专利名称：加速度开关及电子器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及加速度开关及包含加速度开关的电子器件。
背景技术：
作为现有的加速度开关，基于
图19说明在质量体内部具有相对电扱，以多个梁支持质量体的无指向性的加速度开关。图19是现有的加速度开关的俯视图，该加速度开关100，由周边部101、4根梁102 105、质量体(重物)106、及相对电极107组成，成为以将该质量体的一端固定在周边部的4根梁支撑的结构。此外，对应施加在加速度开关的加速度，通过质量体和配置在该质量体内部的相对电极接触，和该加速度开关连接的外部装置检测出振动。此外，该加速度开关，能够使用常闭且无指向性的开关，此外，通过使用半导体制造技术，能够以硅单晶为基础制作，所以具有比较小型且能够大量生产等各种优点。因此，如果将该加速度开关用于省电力，例如搭载于如只能够内置小容量电池的 便携式设备中，能够实现在未检测出人的振动时，即未使用设备时停止动作，在检测出振动 时，即使用设备吋，自动地开始动作，不浪费地使用电池的电子器件(电子设备)。另ー方面，感知施加的加速度导致的振动而进行设备的开、关的加速度开关，最理想的是对任何振动的方向都均等地感知，所以具有无指向性的有利方面。因此，如专利文献I所示，为使不因为加速度而导致重物(质量体)的振动偏移，用多个梁支撑重物。搭载于这样的便携式设备的加速度开关对于小型化的要求高，所以加速度开关的外形尺寸更小的有利。此外，对于降低成本的要求也高，使用半导体制造技术，将加速度开关的外形尺寸变得更小，在一枚晶片上制作多个加速度开关更加有利。专利文献
专利文献I :日本意匠登录第1310053号公报。
发明内容
然而，若像现有的加速度开关ー样增加支撑重物的梁的数目，则加速度导致的重物的动作，即位移量变得更小，其结果加速度开关的灵敏度降低。此外，若増加梁的数目，则需要更多面积以配置梁，不利于加速度开关的小型化。此外，若将加速度开关小型化，则重物也变小，所以为确保高灵敏度，需要使梁的形状更灵活，确保重物的位移量更大。另ー方面，加速度开关需要确保能够耐受下落时的冲击的耐冲击性，还需要具备耐受来自外部的冲击的梁的尺寸及形状。此外，加速度开关需要开关受到既定的振动而确实地动作，启动包含该加速度开关的设备。本发明考虑到这样的情况而完成，其目的在于实现小型、高灵敏度、确保耐冲击性，并且受到既定的振动而确实地动作的加速度开关及包含加速度开关的电子器件。本发明涉及的加速度开关，其特征在于，具备质量体，在内侧具备空间；圆弧状的梁，支持所述质量体，受到加速度时由于施加于所述质量体的惯性カ而挠曲，且以包围所述质量体的方式配置；支持部，支持所述梁，以固定的状态配置在所述质量体的周围；相对电极，在所述质量体的空间内，检测受到加速度时和所述质量体的接触。支撑所述质量体的梁为ー根，所述质量体的内侧面和所述相对电极的外侧面的距离即电极间隔为Iym以上，且在20 μ m以下。根据本发明涉及的加速度开关，以Iym以上，且在20 μ m以下的条件形成电极间隔，确保加速度开关需要的灵敏度的精度。此外，即使完成小型化，由于梁为一根，和梁的数目为多个的开关比较，梁占有的区域变小，所以能够确保质量体的体积，而且能够确保梁的长度，所以能够实现较大确保质量体的位移量，且具有充分的灵敏度的加速度开关。此外，所述加速度开关，其特征在于，包含所述梁的厚度h和所述梁的宽度W，基于下列公式设定的梁
[数学式I]
权利要求
1.一种加速度开关，其特征在于，具备 质量体，在内侧具备空间； 圆弧状的梁，支持所述质量体，受到加速度时由于施加于所述质量体的惯性力而挠曲，且以包围所述质量体的方式配置； 支持部，支持所述梁，以固定的状态配置在所述质量体的周围； 相对电极，在所述空间内，检测受到加速度时和所述质量体的接触， 支撑所述质量体的梁为一根， 成为所述质量体的内侧面和所述相对电极的外侧面的距离的电极间隔为Iym以上，且在20 μ m以下。
2.如权利要求I所述的加速度开关，其特征在于， 包含所述梁的厚度h和所述梁的宽度《，基于下列公式设定的梁 [数学式I]
3.如权利要求I所述的加速度开关，其特征在于， 包含所述梁的厚度h和所述梁的宽度W，基于下列公式设定的梁 [数学式2]
4.如权利要求I所述的加速度开关，其特征在于 所述梁的宽度为4 μ m以上,且在60 μ m以下。
5.如权利要求I所述的加速度开关，其特征在于 所述梁的厚度为5 μ m以下，500 μ m以下，且在质量体的厚度以下。
6.如权利要求I所述的加速度开关，其特征在于 包含支持部和质量体和梁及所述相对电极的加速度开关主体部的外形尺寸为O. 5mm以上，且在3mm以下。
7.如权利要求I所述的加速度开关，其特征在于 包含支持部和质量体和梁及相对电极的加速度开关主体部的外形尺寸为O. 5mm以上，且在I. 5mm以下,所述梁的宽度为4 μ m以上,且在20 μ m以下,所述梁的厚度为5 μ m以上，且在500 μ m以下，且在质量体的厚度以下。
8.如权利要求广7的任意一项所述的加速度开关，其特征在于 所述梁的质量体侧的一端和所述梁的支持部侧的另一端的距离，比所述相对电极和所述质量体的内表面的最大距离大。
9.如权利要求Γ7的任意一项所述的加速度开关，其特征在于 所述梁的质量体侧的一端和所述支持部的距离，比所述相对电极和所述质量体的内表面的最大距离大。
10.如权利要求Γ7的任意一项所述的加速度开关，其特征在于 所述质量体和所述梁的支持部侧的另一端的距离，比所述相对电极和所述质量体的内表面的最大距离大。
11.如权利要求f10的任意一项所述的加速度开关，其特征在于 所述加速度开关，为第一基板、包含所述质量体和所述相对电极和所述梁及所述支持部的第二基板、第三基板层叠的结构， 所述第一基板，具有和外部电路连接的接点，包含作为和所述支持部或者所述相对电极连接的接点的第一贯通电极和第二贯通电扱， 所述第一基板和所述第三基板，和所述第二基板包含的所述支持部及所述相对电极接合 O
12.如权利要求f11的任意一项所述的加速度开关，其特征在于 所述相对电极包含多个电极部。
13.一种电子器件，其特征在于，具备 根据权利要求广12的任意一项所述的加速度开关；和 检测从所述加速度开关输出的检测信号，进行和所述检测信号对应的既定的动作的电路。
全文摘要
该加速度开关，具备质量体，在内侧具备空间；圆弧状的梁，支持所述质量体，以包围所述质量体的方式配置；支持部，以固定所述梁的状态配置在所述质量体的周围；相对电极，在所述质量体的内侧的空间内，检测和质量体的接触。支持所述质量体的梁为1根，所述质量体的内侧面和相对电极的外侧面的距离，即电极间隔为1μm以上，且在20μm以下。
文档编号H01H35/14GK102844832SQ20118001208
公开日2012年12月26日 申请日期2011年3月2日 优先权日2010年3月3日
发明者下田贞之, 户田和男 申请人:精工电子有限公司, 户田和男