专利名称：一种太阳能电池晶片的加工方法
技术领域：
本发明涉及加工生产领域中的一种晶片的加工方法，特别涉及一种太阳能电池晶片的加工方法。
背景技术：
考虑太阳能电池晶片的质量优劣，主要考虑如下几个因素脱水性能、是否存在水痕水纹和粘片；甩干后是否带水及甩干机是否碎片；刻蚀后片子的温度、边缘及整体亮度和刻蚀宽度；气孔是否均勻及片内色差；印刷图形的质量等，现有太阳能电池晶片的加工方法在这些方面做得不够，如存在色差、晶片内有气泡或刻蚀宽度不一等。
发明内容
针对现有太阳能电池晶片加工方法的缺陷，本发明提供了一种太阳能电池晶片的加工方法。为了实现上述目的，本发明所采取的措施是一种太阳能电池晶片的加工方法，加工方法依次包括以下步骤清洗、甩干、扩散、 刻蚀、去PSG、复甩干、PECVD、丝网印刷、高温烧结、成品分选和打包；所述清洗步骤中，依次包括以下步骤预清洗、漂洗、制绒、连续漂洗、酸洗、漂洗、 去氧化层、漂洗和喷淋；所述甩干和复甩干步骤中采用的甩干机的温度为140°C，转速为300，喷氮时间为 300 秒；所述扩散步骤中，依次包括以下步骤放舟、连续升温、恒温、连续扩散、深扩散、降温与氧钝化和取舟；所述刻蚀步骤中，依次包括以下步骤预抽、主抽、送气、恒压、辉光、清洗和充气；所述去PSG步骤中，依次包括以下步骤酸洗、连续漂洗和喷淋；所述PECVD步骤中，依次包括以下步骤开始、充氮、取舟、放舟、慢抽、主抽、恒温、 恒压、预淀积、恒压、淀积、抽空、抽空、充氮抽空和结束；所述丝网印刷及烧结步骤中，依次包括以下步骤背电极的印刷、上浆和烘干，背电场的印刷、上浆和烘干，正电极的印刷、上浆和烘干，烧结；所述成品分选步骤中，依次包括以下步骤测试电池片功率、进行分类、分选色差、 数量和打包。本发明的有益效果产品不存在水痕水纹和粘片，刻蚀后片子的温度合适，边缘及整体亮度和刻蚀宽度适中，片内无色差，印刷图形的质量好。
图1、本发明的加工工艺流程方框图。
具体实施例方式一种太阳能电池晶片的加工方法，加工方法依次包括以下步骤清洗、甩干、扩散、 刻蚀、去PSG(磷硅玻璃)、复甩干、PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)、丝网印刷、高温烧结、成品分选和打包；所述清洗步骤中，依次包括以下步骤预清洗、漂洗、制绒、连续漂洗、酸洗、漂洗、 去氧化层、漂洗和喷淋，具体操作数据如下表
步骤步骤名称时间化学品名称及比例温度1预清洗500氢氧化钠2%异丙醇5%85 "C2漂洗300纯水常温3制绒2000氢氧化钠3%异丙醇5%82 "C4漂洗300纯水常温5漂洗300纯水常温6酸洗400盐酸15%常温7漂洗300纯水常温8去氧化层400氢氟酸10%常温9漂洗300纯水常温10喷淋300纯水常温所述甩干和复甩干步骤中采用的甩干机的温度为140°C，转速为300，喷氮时间为 300 秒；所述扩散步骤中，依次包括以下步骤放舟、连续升温、恒温、连续扩散、深扩散、降温与氧钝化和取舟，具体操作数据如下表
权利要求
1.一种太阳能电池晶片的加工方法，其特征在于，加工方法依次包括以下步骤清洗、 甩干、扩散、刻蚀、去PSG、复甩干、PECVD、丝网印刷、高温烧结、成品分选和打包。
2.按照权利要求1所述的一种太阳能电池晶片的加工方法，其特征在于，所述清洗步骤中，依次包括以下步骤预清洗、漂洗、制绒、连续漂洗、酸洗、漂洗、去氧化层、漂洗和喷淋。
3.按照权利要求1所述的一种太阳能电池晶片的加工方法，其特征在于，所述甩干和复甩干步骤中采用的甩干机的温度为140°C，转速为300，喷氮时间为300秒。
4.按照权利要求1所述的一种太阳能电池晶片的加工方法，其特征在于，所述扩散步骤中，依次包括以下步骤放舟、连续升温、恒温、连续扩散、深扩散、降温与氧钝化和取舟。
5.按照权利要求1所述的一种太阳能电池晶片的加工方法，其特征在于，所述刻蚀步骤中，依次包括以下步骤预抽、主抽、送气、恒压、辉光、清洗和充气。
6.按照权利要求1所述的一种太阳能电池晶片的加工方法，其特征在于，所述去PSG步骤中，依次包括以下步骤酸洗、连续漂洗和喷淋。
7.按照权利要求1所述的一种太阳能电池晶片的加工方法，其特征在于，所述PECVD步骤中，依次包括以下步骤开始、充氮、取舟、放舟、慢抽、主抽、恒温、恒压、预淀积、恒压、淀积、抽空、抽空、充氮抽空和结束。
8.按照权利要求1所述的一种太阳能电池晶片的加工方法，其特征在于，所述丝网印刷及烧结步骤中，依次包括以下步骤背电极的印刷、上浆和烘干，背电场的印刷、上浆和烘干，正电极的印刷、上浆和烘干，烧结。
9.按照权利要求1所述的一种太阳能电池晶片的加工方法，其特征在于，所述成品分选步骤中，依次包括以下步骤测试电池片功率、进行分类、分选色差、数量和打包。
全文摘要
本发明公开了一种太阳能电池晶片的加工方法，包括清洗、甩干、扩散、刻蚀、去PSG、复甩干、PECVD、丝网印刷、高温烧结、成品分选和打包的工艺流程。本发明的有益效果产品不存在水痕水纹和粘片，刻蚀后片子的温度合适，边缘及整体亮度和刻蚀宽度适中，片内无色差，印刷图形的质量好。
文档编号H01L31/18GK102544225SQ20121002153
公开日2012年7月4日 申请日期2012年1月8日 优先权日2012年1月8日
发明者陈一鸣 申请人:温州索乐新能源科技有限公司