专利名称：控制传送的方法和装置、以及传送装置和加工设备的制作方法
技术领域：
本发明属于光伏领域，涉及被加工工件的控制传送的方法、控制传送的装置、传送装置以及太阳能电池片加工设备。
背景技术：
随着石油、煤炭等常规能源的枯竭，人类面临的能源危机日益严峻，太阳能被认为是取之不尽的可再生能源，其储量丰富，是人类理想地替代能源之一。近年来光伏技术的飞速发展，特别是光伏薄膜太阳能电池片的关键技术的突破，加快了太阳能的开发利用，同时也促进了太阳能电池片的相关生产设备的升级改造。太阳能电池片的相关生产设备有PECVD(等离子体增强化学气相沉积)设备、 LPCVD(低压化学气相沉积)设备以及CVD(化学气相沉积)设备等，其中，PECVD设备应用比较广泛。在利用PECVD设备生产太阳能电池片的过程中，电池片是通过太阳能电池片传送装置载入工艺腔室内，以进行工艺处理。图1为太阳能电池片传送装置结构简图。请参阅图1，传送装置包括传输系统、升降台14以及机械手15，传输系统包括料盒输入传送带11、料盒输出传送带12、电池片传送带13以及料盒载具19。为了避免料盒以及料盒内的电池片受到损伤，料盒被固定在料盒载具19上(为了便于描述，下文将料盒和料盒载具统称为料盒组件)，然后将料盒组件放置在料盒输入传送带11上进行传输；料盒输入传送带11用于将装载有电池片的料盒组件 16a、16b、16c从装载新料盒的起始位置(图中未示出)传输至升降台14 ；料盒输出传送带 12用于将空料盒组件16d、16e由升降台14传输至卸载位置；电池片传送带13用于将电池片传输至工艺腔室。升降台14位于料盒输入传送带11和电池片传送带13之间，其包括升降台传送带17和丝杠18，丝杠18可以带动升降台传送带17在其轴向移动。机械手15用于从放置在升降台传送带17上的料盒组件中取出电池片并将电池片放置在电池片传送带 13上。上述传送装置的具体工作过程为首先由操作员将装载有电池片的料盒组件放置在料盒输入传送带11上；然后由料盒输入传送带11将料盒组件传输至靠近升降台14的位置；与此同时，升降台14升起，并使升降台传送带17的上表面与料盒输入传送带11的上表面处于同一水平面，料盒输入传送带11与升降台传送带17同时传动，料盒组件完全放置在升降台传送带17上；机械手15从料盒组件中取出电池片并将其放置在电池片传送带13 上，再由电池片传送带13放入工艺腔室内；当料盒组件内的电池片被取尽后，升降台14下降，使升降台传送带17的上表面与料盒输出传送带12的上表面处于同一水平面，空料盒组件16d、16e由料盒输出传送带12输出。操作员将空料盒组件16d、16e取出，并将新料盒组件放置在料盒输入传送带11上，然后进行下一轮的操作。在实际操作过程中，如果两个料盒组件相距较近，则上述传送装置可能出现两个料盒组件同时涌入升降台传送带17的情况，这将导致工艺过程的中断。为此，技术人员对上述传送装置进行了改进。图2为改进后的太阳能电池片传送装置的结构简图，图3为改
4进后的太阳能电池片传送装置的料盒输入传送带和升降台部分的俯视图。请一并参阅图2 和图3，改进后的传送装置增设了两个阻挡气缸及与其配合使用的传感器，阻挡气缸和传感器设置在料盒输入传送带11的下方。阻挡气缸升起时，其顶端高出料盒输入传送带11的上表面；阻挡气缸降下时，其顶端低于料盒输入传送带11的上表面。而且，第一阻挡气缸20a 设置在靠近升降台14的位置，其与第一传感器21a配合使用，用于阻挡第一料盒组件16a 继续向前传输；第二阻挡气缸20b设置在远离升降台14的位置，其与第二传感器21b配合使用，用于阻挡第二料盒组件16b和第三料盒组件16c继续向前传输。如图4所示，为了便于传感器辨别料盒组件的数量和位置，在料盒载具19的一端还设有豁口 19'，传感器借助料盒载具19上的豁口 19'既可辨别料盒的数量及位置。改进后的传送装置的具体工作流程如下操纵员将料盒组件16a、16b、16c放置在料盒输入传送带11上，第一阻挡气缸20a升起，料盒输入传送带11传动，当第一料盒组件 16a到达第一传感器21a时，第二阻挡气缸20b升起；当第二料盒组件16b到达第二传感器 21b时，料盒输入传送带11停止传动；然后升降台14升起，第一阻挡气缸20a下降，料盒输入传送带11和升降台传送带17传动，第一料盒组件16a传输至升降台传送带17上，机械手15进行取片；同时，第一阻挡气缸20a升起，第二阻挡气缸20b降下，料盒输入传送带11 传动并将第二料盒组件16b和第三料盒组件16c向前传送；当第二料盒组件16b到达第一传感器21a位置后，第二阻挡气缸20b升起；当第三料盒组件16c到达第二传感器21b位置后，料盒输入传送带11停止传动。改进后的太阳能电池片的传送装置是通过阻挡气缸来阻挡已经达到预定位置的料盒组件继续向前传送，因此，先到达预定位置的料盒组件在等待其它料盒组件的过程中， 将与料盒输入传送带11发生摩擦，这不仅会损伤料盒载具19和料盒输入传送带11，降低其使用寿命，缩短料盒输入传送带的维护周期；而且还会因摩擦而产生微小颗粒，然而电池片的加工过程是在高度洁净的空间内进行，颗粒污染将降低电池片的转化率。
发明内容
本发明要解决的技术问题就是针对太阳能电池片加工设备中存在的上述缺陷，提供一种控制传送的方法，该方法可以避免料盒载具与传送装置之间的摩擦，从而提高传送装置的使用寿命；同时可以减少工艺腔室内的污染，从而提高工艺腔室内的洁净度。另外，本发明还提供一种控制传送的装置，该控制传送的装置可以避免料盒载具与传送装置之间的摩擦，从而提高传送装置的使用寿命；同时可以减少工艺腔室内的污染， 从而提高工艺腔室内的洁净度。此外，本发明还提供一种传送装置，该传送装置可以避免料盒载具与传送装置之间的摩擦，从而提高传送装置的使用寿命；同时可以减少工艺腔室内的污染，从而提高工艺腔室内的洁净度。另外，本发明还提供一种等离子体加工设备，该加工设备中可以避免料盒载具与传送装置之间的摩擦，从而提高电池片的转化率以及加工设备的使用寿命。解决上述技术问题所采用的技术方案是提供一种控制传送的方法，包括接收每一传感器所发送的上升控制信息，该上升控制信息通过所述传感器感应料盒组件是否到达预设位置而得到；
根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升，以将该托起装置上的料盒组件装置托离所述料盒输入传送带；检测升降台是否准备完毕，若是，则控制最靠近所述升降台的第一托起装置下降， 以将所述第一托起装置上的料盒组件置于所述料盒输入传送带上；控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上，并对该料盒组件进行处理；并且控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降，以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上，并再次控制所述料盒输入传送带传动。其中，所述根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升，包括根据一传感器所发送的一所述上升控制信息，控制发送该一上升控制信息的一传感器所对应的托起装置上升；控制所述料盒输入传送带传动，使后续的料盒组件到达另一传感器所能感应到的预设位置。另外，本发明还提供一种控制传送的装置，包括接收模块，用于接收每一传感器所发送的上升控制信息，该上升控制信息通过所述传感器感应料盒组件是否到达预设位置而得到；第一控制模块，用于根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升，以将该托起装置上的料盒组件托离所述料盒输入传送带；检测模块，用于检测升降台是否准备完毕；第二控制模块，用于在所述检测模块检测到升降台准备完毕后，控制最靠近所述升降台的第一托起装置下降，以将所述第一托起装置上的料盒组件置于所述料盒输入传送带上；第三控制模块，用于控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上，并对该料盒组件进行处理；第四控制模块，用于控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降，以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上，并再次控制所述料盒输入传送带传动。其中，所述第一控制模块包括第一控制单元，用于根据一传感器所发送的一所述上升控制信息，控制发送该一上升控制信息的一传感器所对应的托起装置上升；第二控制单元，用于控制所述料盒输入传送带传动，使后续的料盒组件到达另一传感器所能感应到的预设位置。此外，本发明还提供一种传送装置，包括传输料盒组件的平行设置的料盒输入传送带，还包括至少两个托起装置；至少两个所述托起装置沿所述料盒组件的传送方向排列设置在所述料盒输入传送带的下方；且所述托起装置用于升起以将所述料盒组件托离所述料盒输入传送带，或降下以将所述料盒组件放置于所述料盒输入传送带上。其中，所述托起装置包括托板、传动装置以及驱动装置，所述托板通过所述传动装置与所述驱动装置连接，并在所述驱动装置的驱动下可升起或降下。其中，所述驱动装置为气缸或电机或液压装置。
其中，所述托板包括至少一平板，且每一所述平板通过所述传动装置与所述驱动装置连接，并在所述驱动装置的驱动下可从料盒输入传送带的两个皮带之间升起或降下。其中，每一所述托起装置上设置有一传感器，所述传感器用于感应所述托起装置的长度范围内被传送所述料盒组件是否到达预设位置，若是，则发送上升控制信息。其中，还包括控制单元，所述控制单元分别与每一所述托起装置和每一传感器连接，用于接收每一传感器所发送的上升控制信息；根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升；检测所述传送装置的升降台是否准备完毕，若是，则控制最靠近所述升降台的第一托起装置下降，以将所述第一托起装置上的料盒组件置于所述料盒输入传送带上；控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上，并对该料盒组件进行处理；并且控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降，以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上，并再次控制所述料盒输入传送带传动。其中，所述传感器设置在所述托起装置上且位于料盒组件被传送方向的一端。其中，所述传感器为光电传感器。其中，在所述料盒输入传送带的起始位置还设有限位装置，所述限位装置设置在所述料盒输入传送带的两侧，并且当所述托起装置升起时，所述限位装置的上表面比所述托起装置的上表面高出5mm以上。其中，所述限位装置为两块平行设置的平板。另外，本发明还提供一种太阳能电池片加工设备，包括传送装置，所述传送装置采用本发明提供的传送装置。本发明具有以下有益效果本发明提供的控制传送的方法，借助传感器与托起装置的配合使用而将料盒组件有选择地托离料盒输入传送带，以避免料盒组件与料盒输入传送带之间的摩擦，这不仅可以减少工艺腔室内的颗粒污染，提高工艺腔室内的洁净度，从而提高被加工工件的转化率； 而且，还可以提高料盒组件与料盒输入传送带的使用寿命，从而延长传送装置的维护周期， 进而降低传送装置的运行成本。本发明提供的控制传送的装置，该装置在料盒组件的传送过程中有选择地将其托离料盒输入传送带，以避免料盒载具与料盒输入传送带之间的摩擦，这不仅可以减少工艺腔室内的颗粒污染，提高工艺腔室内的洁净度，从而提高被加工工件的转化率；而且，还可以提高料盒载具与料盒输入传送带的使用寿命，从而延长传送装置的维护周期，进而降低传送装置的运行成本。本发明提供的传送装置，借助托起装置可选择地将盛放被加工工件的料盒组件托离料盒输入传送带，以避免料盒载具与料盒输入传送带之间的摩擦，这样不仅可以减少工艺腔室内的颗粒污染，提高工艺腔室内的洁净度，从而提高被加工工件的转化率；而且，还可以提高料盒载具与料盒输入传送带的使用寿命，从而延长传送装置的维护周期，进而降低传送装置的运行成本。类似地，本发明提供的太阳能电池片加工设备，能够借助托起装置可选择地将盛放被加工工件的料盒组件托离料盒输入传送带，以避免料盒载具与料盒输入传送带之间的摩擦，这不仅可以减少工艺腔室内的颗粒污染源，从而提高电池片的转化率；同时，可以提高料盒载具与料盒输入传送带的使用寿命，从而延长太阳能电池片加工设备的维护周期， 进而减小太阳能电池片加工设备的运行成本。
图1为太阳能电池片传送装置的结构简图；图2为改进后的太阳能电池片传送装置的结构简图；图3为改进后的太阳能电池片传送装置的料盒输入传送带和升降台部分的俯视图；图4为太阳能电池片传送装置中料盒载具的结构示意图；图5为本发明提供的太阳能电池片传送装置的结构简图；图6为本发明提供的太阳能电池片传送装置的料盒输入传送带和升降台部分的俯视图；图7为图6所示俯视图的A向视图；图8为本发明提供的料盒控制传送方法的流程图；以及图9为本发明提供的控制传送装置的结构框图。
具体实施例方式为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的控制传送的方法、控制传送的装置、传送装置以及太阳能电池片加工设备进行详细描述。图5为本发明提供的传送装置的结构简图。图6为本发明提供的传送装置的料盒输入传送带和升降台部分的俯视图。请一并参阅图5和图6，传送装置包括控制器、传输系统、升降台M、机械手55以及两个托起装置51h、512b。传输系统包括料盒输入传送带51、 料盒输出传送带52、电池片传送带53以及料盒载具19 ；电池片放置在料盒内，料盒放置在料盒载具19上。为了便于描述，下文同样将料盒和料盒载具称之为料盒组件。其中，料盒输入传送带51用于将装载有电池片的料盒组件由起始位置(装载位置)传输至升降台M ； 料盒输出传送带52用于将空料盒组件由升降台M传输至卸载位置；电池片传送带53用于将电池片传输至工艺腔室。升降台M位于料盒输入传送带51和电池片传送带53之间，机械手55设置在靠近升降台M和电池片传送带53的位置，以便于从放置在升降台传送带57 上的料盒组件中取出电池片并将其放置在电池片传送带53上。料盒输入传送带51、料盒输出传送带52、电池片传送带53均由两根平行设置的皮带组成。托起装置设置在料盒输入传送带51下方，其中，第一托起装置51 设置在靠近升降台M的位置，用于将即将传送至升降台M的第一料盒组件56a托离料盒输入传送带51 ；第二托起装置512b设置在远离升降台M的位置，即靠近料盒输入传送带51的起始位置，用于将第二料盒组件56b和第三料盒组件56c托离料盒输入传送带51。第一托起装置51 包括第一托板513a、第一传动杆51 以及第一气缸515a，其中，第一托板513a为平板，其上表面与料盒输入传送带51的上表面平行，第一传动杆51 的一端与第一气缸51 的活塞连接，其另一端与第一托板513a连接。第一气缸51 的活塞带动第一传动杆51 运动可以使第一托板513a升起或降下。当第一托板513a升起时，第一托板513a的上表面高出所述料盒输入传送带51的上表面，从而将第一料盒组件56a 托离料盒输入传送带51 ；当第一托板513a降下时，第一托板513a的上表面低于所述料盒输入传送带51的上表面，从而将第一料盒组件56a放置在料盒输入传送带51上。第二托起装置51 包括第二托板513b、第二传动杆514b、第二气缸515b、第三传动杆5Hc以及第三气缸515c，其中，第二托板51 为平板，其上表面与料盒输入传送带51 的上表面平行。第二传动杆514b的一端与第二气缸51 的活塞连接，另一端固定在第二托板51 上；第三传动杆5Hc的一端与第三气缸515c的活塞连接，另一端固定在第二托板51 上。第二气缸51 和第三气缸515c运行时，其活塞分别带动第二传动杆514b和第三传动杆5Hc运动，从而带动第二托板51 升起或降下。当第二托板51 升起时，第二托板51 的上表面高出料盒输入传送带51的上表面，从而将第二料盒组件56b和第三料盒组件56c托离料盒输入传送带51 ；当第二托板51 降下时，第二托板51 的上表面低于所述料盒输入传送带51的上表面，从而将第二料盒组件56b和第三料盒组件56c放置在料盒输入传送带51上。第二气缸51 和第三气缸515c由控制器控制并使其同步运行， 以使第二料盒组件56b和第三料盒组件56c能够平稳地升起或降下。不难理解，第二托板 513b也可以仅由一个气缸并配合一个传动杆来实现升降。但是，当第二托板51 较长时， 使用两个以上的气缸及传动杆可以使第二托板51 的升降过程更加平稳。本实施例中，太阳能电池片传送装置还设有传感器521a、521b，其中，第一传感器 521a和第二传感器521b分别设置在第一托板513a和第二托板51 上且位于料盒传送方向的一端，即设置在第一托板513a和第二托板51 上靠近升降台M的一端。当然，传感器521a、521b也可以设置在能够检测到料盒组件位置的其它位置。传感器521a、521b为光电传感器，即使两个料盒组件相距较近或紧靠在一起，传感器521a、521b也可以通过料盒载具19上的豁口 19'来辨别料盒组件的数量及位置。第一传感器521a、第二传感器521b 分别用于感应第一料盒组件56a和第二料盒组件56b是否到达第一托板513a和第二托板 513b的长度范围内，若是，第一传感器521a、第二传感器521b发出上升控制信息。控制器分别与第一托起装置51 、第二托起装置512b、第一传感器521a以及第二传感器521b连接，其用于接收第一传感器521a和第二传感器521b所发送的上升控制信息；根据第一传感器521a和第二传感器521b的上升控制信息，分别控制与之对应的第一托起装置51 和第二托起装置512b上升，以使第一托起装置51 和第二托起装置512b均处于上升状态；检测升降台M是否准备完毕，若是，则控制最靠近升降台M的第一托起装置51 下降，以将第一托起装置51 上的第一料盒组件56a置于料盒输入传送带51上； 控制料盒输入传送带51传动并将第一料盒组件56a传送至于升降台M上，然后对第一料盒组件56a进行处理；并且控制所述第二托起装置512b下降，以将第二料盒组件56b、第三料盒组件56c置于料盒输入传送带51上，并再次控制料盒输入传送带51传动。图7为图6俯视图的A向视图。请一并参阅图6和图7，为了使操作员能够准确地将料盒组件放置在料盒输入传送带51的起始位置，在料盒输入传送带51的起始位置设有限位装置516，限位装置516为两块平板，其对称地设置在料盒输入传送带51的两侧。限位装置516还应满足以下条件当第二托板51 升起时，限位装置516的上表面比第二托板 513b的上表面高出5mm或IOmm以上。这样，在放置新料盒组件时，即使在第二托板51北处于升起状态，也能通过限位装置516来确保料盒组件的放置位置。
本实施例中，升降台传送带57主要由升降台传送带57和丝杠58组成，升降台传送带57固定在丝杠58上，并可在丝杠58的轴向上下移动。本实施例提供的太阳能电池片传送装置的工作流程如下步骤SlOO，操作员将三个料盒组件放置在料盒输入传送带51的起始位置，料盒输入传送带51传动，使第一料盒组件56a位于第一传感器521a和第二传感器521b之间。然后，再次使料盒输入传送带51传动，当第一料盒组件56a到达第一传感器521a位置时，表明第一料盒组件56a已经到达第一托板513a的上方，料盒输入传送带51停止传动，第一托板513a升起以将第一料盒组件56a托离料盒输入传送带51 ；然后，料盒输入传送带51继续传动，当第二料盒组件56b到达第二传感器521b位置时，表明第二料盒组件56b和第三料盒组件56c到达第二托板51 的上方，料盒输入传送带51停止传动，第二托板51 升起以将第二料盒组件56b和第三料盒组件56c托离料盒输入传送带51。当然，在实际操作过程中，如果第二料盒组件56b首先到达第二传感器521b位置，那么，第二托板51 首先升起并将第二料盒组件56b和第三料盒组件56c托离料盒输入传送带51。也就是说，第一托板513a和第二托板51 的升起顺序由第一料盒组件56a和第二料盒组件56b到达预定位置的先后顺序决定。步骤s200，升降台M升起，第一托板513a降下，并使第一料盒组件56a放置在料盒输入传送带51上。步骤s300，料盒输入传送带51和升降台传送带57传动，当第一料盒组件56a完全放置在升降台传送带57上后，料盒输入传送带51和升降台传送带57停止传动。步骤s400，机械手55开始工作，将第一料盒组件56a中的电池片取出并放置在电池片传送带53上。与此同时，第二托板51 降下，料盒输入传送带51开始传动，第二料盒组件56b和第三料盒组件56c向升降台M方向传送，当第二料盒组件56b到达第一传感器 521a位置时，料盒输入传送带51停止传动，第一托板513a升起，并将第二料盒组件56b托离料盒输入传送带51 ；当第三料盒组件56c到达第二传感器521b位置时，第二托板51 升起，将第三料盒组件56c托离料盒输入传送带51。步骤s500，当第一料盒组件56a中的电池片被全部取出后，升降台传送带57降下， 第一料盒组件56a被料盒输出传送带52输送至料盒卸载位置，操作员将第一料盒组件56a 取出。当需要再次向工艺腔室内传送电池片时，继续执行步骤s200、步骤s300、步骤 s400以及步骤s500。本实施例提供的太阳能电池片传送装置，在料盒输入传送带51传送料盒组件的过程中，借助托起装置可选择地将部分料盒组件托离料盒输入传送带51，以避免料盒载具与料盒输入传送带51之间的摩擦，这样不仅可以减少因摩擦产生的颗粒而造成工艺腔室的污染，从而提高工艺腔室内的洁净度，并提高电池片的转化率；而且，还可以减少因摩擦而造成的料盒载具和料盒输入传送带的损伤，提高料盒载具、尤其是料盒输入传送带的使用寿命，延长传送装置的维护周期，从而降低传送装置的运行成本。需要说明的是，本实施例中，气缸51fe、515b、515c也可以采用电机或液压装置代替，相应地，传动装置采用与电机或液压装置配合使用的传动装置。每一个托起装置的托板可以是设置在料盒输入传送带51的两个皮带之间的一块平板，也可以是分别位于料盒输入传送带51两侧的两块平板，或者是并排设置的两块以上的平板。还需要说明的是，本实施例中，太阳能电池片传送装置设置了两个托起装置，然而，本实施例也可以设置三个或三个以上的托起装置，这些托起装置可以分别将与其对应料盒组件托离料盒输入传送带51，以避免其与料盒输入传送带51发生摩擦。本发明还提供一种料盒控制传送的方法。图8为料盒控制传送方法的流程图，请一并结合图5、图6和图8，料盒控制传送的方法包括以下步骤步骤Si，接收每一传感器所发送的上升控制信息，每一所述传感器设置于一托起装置上，且该上升控制信息通过所述传感器感应料盒组件是否到达预设位置而得到。接收来自第一传感器521a、第二传感器521b所发送的上升控制信息，第一传感器 521a、第二传感器521b分别设置在第一托起装置51 和第二托起装置512b上，第一传感器521a、第二传感器521b用于感应第一托起装置51 和第二托起装置51 的长度对应的料盒输入传送带51的范围内料盒组件是否传送到预设位置，以得到上升控制信息，其中预设位置由传感器和料盒组件的相对位置来确定，以传感器能够感应到料盒组件并产生上升控制信息为准。步骤s20，根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升，以将该托起装置上的料盒组件托离所述料盒输入传送带。其中， 控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升步骤包括根据一传感器所发送的一所述上升控制信息，控制发送该一上升控制信息的一传感器所对应的托起装置上升；控制所述料盒输入传送带传动，使后续的料盒组件到达另一传感器所能感应到的预设位置。当第一料盒组件56a到达第一传感器521a所能感应到的预设位置时，第一传感器 521a发送上升控制信息，料盒输入传送带51停止传动，第一托起装置51 上升，从而将第一料盒组件56a托离料盒输入传送带51 ；然后，控制料盒输入传送带51继续传动，当第二料盒组件56b到达第二传感器521b所能感应到的预设位置时，第二传感器521b发送上升控制信息，料盒输入传送带51停止传动，第二托起装置512b上升，从而将第二料盒组件56b 和第三料盒组件56c托离料盒输入传送带51。步骤s30，检测升降台M是否准备完毕，若是，则控制最靠近所述升降台M的第一托起装置51 下降，以将所述第一托起装置51 上的第一料盒组件56a置于所述料盒输入传送带51上。通过设置在升降台M上的限位开关(图中未示出)来检测升降台讨是否准备完毕，若是，则控制最靠近所述升降台M的第一托起装置51 下降，从而将第一托起装置 512a上的第一料盒组件56a置于料盒输入传送带51上。步骤s40，控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上，并对该料盒组件进行处理。控制料盒输入传送带51传动，使第一托起装置51 上的第一料盒组件56a传输至所述升降台M上，然后由机械手阳从第一料盒组件56a内取出电池片，并将电池片放置传送带53上。步骤s50，控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降，以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上，并再次控制所述料盒输入传送带传动。
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控制第二托起装置512b下降，以将第二料盒组件56b和第三料盒组件56c均置于料盒输入传送带51上，并再次控制所述料盒输入传送带51传动。本发明还提供一种控制传送装置，如图9所示，控制传送装置包括接收模块81，用于接收每一传感器所发送的上升控制信息，每一所述传感器设置于一托起装置上，且该上升控制信息通过所述传感器感应料盒组件是否到达预设位置而得到。具体为接收来自第一传感器521a、第二传感器521b所发送的上升控制信息，第一传感器521a、第二传感器521b分别设置在第一托起装置51 和第二托起装置512b上， 第一传感器521a、第二传感器521b用于感应第一托起装置51 和第二托起装置51 的长度对应的料盒输入传送带51的范围内料盒组件是否传送到预设位置，以得到上升控制信息，其中预设位置由传感器和料盒组件的相对位置来确定，以传感器能够感应到料盒组件并产生上升控制信息为准。第一控制模块82，用于根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升，以将该托起装置上的料盒组件托离所述料盒输入传送
市ο第一控制模块82包括第一控制单元821和第二控制单元822，其中，第一控制单元 821用于根据第一传感器521a所发送的上升控制信息，控制发送该上升控制信息的第一传感器521a所对应的第一托起装置512b上升，以将该托起装置上的料盒组件托离所述料盒输入传送带。控制单元822用于控制料盒输入传送带51传动，使第二料盒组件56b、第三料盒组件56c到达第二传感器521b所能感应到的预设位置。检测模块83，用于检测升降台讨是否准备完毕，即检测升降台M的上表面是否与料盒输入传送带51的上表面在同一水平面。检测模块83可以是限位开关或其它传感器。第二控制模块84，用于在检测模块检测到升降台M准备完毕后，控制最靠近所述升降台M的第一托起装置51 下降，以将第一托起装置51 上的第一料盒组件56a置于料盒输入传送带51上。第三控制模块85，用于控制料盒输入传送带51传动第一托起装置51 上的第一料盒组件56a至于所述升降台上M，并对第一料盒组件装置56a进行处理，即将第一料盒组件56a内的电池片取出并放置在电池片传送带53上。第四控制模块86，用于控制第二托起装置512b下降，以将第二托起装置512b上的第二料盒组件56b和第三料盒组件56c置于料盒输入传送带51上，并再次控制料盒输入传送带51传动。此外，本发明还提供一种太阳能电池片加工设备，该加工设备包括传送装置和工艺腔室，所述传送装置用于将电池片传送至所述工艺腔室，所述传送装置采用本实施例中提供的传送装置。本发明提供的太阳能电池片加工设备，料盒组件在料盒输入传送带上的传送过程中，借助托起装置可选择地将部分料盒组件托离料盒输入传送带，以避免料盒载具与料盒输入传送带之间的摩擦，这样不仅可以提高真空腔室内的洁净度，从而提高电池片的转化率；而且，还可以提高料盒载具与料盒输入传送带的使用寿命，从而延长太阳能电池片加工设备的维护周期，进而降低太阳能电池片加工设备的运行成本。可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种控制传送的方法，其特征在于，包括接收每一传感器所发送的上升控制信息，该上升控制信息通过所述传感器感应料盒组件是否到达预设位置而得到；根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升，以将该托起装置上的料盒组件装置托离所述料盒输入传送带；检测升降台是否准备完毕，若是，则控制最靠近所述升降台的第一托起装置下降，以将所述第一托起装置上的料盒组件置于所述料盒输入传送带上；控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上，并对该料盒组件进行处理；并且控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降，以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上，并再次控制所述料盒输入传送带传动。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升，包括根据一传感器所发送的一所述上升控制信息，控制发送该一上升控制信息的一传感器所对应的托起装置上升；控制所述料盒输入传送带传动，使后续的料盒组件到达另一传感器所能感应到的预设位置。
3.—种控制传送的装置，其特征在于，包括接收模块，用于接收每一传感器所发送的上升控制信息，该上升控制信息通过所述传感器感应料盒组件是否到达预设位置而得到；第一控制模块，用于根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升，以将该托起装置上的料盒组件托离所述料盒输入传送带； 检测模块，用于检测升降台是否准备完毕；第二控制模块，用于在所述检测模块检测到升降台准备完毕后，控制最靠近所述升降台的第一托起装置下降，以将所述第一托起装置上的料盒组件置于所述料盒输入传送带上；第三控制模块，用于控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上，并对该料盒组件进行处理；第四控制模块，用于控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降，以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上，并再次控制所述料盒输入传送带传动。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第一控制模块包括第一控制单元，用于根据一传感器所发送的一所述上升控制信息，控制发送该一上升控制信息的一传感器所对应的托起装置上升；第二控制单元，用于控制所述料盒输入传送带传动，使后续的料盒组件到达另一传感器所能感应到的预设位置。
5.一种传送装置，包括传输料盒组件的平行设置的料盒输入传送带，其特征在于，还包括至少两个托起装置；至少两个所述托起装置沿所述料盒组件的传送方向排列设置在所述料盒输入传送带的下方；且所述托起装置用于升起以将所述料盒组件托离所述料盒输入传送带，或降下以将所述料盒组件放置于所述料盒输入传送带上。
6.根据权利要求5所述的传送装置，其特征在于，所述托起装置包括托板、传动装置以及驱动装置，所述托板通过所述传动装置与所述驱动装置连接，并在所述驱动装置的驱动下可升起或降下。
7.根据权利要求6所述的传送装置，其特征在于，所述驱动装置为气缸或电机或液压直ο
8.根据权利要求6所述的传送装置，其特征在于，所述托板包括至少一平板，且每一所述平板通过所述传动装置与所述驱动装置连接，并在所述驱动装置的驱动下可从料盒输入传送带的两个皮带之间升起或降下。
9.根据权利要求5所述的传送装置，其特征在于，每一所述托起装置上设置有一传感器，所述传感器用于感应所述托起装置的长度范围内被传送所述料盒组件是否到达预设位置，若是，则发送上升控制信息。
10.根据权利要求9所述的传送装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与每一所述托起装置和每一传感器连接，用于接收每一传感器所发送的上升控制信息；根据每一所述上升控制信息，控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升； 检测所述传送装置的升降台是否准备完毕，若是，则控制最靠近所述升降台的第一托起装置下降，以将所述第一托起装置上的料盒组件置于所述料盒输入传送带上；控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上，并对该料盒组件进行处理；并且控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降，以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上，并再次控制所述料盒输入传送带传动。
11.根据权利要求10所述的传送装置，其特征在于，所述传感器设置在所述托起装置上且位于料盒组件被传送方向的一端。
12.根据权利要求9-11任一所述的传送装置，其特征在于，所述传感器为光电传感器。
13.根据权利要求9-11任一所述的传送装置，其特征在于，在所述料盒输入传送带的起始位置还设有限位装置，所述限位装置设置在所述料盒输入传送带的两侧，并且当所述托起装置升起时，所述限位装置的上表面比所述托起装置的上表面高出5mm以上。
14.根据权利要求13所述的传送装置，其特征在于，所述限位装置为两块平行设置的平板。
15.一种太阳能电池片加工设备，包括传送装置，其特征在于，所述传送装置采用权利要求5-14任意一项所述的传送装置。
全文摘要
本发明提供一种控制传送的方法和装置、以及传送装置和加工设备，其中，传送装置包括传输料盒组件的平行设置的料盒输入传送带以及至少两个托起装置，至少两个所述托起装置沿所述料盒组件的传送方向排列设置在所述料盒输入传送带的下方；且所述托起装置用于升起以将所述料盒组件托离所述料盒输入传送带，或降下以将所述料盒组件放置于所述料盒输入传送带上。所述传送装置不仅可以提高工艺腔室内的洁净度，从而提高电池片的转化率，而且可以提高料盒载具与传送装置的使用寿命。所述太阳能电池片加工设备的电池片转化率高，运行成本低。
文档编号H01L31/18GK102544190SQ20101059179
公开日2012年7月4日 申请日期2010年12月8日 优先权日2010年12月8日
发明者杨斌 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司