距离Dl上加上上横槽孔412a2的宽度W3之 后的长度相等。但是不限于此。第三切口部413r3与分配板412及安装板415共同作用而 形成用于对太阳电池面板2的上表面2t喷出热熔剂的第二缝隙部413a2。同样，第四切口 部413r4具有宽度W8及长度L8。宽度W8与从第一切口部413rl的宽度L2中减去距离D2 之后的长度相等。此外，长度L8与在分配板412的切口部412r的下边和下横槽孔412a3 的距离Dl上加上下横槽孔412a3的宽度W3之后的长度相等。但是不限于此。第四切口部 413r4与分配板412及安装板415共同作用而形成用于对太阳电池面板2的下表面2b喷出 热熔剂的第三缝隙部413a3。在第二切口部413r2和第三切口部413r3之间、以及第二切口部413r2和第四切 口部413r4之间，形成一边的长度为L8的正方形的遮蔽部413S。在与分配板412相邻地安装隔片板413时，第二切口部413r2、第三切口部413r3 及第四切口部413r4分别与分配板412的第一竖槽孔412d、上横槽孔412a2及下横槽孔 412a3直接连通。分配板412的竖槽孔412al与隔片板413的第一切口部413rl、第二切口 部413r2、第三切口部413r3及第四切口部413r4中的任一个都不直接连通。(内容积控制阀)接着，对安装在喷嘴主体411上的内容积控制阀420进行说明。图56是表示实施 例4的内容积控制阀420的动作的说明图。实施例1的内容积控制阀20进行了柱塞23的 前端部的突出位置和退避位置的2点位置控制。与此相对，实施例4的内容积控制阀420 能够进行第一柱塞423的3点位置控制。内容积控制阀420上设有能够往返移动的第一柱 塞423。第一柱塞423的一端部插入至喷嘴主体411的缸体部411c。第一柱塞的另一端部 固定有第一活塞424。第一活塞424设置成能够在内容积控制阀420的第一活塞室425内 往返移动。第一活塞424将第一活塞室425分割为第一室425a和第二室425b。内容积控 制阀420上以能够在柱塞室427内往返移动的方式设有第二柱塞426。第二柱塞426的一 端部能够与第一活塞424抵接。第二柱塞426的另一端部固定有第二活塞428。第二活塞 428设置成能够在内容积控制阀420的第二活塞室429内往返移动。第二活塞428将第二 活塞室429分割成第一室429a和第二室429b。第一活塞室425的第二室425b与柱塞室 427连通。第一活塞室425的第二室425b和柱塞室427之间形成有用于第一活塞428抵接 的肩部430。内容积控制阀420上设有第一出入口 431、第二出入口 432及第三出入口 433。 第一出入口 431与第一活塞室425的第一室425a连通，进行对第一室425a的空气注入和 排出。第二出入口与柱塞室427连通。由于柱塞室427与第一活塞室425的第二室425b
19连通，因此，第二出入口 432进行对第一活塞室425的第二室425b的空气注入和排出。第 三出入口 433与第二活塞室429的第二室429b连通，进行对第二室429b的空气注入和排 出。第二活塞室429的第一室429a始终与排气口 434连通而开放于大气中。图56 (a)示出了从第二出入口 432向第一活塞室425的第二室425b注入空气、从 第一出入口 431将第一活塞室425的第一室425a的空气排出，从第三出入口 433将第二活 塞室429的第二室429b的空气排出之后的状态。通过第一活塞室425的第一室425a与第 二室425b之间的差压，使第一活塞424以使第一室425a收缩而第二室425b膨胀的方式移 动。通过第一活塞424的移动，第一柱塞423的前端部突出而位于第一位置P1。图56(b)示出了从第三出入口 433向第二活塞室429的第二室429b注入空气、从 第一出入口 431将第一活塞室425的第一室425a的空气排出、从第二出入口 432将第一活 塞室425的第二室425b的空气排出之后的状态。通过第二活塞室429的第一室429a与第 二室429b之间的差压，第二活塞428以使第一室429a收缩而第二室429b膨胀的方式移 动。通过第二活塞428的移动，第二柱塞426突出。第一活塞室425的第一室425a和第二 室425b由于已被排气，因此不对第一活塞424作用差压。但是，插入至喷嘴主体411的缸 体部41 Ic中的第一柱塞423由于受到热熔剂的压力，第一柱塞423移动，直至第一活塞424 抵接于第二柱塞426。第一柱塞423的前端部从第一位置Pl退避距离D6，而位于第二位置 P2。第二位置P2位于将第二出口开口 411k和缸体部411c连通起来的热熔剂通路411m与 缸体部411c结合的第二结合部的附近。图56 (c)示出了从第一出入口 431向第一活塞室425的第一室425a注入空气、从 第二出入口 432将第一活塞室425的第二室425b的空气排出、从第三出入口 433将第二活 塞室429的第二室429b的空气排出之后的状态。通过第一活塞室425的第一室425a与第 二室425b之间的差压，使第一活塞424以使第一室425a膨胀而第二室425b收缩的方式移 动。伴随着第一活塞424的移动，与第一活塞424相抵接的第二柱塞426也移动。第一柱 塞423的前端部从第二位置P2退避距离D7，而位于第三位置P3。此时，第一活塞424与肩 部430抵接。图57是表示喷嘴主体411的第一出口开口 411f及第二出口开口 411k与第一柱 塞423之间的位置关系的图。图57 (a)是表示第一柱塞423突出而位于第一位置Pl的状 态的图。在第一柱塞423位于第一位置Pl时，第一柱塞423将第二出口开口 411k遮断，只 允许热熔剂向第一出口开口 411f的流动。热熔剂仅从第一出口开口 411f喷出。第一出口 开口 41 If经由分配板412的第一竖槽孔412d与隔片板413的第二切口部413r2连通。因 此，能够从第一缝隙部413al将热熔剂仅涂布在太阳电池面板2的端面2e上。S卩，能够进 行一面涂布。图57 (b)是表示第一柱塞423从第一位置Pl退避距离D6而位于第二位置P2的 状态的图。距离D6与第一出口开口 411f的中心和第二出口开口 411k的中心的距离几乎 相等。但是不限于此。距离D6也可以是第一出口开口 411f和第二出口开口 411k的距离 以上。热熔剂从第一出口开口 411f及第二出口开口 411k喷出。第二出口开口 411k经由 分配板412的竖槽孔412al、上横槽孔412a2及下横槽孔412a3，与隔片板413的第三切口 部413r3及第四切口部413r4连通。因此，来自第二出口开口 411k的热熔剂能够从第二缝 隙部413a2及第三缝隙部413a3涂布至太阳电池面板2的上表面2t及下表面2b。来自第一出口开口 411f的热熔剂涂布至端面2e，因此能够进行三面涂布。图57 (c)是表示第一柱塞423从第二位置P2退避距离D7而位于第三位置P3的 状态的图。安装在喷嘴主体411上的热熔剂供给阀30的阀杆35与阀座36抵接而将喷出 口 34关闭，热熔剂的喷出被阻止。在该状态下，第一柱塞423从第二位置P2向第三位置P3 退避。第一柱塞423将热熔剂吸入缸体部411c (回吸功能)，由此能够改善涂布停止时的热 熔剂的切断。能够设定成将热熔剂通路的容积扩大适当的量。(热熔剂供给阀和内容积控制阀的动作)图58是表示实施例4的内容积控制阀420的第一柱塞423和热熔剂供给阀30的 动作的说明图。图58是为了进行说明而对热熔剂供给阀30和喷嘴主体411示意地进行描 绘的图。图58(a)是表示热熔剂的涂布开始前及涂布结束后的状态的图。热熔剂供给阀30 的阀杆35的一端部与阀座36抵接而将喷出口 34关闭。因此，阻止热熔剂室32内的热熔 剂从喷出口 34喷出。内容积控制阀420的第一柱塞423位于极限退回状态的第三位置P3。图58(b)是表示热熔剂的三面涂布时的状态的图。热熔剂供给阀30的阀杆35从 阀座36离开而将喷出口 34打开。同时，第一柱塞423突出至第二位置P2，使缸体部411c 内的容积减小。热熔剂室32内的热熔剂从喷出口 34向喷嘴主体411的入口开口 411a喷 出。热熔剂经过热熔剂通路411b、结合部411h及热熔剂通路411g，从第一出口开口 411f 喷出。同样，热熔剂经由通路411b、结合部411h、缸体部411c及热熔剂通路411m，从第二出 口开口 411k喷出。因此，热熔剂从第一、第二及第三缝隙部413al、413a2及413a3分别涂 布至太阳电池面板2的端面2e、上表面2t及下表面2b。在从图58(a)所示的涂布开始前的状态开始三面涂布时，使阀杆35从阀座36离 开而将喷出口 34打开，同时，使第一柱塞423从第三位置P3突出至第二位置P2。在从图58(b)所示的三面涂布的状态结束涂布时，使阀杆35与阀座36抵接而将 喷出口 34关闭，同时，使第一柱塞423退避至第三位置P3而增大缸体部411c的容积，将热 熔剂通路内的热熔剂吸入缸体部411c内。由此，能够使涂布结束时的热熔剂切断良好。图58(c)是表示热熔剂的一面涂布时的状态的图。热熔剂供给阀30的阀杆35从 阀座36离开而将喷出口 34打开。同时，第一柱塞423突出至第一位置P1，使缸体部411c 内的容积减小。热熔剂室32内的热熔剂从喷出口 34向喷嘴主体411的入口开口 411a喷 出。热熔剂经过热熔剂通路411b、结合部411h及热熔剂通路411g，从第一出口开口 411f 喷出。但是，由于热熔剂通路411m被第一柱塞423关闭，因此从第二出口开口 411k不喷出 热熔剂。在从图58(a)所示的涂布开始前的状态开始一面涂布时，使阀杆35从阀座36离 开而将喷出口 34打开，同时使第一柱塞423从第三位置P3突出至第一位置P1。在从图58(b)所示的三面涂布的状态开始一面涂布时，使第一柱塞423从第二位 置P2突出至第一位置P1。在从图58(c)所示的一面涂布的状态开始三面涂布时，使第一柱塞423从第一位 置Pl退避至第二位置P2。在从图58(c)所示的一面涂布的状态结束涂布时，使阀杆35与阀座36抵接而将 喷出口 34关闭，同时使第一柱塞423退避至第三位置P3而增大缸体部411c的容积，将热
21熔剂通路内的热熔剂吸入缸体部411c内。由此，能够使涂布结束时的热熔剂切断良好。(带涂布范围可变功能的三面涂布装置的动作)实施例4的多面涂布装置是带涂布范围可变功能的三面涂布装置。以下，对带涂 布范围可变功能的三面涂布装置401的动作进行说明。(涂布前及涂布后即涂布停止状态)图59是表示实施例4的带涂布范围可变功能的三面涂布装置401的热熔剂涂布 前及涂布后即涂布停止状态下的、内容积控制阀420和热熔剂供给阀30的图。对于与实施 例1的三面涂布装置1相同的结构赋予相同的参照标号而省略其说明。在热熔剂涂布停止状态即热熔剂涂布前及涂布后，阀空气控制回路60经由空气 通路52、速度控制器22及第一出入口 431，将空气供给至第一活塞室425的第一室425a。 另一方面，第一活塞室425的第二室425b内的空气经由第二出入口 432、速度控制器421及 空气通路451被送至阀空气控制回路60，从阀空气控制回路60排出至大气中。第一室425a 内的压力高于第二室425b内的压力，因此，第一活塞424以增大第一室425a而收缩第二室 425b的方式移动。第一活塞424与第二活塞428的第二柱塞426抵接。第二活塞室429的 第二室429b内的空气经由第三出入口 433、速度控制器21及空气通路51被送至阀空气控 制回路60，从阀空气控制回路60排出至大气中。因此，通过第一活塞424的移动，第二活 塞428以增大第二活塞室429的第一室429a而收缩第二室429b的方式移动。此外，通过 第一活塞424的移动，第一柱塞423在喷嘴主体411的缸体部411c内退避至第三位置P3。 此时，第一柱塞423将热熔剂通路411b、411g、411m内具有的热熔剂吸入缸体部411c。另外，作为节流阀的速度控制器22及421调整空气的流量而控制第一活塞424的 移动速度。速度控制器21调整空气的流量而控制第二活塞428的移动速度。在热熔剂涂布前及涂布后，喷枪空气控制回路90经由空气通路55及喷枪40的空 气通路42将活塞室38的第一室38a开放于大气压中。通过弹簧39的施力使活塞37被推 压，使阀杆35的一端部与阀座36抵接，将喷出口 34关闭。因此，阻止热熔剂室32内的热 熔剂从喷出口 34喷出。(三面涂布时)图60是表示实施例4的带涂布范围可变功能的三面涂布装置401的三面涂布时 的内容积控制阀420和热熔剂供给阀30的图。在三面涂布时，控制装置110通过空气控制信号111控制阀空气控制回路60，将 来自空气供给源70的空气供给至空气通路51。空气经由空气通路51、速度控制器21及第 三出入口 433被供给至第二活塞室429的第二室429b。另一方面，第二活塞室429的第一 室429a始终经由排气口 434开放于大气中。因此，第一室429a收缩而第二室429b膨胀， 第二活塞428移动。此外，阀空气控制回路60将第一活塞室425的第一室425a及第二室 425b开放于大气中。因此，通过第二活塞428的移动，第二柱塞426推压第一活塞424，第 一柱塞423突出至第二位置P2。控制装置110通过空气控制信号112控制喷枪空气控制回路90，使阀杆35从阀座 36离开，将喷出口 34打开。热熔剂室32内的热熔剂从喷出口 34喷出至喷嘴主体411的入 口开口 411a。热熔剂经过热熔剂通路411b，从第一出口开口 411f及第二出口开口 411k喷 出。因此，热熔剂从第一缝隙部413al、第二缝隙部413a3及第三缝隙部413a3分别涂布至
22太阳电池面板2的端面2e、上表面2t及下表面2b。(一面涂布时)图61是表示实施例4的带涂布范围可变功能的三面涂布装置401的一面涂布时 的内容积控制阀420和热熔剂供给阀30的图。在一面涂布时，控制装置110通过空气控制信号111控制阀空气控制回路60，将来 自空气供给源70的空气供给至空气通路41。空气经由空气通路451、速度控制器421及第 二出入口 432被供给至第一活塞室425的第二室425b。另一方面，第一活塞室425的第一 室425a通过阀空气控制回路60而被开放于大气中。因此，第一室425a收缩而第二室425b 膨胀，第一活塞424移动。通过第一活塞424的移动，第一柱塞423突出至第一位置P1。第 一柱塞423将通往喷嘴主体411的第二出口开口 411k的热熔剂通路41 Im堵塞，因此，从第 二出口开口 411k的热熔剂的喷出被阻止。热熔剂仅从第一出口开口 411f喷出。因此，热 熔剂仅从第一缝隙部413al向太阳电池面板2的端面2e涂布。(涂布方法)图62 图64是表示通过安装在机械手上的一个带涂布范围可变功能的三面涂布 装置(以下称作涂布装置。)401对太阳电池面板2进行涂布的方法的说明图。在图62所示的涂布方法中，涂布装置401在面板2的角部2cl从图59所示的涂 布停止状态变为图60所示的三面涂布状态。涂布装置401 —边通过机械手沿着箭头Al所 示的方向移动一边对从角部2cl至角部2c2的面板2的上表面、端面、下表面的三面涂布热 熔剂403a。在角部2c2，使涂布装置401暂时成为涂布停止状态。接着，在从角部2c2至角 部2c3的热熔剂403b涂布时，对角部2c2的端面2e进行距离W8的一面涂布，以便不在角 部2c2的上表面和下表面重复地涂布热熔剂。距离W8是涂布在上表面及下表面上的热熔 剂的涂膜的宽度，是隔片板413的第三及第四切口部413r3、413r4的宽度W8。在角部2c2， 涂布装置401从涂布停止状态变为图61所示的一面涂布状态。涂布装置401 —边沿箭头 A2所示方向移动一边对面板2的端面2e进行距离W8的一面涂布。接着，涂布装置401变 为三面涂布状态，至角部2c3为止进行三面涂布。在角部2c3，使涂布装置401暂时成为涂 布停止状态。同样，从角部2c3至角部2c4，涂布装置401 —边沿箭头A3所示方向移动一 边用热熔剂403c进行一面涂布和三面涂布。在从角部2c4至角部2cl为止的涂布中，涂布 装置401 —边沿箭头A4所示方向移动一边从角部2c4起进行距离W8的热熔剂403d的一 面涂布。之后，进行三面涂布，在角部2cl之前，切换为一面涂布，到角部2cl为止进行距离 W8的一面涂布。通过使用涂布装置401，能够在角部2cl、2c2、2c3及2c4防止热熔剂重复 涂布在上表面及下表面。图63及图64示出了其他的涂布方法。在图63所示的涂布方法中，涂布装置401在面板2的角部2cl，从图59所示的涂 布停止状态变为图61所示的一面涂布状态。涂布装置401 —边通过机械手沿箭头Al所示 方向移动一边从角部2cl起对面板2的端面2e涂布距离W8的热熔剂403a。这样是为了避 免在角部2cl的上表面及下表面重复涂布。若从角部2cl起超过距离W8，则涂布装置401 从一面涂布状态变为图60所示的三面涂布状态，对面板2的上表面、端面及下表面涂布热 熔剂403a。在角部2c2，使涂布装置401暂时成为涂布停止状态。接着，在从角部2c2至角 部2c3的热熔剂403b涂布时，对角部2c2的端面2e进行距离W8的热熔剂403b的一面涂布，以便不在角部2c2的上表面和下表面上重复涂布热熔剂。若超过距离W8，则涂布装置 401变为三面涂布状态。同样，在用热熔剂403c对角部2c3至角部2c4进行涂布时，对角部 2c3起距离W8进行一面涂布，其余进行三面涂布。在用热熔剂403d对角部2c4至角部2cl 进行涂布时也是，同样对角部2c4起距离W8进行一面涂布，其余进行三面涂布。这样，能够 防止在面板的角部2cl、2c2、2c3及2c4将热熔剂重复涂布在面板的上表面及下表面。在图64所示的涂布方法中，涂布装置401在面板2的角部2cl从图59所示的涂 布停止状态变为图60所示的三面涂布状态。涂布装置401 —边通过机械手沿箭头Al所示 方向移动一边用热熔剂403a对从角部2cl至角部2c2前距离W8为止的面板2的上表面、 端面、下表面的三面进行涂布。在角部2c2前的距离W8处，涂布装置401从三面涂布状态 变为图61所示的一面涂布状态，至角部2c2为止用热熔剂403a仅对面板2的端部2e进行 涂布。在角部2c2，使涂布装置401暂时成为涂布停止状态。接着，同样地，涂布装置401 — 边沿箭头A2所示方向移动一边从角部2c2起至角部2c3前的距离W8为止用热熔剂403b 进行三面涂布，用热熔剂403b对到角部2c3为止的距离W8的区间进行一面涂布。同样，涂 布装置401 —边沿箭头A3所示方向移动一边从角部2c3起至角部2c4前的距离W8为止用 热熔剂403c进行三面涂布，用热熔剂403c对到角部2c4为止的距离W8的区间进行一面涂 布。同样，涂布装置401 —边沿箭头A4所示方向移动一边从角部2c4起至角部2cl前的距 离W8为止用热熔剂403d进行三面涂布，用热熔剂403d对到角部2c4为止的距离W8区间 进行一面涂布。这样，能够防止在面板的角部2cl、2c2、2c3及2c4对面板的上表面及下表 面进行重复涂布热熔剂。图65是表示使用了两个带涂布范围可变功能的三面涂布装置(以下称作涂布装 置。)401A及401B的涂布方法的说明图。利用两个涂布装置401A及401B对太阳电池面板 2的相对的两缘部同时涂布热熔剂403。由此，能够提高生产性。两个涂布装置40IA及40IB 分别通过热熔剂通路(热熔剂管)54与热熔剂供给源80连接。涂布装置401A及401B的 内容积控制阀及热熔剂供给阀分别连接有阀空气控制回路60及喷枪空气控制回路90。阀 空气控制回路60及喷枪空气控制回路90分别通过空气通路53及56与空气供给源70连 接。如图65 (a)所示，使太阳电池面板2的相对的两缘部分别通过两个涂布装置401A 及401B。一边使太阳电池面板2向箭头C 1所示方向(第一方向)移动，一边从两个涂布 装置40IA及40IB对面板2的相对的两缘部涂布热熔剂403。若对面板2的两个端部的涂布结束，则使面板2如图65 (b)所示那样向箭头C2所 示的顺时针方向旋转90度。此时，也可以为了确保面板2旋转所需的空间而使涂布装置 401B向箭头Bl所示方向移动退避。接着，如图65(c)所示，使面板2向箭头C3所示方向(第二方向)移动。箭头C3 所示方向与箭头Cl所示方向相反。一边使面板2向箭头C3所示方向移动一边从两个涂布 装置401A及401B对面板2的另外的相对的两缘部涂布热熔剂403。这样，通过2次的涂布工序和1次的面板旋转工序就结束对面板的涂布，能够提高 生产性。另外，在对面板2另外的相对的两缘部涂布热熔剂的工序中，从面板的一侧的角 部起至间隔了在面板的面上涂布的热熔剂的宽度W8的第一位置为止，仅对面板的端面一面涂布热熔剂，接着，在第一位置和差宽度W8不到面板的另一侧的角部的第二位置之间进 行三面涂布，接着，从第二位置至面板的另一侧的角部为止，仅对面板的端面一面涂布热熔 剂。图66是表示使用了四个带涂布范围可变功能的三面涂布装置(以下称作涂布装 置。)401A、401B、401C及401D的涂布方法的说明图。利用两个涂布装置401A及401B对太 阳电池面板2的相对的两缘部同时涂布热熔剂403。接着，利用两个涂布装置401C及401D 对面板2另外的相对的两缘部同时涂布热熔剂403。由此，能够提高生产性。四个涂布装置401A、401B、401C及401D分别通过热熔剂通路(热熔剂管)54与热 熔剂供给源80连接。涂布装置401A、401B、401C及401D的内容积控制阀及热熔剂供给阀 分别连接有阀空气控制回路60及喷枪空气控制回路90。阀空气控制回路60及喷枪空气控 制回路90分别通过空气通路53及56与空气供给源70连接。如图66所示，一边沿着第一路径向箭头C4所示方向(第一方向)移动太阳电池 面板2，一边使面板2的相对的两缘部分别通过两个涂布装置401A及401B (第一成对涂布 装置)，从两个涂布装置401A及401B对面板2的相对的两缘部涂布热熔剂403。若对面板 2的两个端部的涂布结束，则沿着第二路径向与箭头C4所示方向正交的箭头C5所示方向 (第二方向)移动面板2。第二路径与第一路径正交。一边向箭头C5所示方向移动面板2， 一边从两个涂布装置401C及401D (第二成对涂布装置)对面板2另外的相对的两缘部涂 布热熔剂403。这样，仅改变面板的移动方向就能够通过2次的涂布工序来结束对面的涂布，能 够提高生产性。另外，在对面板2另外的相对的两缘部涂布热熔剂的工序中，从面板的一侧的角 部起至间隔了在面板的面上涂布的热熔剂的宽度W8的第一位置为止，仅对面板的端面一 面涂布热熔剂，接着，在第一位置和差宽度W8不到面板的另一侧的角部的第二位置之间进 行三面涂布，接着，从第二位置之面板的另一侧的角部为止，仅对面板的端面一面涂布热熔 剂。[实施例5]在实施例4中，作为例子列举了三面涂布喷嘴410，说明了使用能够进行3点位置 控制的内容积控制阀420的涂布装置。但是，也可以在实施例3所示的两面涂布喷嘴中使 用能够进行3点位置控制的内容积控制阀420。在该情况下，也能够进行对面板的端面的一 面涂布和对面板的上表面及端面的两面涂布的切换。由此，能够防止面板角部的热熔剂的 重复涂布。此外，通过在能够进行3点位置控制的内容积控制阀420上串联地配置二个以 上第二柱塞，能够设置成能够进行4点或5点以上的位置控制的内容积控制阀。在该情况 下，只要适当地构成喷嘴主体、分配板及隔片板，就能够选择性地控制热熔剂从多个缝隙部 的喷出。根据本发明的实施例，能够提供可对太阳电池面板这样的板材的端面和与端面相 邻的上侧周面及/或背侧周面等2个或3个面涂布粘结剂或密封剂等液体的多面涂布喷 嘴。本发明不限于上述的实施方式，在不脱离其特征事项的情况下能够以其他各种方 式进行实施。因此，上述的实施方式的所有方面只不过是示例，不应该解释为对本发明的限定。本发明的范围是通过权利要求书所述的范围，不受说明书正文的任何限制。并且，隶属 于权利要求书的等价范围内的变形或变更全部在本发明的范围之内。
权利要求
1. 一种涂布喷嘴，其特征在于，具有喷嘴主体，具有接受从液体供给阀供给的液体的入口开口和喷出液体的出口开口 ； 分配板，与所述喷嘴主体相邻配置，具有对从所述出口开口喷出的液体进行分配的槽孔；隔片板，与所述分配板相邻配置，设有与所述分配板的所述槽孔连通的切口部；以及 遮蔽板，与所述隔片板相邻配置，覆盖所述隔片板的所述切口部； 在所述分配板和所述遮蔽板之间通过所述隔片板的所述切口部形成用于对基板的端 面及所述基板的与所述端面相邻的面喷出液体的缝隙部。
2.如权利要求1所述的涂布喷嘴，其特征在于， 所述遮蔽板具有平行部，由与所述基板和所述涂布喷嘴的相对移动方向平行的平面构成；以及 倾斜部，连接于所述平行部，向离开所述基板的方向倾斜。
3.如权利要求1或2所述的涂布喷嘴，其特征在于，还具有安装板，该安装板与所述遮蔽板相邻配置，用于通过螺钉将所述喷嘴主体、所述 分配板、所述隔片板及所述遮蔽板固定。
4.如权利要求1或2所述的涂布喷嘴，其特征在于，所述遮蔽板作为用于通过螺钉将所述喷嘴主体、所述分配板及所述隔片板固定的安装 板发挥功能。
5.如权利要求1 4中任一项所述的涂布喷嘴，其特征在于，还具有分散板，该分散板配置在所述分配板和所述隔片板之间，并且设有将所述分配 板的槽孔和所述隔片板的切口部连通的多个贯通孔。
6.如权利要求1 5中任一项所述的涂布喷嘴，其特征在于，所述分配板的所述槽孔形成为“ 二 ”字形，所述缝隙部对所述基板的所述端面、所述基 板的与所述端面相邻的上表面、及所述基板的与所述端面相邻的下表面喷出液体。
7.如权利要求1 5中任一项所述的涂布喷嘴，其特征在于，所述分配板的所述槽孔形成为“L”字形，所述缝隙部对所述基板的所述端面及所述基 板的与所述端面相邻的所述面喷出液体。
8.如权利要求1 7中任一项所述的涂布喷嘴，其特征在于，所述喷嘴主体具有将所述入口开口和所述出口开口连通的液体通路、和与所述液体通 路在结合部连通的缸体部，所述涂布喷嘴还具有内容积控制阀，该内容积控制阀设有在所述喷嘴主体的所述缸体 部内往返移动的柱塞，所述柱塞的前端部能够在使所述缸体部内的容积减小的所述结合部附近的突出位置 和使所述缸体部内的容积增大的离开所述结合部的退避位置之间移动。
9.如权利要求1 5中任一项所述的涂布喷嘴，其特征在于， 所述喷嘴主体具有第二出口开口。
10.如权利要求9所述的涂布喷嘴，其特征在于，与所述喷嘴主体的所述出口开口连通的所述分配板的所述槽孔形成为直线形状， 所述分配板还设有与所述喷嘴主体的所述第二出口开口连通的“ 二 ”字形的第二槽孔，所述缝隙部对所述基板的所述端面、所述基板的与所述端面相邻的上表面、及所述基 板的与所述端面相邻的下表面喷出液体。
11.如权利要求9所述的涂布喷嘴，其特征在于，与所述喷嘴主体的所述出口开口连通的所述分配板的所述槽孔形成为直线形状， 所述分配板还设有与所述喷嘴主体的所述第二出口开口连通的“L”字形的第二槽孔， 所述缝隙部对所述基板的所述端面及所述基板的与所述端面相邻的所述面喷出液体。
12.如权利要求9 11中任一项所述的涂布喷嘴，其特征在于，所述喷嘴主体具有将所述入口开口和所述出口开口连通的液体通路、与所述液体通路 在结合部连通的缸体部、和将所述第二出口开口和所述缸体部连通的第二液体通路，所述涂布喷嘴还具有内容积控制阀，该内容积控制阀设有在所述喷嘴主体的所述缸体 部内往返移动的柱塞，所述柱塞的前端部能够在第一位置、第二位置和第三位置之间移动， 所述第一位置是将所述第二出口开口遮断而仅允许液体向所述出口开口流动的、所述 结合部附近的位置，所述第二位置是允许液体向所述出口开口及所述第二出口开口的流动的、所述第二液 体通路与所述缸体部的第二结合部附近的位置，所述第三位置是使所述缸体部内的容积增大的、从所述第二结合部退避后的位置。
13.—种涂布方法，其特征在于，使权利要求1 12中任一项所述的涂布喷嘴一边沿着基板的缘部移动，一边对所述基 板的端面及所述基板的与所述端面相邻的面涂布液体。
14.如权利要求13所述的涂布方法，其特征在于，使权利要求12所述的涂布喷嘴一边沿着基板的缘部移动，一边选择所述基板的端面 和所述基板的端面及所述基板的与所述端面相邻的面来涂布液体。
15.一种涂布方法，其特征在于，包括相对地配置权利要求1 12中任一项所述的两个涂布喷嘴，一边在所述两个涂布喷嘴 之间使基板向第一方向通过，一边对所述基板的相对的两缘部各自的端面及所述基板的与 所述端面相邻的面涂布液体的工序； 使所述基板旋转90度的工序；以及一边在所述两个涂布喷嘴之间使所述基板向与所述第一方向相反的第二方向通过，一 边对所述基板另外的相对的两缘部各自的端面及所述基板的与所述端面相邻的面涂布液 体的工序。
16.一种涂布方法，其特征在于，隔着第一路径相对地配置权利要求1 12中任一项所述的两个涂布喷嘴作为第一成 对涂布喷嘴，并且，隔着与第一路径正交的第二路径相对地配置权利要求1 12中任一项 所述的两个涂布喷嘴作为第二成对涂布喷嘴， 该涂布方法包括一边使基板沿着所述第一路径移动而通过所述第一成对涂布喷嘴之间，一边对所述基 板的相对的两缘部各自的端面及所述基板的与所述端面相邻的面涂布液体的工序；以及 一边使所述基板沿着所述第二路径移动而通过所述第二成对涂布喷嘴之间，一边对所述基板另外的相对的两缘部各自的端面及所述基板的与所述端面相邻的面涂布液体的工序。
17.如权利要求15或16所述的涂布方法，其特征在于，对所述基板另外的相对的两缘部各自的端面及所述基板的与所述端面相邻的面涂布 液体的工序包括从所述基板的一侧的角部起至间隔了在所述基板的所述面上涂布的液体的宽度的第 一位置为止，仅对所述端面涂布液体的工序；在所述第一位置和差所述宽度不到所述基板的另一侧的角部的第二位置之间，对所述 端面及所述基板的与所述端面相邻的所述面涂布液体的工序；以及从所述第二位置至所述基板的所述另一侧的角部为止，仅对所述端面涂布液体的工序。
18.一种内容积控制阀，与涂布喷嘴一起使用，该涂布喷嘴具有接受从液体供给阀供给 的液体的一个入口开口、喷出液体的多个出口开口、和设置在所述多个出口开口和所述一 个入口开口之间的缸体部，所述内容积控制阀的特征在于，具有第一柱塞，能够在所述缸体部内往返移动而在所述缸体部内的多个位置停止； 第一活塞，固定于所述第一柱塞；以及一个或两个以上第二柱塞和第二活塞，作用于所述第一活塞，以使所述第一柱塞在所 述多个位置停止；从所述多个位置选择所述第一柱塞停止的位置，以变更喷出所述液体的出口开口的个
全文摘要
提供形成有对基板的端面和基板的与端面相邻的面喷出液体的缝隙部的涂布喷嘴、涂布方法以及内容积控制阀。涂布喷嘴(10)具有喷嘴主体(11)，具有接受从液体供给阀供给的液体的入口开口和喷出液体的出口开口；分配板(12)，与喷嘴主体相邻配置，具有对从出口开口喷出的液体进行分配的槽孔；隔片板(13)，与分配板相邻配置，设有与分配板的槽孔连通的切口部；遮蔽板(14)，与隔片板相邻配置，覆盖隔片板的切口部，在分配板和遮蔽板之间通过隔片板的切口部形成用于对基板的端面和基板的与端面相邻的面喷出液体的缝隙部。
文档编号H01L31/18GK101992155SQ20101024901
公开日2011年3月30日 申请日期2010年8月6日 优先权日2009年8月6日
发明者柴田隆一郎, 铃木荣哲 申请人:诺信公司