一种石墨工艺钉的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种石墨工艺钉,一种石墨工艺钉,为三部分的结构,具有螺帽一(1)和螺帽二(2)与之相配合的螺柱(3)。本发明结构简单,容易加工;采用三部分的结构,利用螺纹安装,紧固,不易松动;松动后,检修和修整均容易。
【专利说明】一种石墨工艺钉【技术领域】
[0001]本发明涉及一种石墨工艺钉,特别涉及分体结构的石墨工艺钉。
【背景技术】
[0002]太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜,其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中,经过一定的条件产生化学反映,在娃片表面镀上一层膜。
[0003]石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率,现有石墨舟包括:石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为:将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上,每个舟片上可放固定数量的硅片,然后,将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内,采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后,取出石墨舟,将硅片从石墨舟上卸取下来。
[0004]石墨工艺钉用于限定硅片的位置,通常由2-3个石墨工艺钉组合成一定角度,有效限定硅片的位置,常用的石墨工艺钉为菱形或圆柱形一体结构的石墨工艺钉,安装在石墨舟上时,为依靠外力挤压,压紧。这种安装方式,随意性较大,不牢靠,经过一定时间的使用,易发生松动,造成硅片的镀膜时的质量的下降,颜色不一等。
【发明内容】
[0005]本发明的目的 是解决上述不足,提供一种安装紧固,牢靠的石墨工艺钉。
[0006]实现本发明目的技术方案是:一种石墨工艺钉,为三部分的结构,具有螺帽一和螺帽二与之相配合的螺柱。
[0007]上述石墨工艺钉,所述螺帽一和螺帽二为圆台结构,中部开有螺孔,螺孔内壁有内螺纹。
[0008]上述石墨工艺钉,所述螺帽一和螺帽二为圆台结构,该圆台的轴截面梯形的底脚为 50。。
[0009]上述石墨工艺钉,所述螺柱外表面具有外螺纹。
[0010]本发明具有积极的效果:⑴结构简单,容易加工;⑵采用三部分结构,利用螺纹安装,紧固,不易松动;(3)松动后,检修和修整均容易。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本发明作进一步详细的说明,其中
[0012]图1为本发明结构示意图,图2为螺帽一的剖视图,图3为螺柱的剖视图。
[0013]其中:1螺帽一,2螺帽二,3螺柱,4内螺纹,5外螺纹。
,【具体实施方式】[0014]实施例⑴
[0015]见图1,本发明石墨工艺钉,为三部分的结构,具有螺帽一 I和螺帽二 2与之相配合的螺柱3,螺帽一 I和螺帽二 2为圆台结构,圆台的轴截面梯形的底脚为50°,螺帽一 I和螺帽二 2中部开有螺孔,螺孔内壁有内螺纹4 ;述螺柱3外表面具有外螺纹。使用时,先将螺帽一 I固定在螺柱3上,然后将其插入到石墨舟片上石墨工艺钉的卡孔里面,然后将螺帽二旋紧在螺柱3上,卡紧石墨舟片,将硅片插入螺帽一 I或螺帽二 2与舟片间。
[0016]以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种石墨工艺钉,其特征在于:为三部分的结构,具有螺帽一(I)和螺帽二(2)与之相配合的螺柱(3)。
2.根据权利要求1所述石墨工艺钉,其特征在于:所述螺帽一(I)和螺帽二(2)为圆台结构,中部开有螺孔,螺孔内壁有内螺纹(4 )。
3.根据权利要求2所述石墨工艺钉,其特征在于:所述螺帽一(I)和螺帽二(2)为圆台结构,该圆台的轴截面梯形的底脚为50°。
4.根据权利要求1所述石墨工艺钉,其特征在于:所述螺柱(3)外表面具有外螺纹(5)。
【文档编号】H01L21/687GK103681440SQ201210361032
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2012年9月25日 优先权日:2012年9月25日
【发明者】吴建洪 申请人:常州市立新石墨有限公司