专利名称：具有导电减反射膜的太阳电池的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳电池，尤其涉及一种具有导电减反射膜的太阳电池。
背景技术：
太阳电池一般由上电极(包括主电极和栅电极)、减反射膜、光电转换材料和背电 极组成，其中上电极起到收集电流的作用。现有技术的一种太阳电池的上电极如图1所示， 包括两条主电极11和连接在两条主电极11之间的栅电极12。这种由两条主电极和连接在 两条主电极11之间的栅电极构成的上电极约占太阳电池表面面积的4%，对于聚光太阳电 池，甚至有10%以上的太阳光由于上电极的遮挡无法进入太阳电池。为了提高太阳电池的 转换效率，必须减少上电极面积，但是，更小的上电极面积会导致电流收集困难、串联电阻 增加、太阳电池转换效率降低。为了解决上述问题，出现了一种背接触式硅太阳电池，将两个电极都放在背面，能 使太阳电池的转换效率显著提高。但是这种背接触式硅太阳电池工艺过程十分复杂，制造 成本高，而且，这种结构难以在多结太阳电池中使用。
实用新型内容本实用新型的目的，就是为了解决上述问题，提供一种具有导电减反射膜的太阳 电池。为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案一种具有导电减反射膜的 太阳电池，包括太阳电池本体，在太阳电池本体的上表面设有钝化层，在太阳电池本体的下 表面设有背电极，在所述钝化层的表面蒸镀有一条主电极，在所述主电极周围的所述钝化 层表面蒸镀有导电减反射膜，所述主电极的厚度大于导电减反射膜的厚度。所述导电减反射膜由底层TiA和表层SiA构成。所述导电减反射膜由底层TiA和表层Al2O3构成。所述的一条主电极位于钝化层表面的中间。本实用新型中的导电减反射膜既可起到减反射膜的作用，又可以起到收集电流的 作用，由于只有一条主电极，没有栅电极，大大减少了上电极的面积，提高了太阳电池的转 换效率，而且制造过程简单，制造成本低。本实用新型中的导电减反射膜可以用于硅太阳电池、砷化镓太阳电池，以及聚光 太阳电池。
图1是现有技术太阳电池的上电极结构示意图；图2是本实用新型具有导电减反射膜的太阳电池的结构原理图；图3是本实用新型的上电极结构示意图。
具体实施方式
参见图2、图3，本实用新型具有导电减反射膜的太阳电池，包括太阳电池本体21， 在太阳电池本体21的上表面设有钝化层22，在太阳电池本体21的下表面设有背电极23， 在钝化层22的表面蒸镀有一条主电极M，在主电极M周围的钝化层表面蒸镀有导电减反 射膜25，主电极M的厚度大于导电减反射膜25的厚度。本实用新型中的导电减反射膜25可以由底层TW2和表层SW2构成，也可以由底 层TiA和表层Ai2O3构成。本实用新型中的一条主电极M位于钝化层22表面的中间。本实用新型中的导电减反射膜的制作方法是，采用真空镀膜机蒸镀二氧化钛和二 氧化硅。(1)在相应的坩埚内分别装满二氧化钛和二氧化硅，然后关上真空室门和放气阀； (2)开始抽低真空，再抽高真空；(3)选择盛二氧化钛的坩埚，依次打开扫描、枪灯丝、高压 和束流，调节电子束流，同时调整光斑位置，使坩埚内的二氧化钛充分熔融；(4)然后调整 光斑位置使光斑落在坩埚中心，调节电子束流使二氧化钛稳定地蒸发，打开充氧阀，然后打 开挡板进行蒸发二氧化钛；(5) 二氧化钛蒸发完毕后继续充氧:3min IOmin ； (6)选择盛二 氧化硅的坩埚，打开挡板进行蒸发；(7) 二氧化硅蒸发完毕后继续充氧:3min IOmin ； (8) 然后关闭充氧阀，开放气阀对真空室充气，打开真空室门，取出太阳电池。采用真空镀膜机蒸镀二氧化钛和三氧化二铝的过程与上述相同。这种结构的太阳电池将减反射膜作为电流收集层使用，简化了制造过程，而且这 种方法蒸镀的减反射膜导电性能优良，不仅能够获得质量较好的减反射膜，还能够代替太 阳电池上表面的栅电极起到收集电流的作用，克服了电池上表面栅电极对入射光的遮挡。 这种导电的太阳电池减反射膜，可以用于硅太阳电池、砷化镓太阳电池，以及聚光太阳电池 等，可以大大提高太阳电池的转换效率。
权利要求1.一种具有导电减反射膜的太阳电池，包括太阳电池本体，在太阳电池本体的上表面 设有钝化层，在太阳电池本体的下表面设有背电极，其特征在于在所述钝化层的表面蒸镀 有一条主电极，在所述主电极周围的所述钝化层表面蒸镀有导电减反射膜，所述主电极的 厚度大于导电减反射膜的厚度。
2.如权利要求1所述的具有导电减反射膜的太阳电池，其特征在于所述导电减反射 膜由底层TiA和表层SiA构成。
3.如权利要求1所述的具有导电减反射膜的太阳电池，其特征在于所述导电减反射 膜由底层TiA和表层Al2O3构成。
4.如权利要求1所述的具有导电减反射膜的太阳电池，其特征在于所述的一条主电 极位于钝化层表面的中间。
专利摘要本实用新型提供了一种具有导电减反射膜的太阳电池，它包括太阳电池本体，在太阳电池本体的上表面设有钝化层，在太阳电池本体的下表面设有背电极，在钝化层的表面蒸镀有一条主电极，在主电极周围的钝化层表面蒸镀有导电减反射膜，主电极的厚度大于导电减反射膜的厚度。本实用新型中的导电减反射膜既可起到减反射膜的作用，又可以起到收集电流的作用，由于只有一条主电极，没有栅电极，大大减少了上电极的面积，提高了太阳电池的转换效率，而且制造过程简单，制造成本低。本实用新型中的导电减反射膜可以用于硅太阳电池、砷化镓太阳电池，以及聚光太阳电池。
文档编号H01L31/0216GK201859880SQ20102058845
公开日2011年6月8日 申请日期2010年11月2日 优先权日2010年11月2日
发明者李红波, 王亮兴 申请人:上海太阳能工程技术研究中心有限公司