专利名称：能够传送翘曲硅片的硅片传送装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅片传送装置，具体涉及一种能够传送翘曲硅片的硅片传送
>J-U ρ α装直。
背景技术：
正常情况下，硅片应该是平整的，基本没有翘曲，此时机台能够正常传片。平整硅片的曲率半径为100米以上，一般认为，对于曲率半径>30米的硅片，光刻机都可以正常作业。 但是，在经过淀积或高温工艺后，会使部分硅片翘曲严重，造成其曲率半径〈30米。对于这些硅片，现有的光刻机传送系统无法进行正常的传片。现有的硅片传送装置包括左右两个夹持头，夹持头相对侧的吸着面分别设置有真空吸着点，真空吸着点连接真空槽，两个真空槽共同连通一路真空管，真空管上设置有电磁阀。这种结构的硅片传送装置，为了确保每次传送硅片到位的一致性，由一路真空管同时控制左右两边的真空吸着点的气路压力，左右两边同时有真空或没真空；当电磁阀作动，使真空管连通，左右两个夹持头的真空吸着点同时有真空，从两边对硅片施力，即可吸住娃片。但是，这种结构只能吸住平整的硅片，如果硅片翘曲严重，左右两个夹持头的真空吸着点就无法同时吸住硅片，因而无法夹持翘曲严重的硅片。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，它可以夹持并传送曲率半径〈30米的翅曲娃片。为解决上述技术问题，本实用新型能够传送翘曲硅片的硅片传送装置的技术解决方案为包括左右两个夹持头，夹持头相对侧的吸着面分别设置有真空吸着点，真空吸着点连接真空槽；两个真空槽分别连通一真空管，两根真空管通过三通阀连通真空总管；每根真空管上分别设置有切换阀。所述夹持头的吸着面为圆形。所述两个夹持头之间的距离略大于硅片的直径。所述两根真空管共同设置于一滑轮上，滑轮通过滑轮支架实现支撑。所述两个夹持头固定设置于夹持座上；所述真空槽设置于夹持座内。本实用新型可以达到的技术效果是本实用新型通过两路相互独立的真空管，分别控制左右两边的真空吸着点的气路压力，并通过各自的阀进行切换。本实用新型保持现有的机台结构基本不变，仅做简单的切换就可以顺利进行翘曲硅片的工艺。[0016]本实用新型能够在不影响硅片的传送精度的情况下，将曲率半径〈30米的翘曲硅片顺利传送至工作台。
以下结合附图
和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明图I是本实用新型能够传送翘曲硅片的硅片传送装置的结构示意图。图中附图标记说明 I为夹持头，2为夹持座，31、32为真空管，4为三通阀，5为真空总管， 6为切换阀，7为滑轮，8为滑轮支架。
具体实施方式
如图I所示，本实用新型能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，包括左右两个夹持头1，两个夹持头I固定设置于夹持座2上；夹持头I相对侧的吸着面分别设置有真空吸着点，真空吸着点连接真空槽；真空槽设置于夹持座2内；两个真空槽分别连通一真空管31、32，两根真空管31、32通过三通阀4连通真空总管5 ；每根真空管31、32上分别设置有切换阀6 ；两个夹持头I之间的距离略大于硅片的直径；两根真空管31、32共同设置于一滑轮7上，滑轮7通过滑轮支架8实现支撑；滑轮7用于带动两根真空管31、32自由移动；夹持头I的吸着面为圆形，圆形的吸着面更各易吸住翅曲娃片。本实用新型的工作原理如下当遇到正常的硅片时，两边的真空都打开，正常工作；当遇到有翘曲的硅片时，通过真空管31、32上的切换阀6将一边的真空关掉，从而能够保证一边的真空可以吸住硅片，实现翘曲硅片的传送。
权利要求1.一种能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，其特征在于包括左右两个夹持头，夹持头相对侧的吸着面分别设置有真空吸着点，真空吸着点连接真空槽；两个真空槽分别连通一真空管，两根真空管通过三通阀连通真空总管；每根真空管上分别设置有切换阀。
2.根据权利要求I所述的能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，其特征在于所述夹持头的吸着面为圆形。
3.根据权利要求I或2所述的能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，其特征在于所述两个夹持头之间的距离略大于硅片的直径。
4.根据权利要求I所述的能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，其特征在于所述两根真空管共同设置于一滑轮上，滑轮通过滑轮支架实现支撑。
5.根据权利要求I所述的能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，其特征在于所述两个夹持头固定设置于夹持座上；所述真空槽设置于夹持座内。
专利摘要本实用新型公开了一种能够传送翘曲硅片的硅片传送装置，包括左右两个夹持头，夹持头相对侧的吸着面分别设置有真空吸着点，真空吸着点连接真空槽；两个真空槽分别连通一真空管，两根真空管通过三通阀连通真空总管；每根真空管上分别设置有切换阀。本实用新型通过两路相互独立的真空管，分别控制左右两边的真空吸着点的气路压力，并通过各自的阀进行切换。本实用新型能够在不影响硅片的传送精度的情况下，将曲率半径<30米的翘曲硅片顺利传送至工作台。
文档编号H01L21/677GK202662582SQ20122020044
公开日2013年1月9日 申请日期2012年5月7日 优先权日2012年5月7日
发明者乔俊, 陈巍, 吴长明 申请人:上海华虹Nec电子有限公司