专利名称：一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法
技术领域：
本发明涉及一种减反射膜的制备方法，具体涉及一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法。
背景技术：
减反射膜又称增透膜，它是镀在光学零件光学表面上的一层折射率较低的薄膜。目前，大规模生产采用的是PEVCD法制备氮硅膜，但其反射率还不是很低。减反射膜是应用最广、产量最大的光学薄膜，因此，它至今任然是光学薄膜技术中重要的研究课题。由于硅的折射系数与空气的折射系数相差很大，光波在界面处的反射成为影响太 阳能电池效率的重要因素，因此，必须在电池表面加镀减反射膜和梯度折射率减反膜。二氧化钛薄膜对电池片生产过程中的大多数化学物质都有很好的化学稳定性，其折射率高和吸收率低，在玻璃封装的太阳能电池应用中优势明显。目前，二氧化钛薄膜的研究集中于染料敏化电池、光催化等方面，对太阳能减反射膜应用研究很少。
发明内容
本发明的目的在于提供一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法。本发明的目的可以通过以下技术方案实现
一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于它包括如下步骤
(1)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420°c；
(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460°C，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为8-15mL/min，氩气流量为100-120mL/min，溅射功率200-400瓦，派射时间4-180min ；
(3)二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理。所述的步骤⑵氧气流量为8-12mL/min,lS气流量为lOO-llOmL/min。所述的步骤(2)氧气流量为10mL/min,lS气流量为100mL/min。所述的步骤⑵派射时间50_100min。所述的步骤⑵派射时间70min。所述的退火处理的条件为温度为350°C，保温5min。本发明的有益效果本发明得到的二氧化钛薄膜可以明显降低电池表面对光的反射，提高太阳能电池的光电转换效率；其折射率高和吸收率低，在玻璃封装的太阳能电池应用中优势明显；本发明制备方法简单，适合规模化生产。
具体实施例方式下面结合具体实施例对本发明作进一步的描述。
实施例1
一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，包括如下步骤(I)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420°c ；(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460°C，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为8mL/min，氩气流量为100mL/min，溅射功率400瓦，溅射时间4min ;(3) 二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理，温度为350°C，保温 5min。实施例2
一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，包括如下步骤(I)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420°C ；(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460°C，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为10mL/min，氩气流量为120mL/min，溅射功率200瓦，溅射时间SOmin ； (3) 二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理，温度为350°C，保温 5min。实施例3
一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，包括如下步骤(I)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420°C ；(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460°C，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为12mL/min，氩气流量为110mL/min，溅射功率300瓦，溅射时间ISOmin ； (3) 二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理，温度为350°C，保温 5min。实施例4
一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，包括如下步骤(I)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420°C ；(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460°C，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为15mL/min，氩气流量为105L/min，溅射功率250瓦，溅射时间70min ； (3) 二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理，温度为350°C，保温 5min。实施例5
一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，包括如下步骤(I)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420°C ；(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460°C，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为13mL/min，氩气流量为115L/min，溅射功率350瓦，溅射时间50min ； (3) 二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理，温度为350°C，保温 5min。实施例6
一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，包括如下步骤(I)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420°C ；(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460°C，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为9mL/min，氩气流量为110L/min，溅射功率280瓦，溅射时间IOOmin; (3) 二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理，温度为350°C，保温 5min。
权利要求
1.一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于它包括如下步骤(1)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420°c；(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460°C，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为8-15mL/min，氩气流量为100-120mL/min，溅射功率200-400瓦，派射时间4-180min ；(3)二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理。
2.根据权利要求1所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的步骤⑵氧气流量为8-12mL/min,lS气流量为100-110mL/min。
3.根据权利要求2所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的步骤⑵氧气流量为10mL/min，氩气流量为100mL/min。
4.根据权利要求1所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的步骤(2)溅射时间50-100min。
5.根据权利要求4所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的步骤(2)派射时间70min。
6.根据权利要求1所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的退火处理的条件为温度为350°C，保温5min。
全文摘要
本发明公开一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，包括如下步骤(1)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420℃；(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460℃，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为8-15mL/min，氩气流量为100-120mL/min，溅射功率200-400瓦，溅射时间4-180min；(3)二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理。本发明得到的二氧化钛薄膜可以明显降低电池表面对光的反射，提高太阳能电池的光电转换效率；其折射率高和吸收率低，在玻璃封装的太阳能电池应用中优势明显；本发明制备方法简单，适合规模化生产。
文档编号H01L31/18GK103000760SQ20121040165
公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月22日 优先权日2012年10月22日
发明者张晨, 张森林 申请人:江苏晨电太阳能光电科技有限公司