层叠型压电元件的制作方法
【专利摘要】本发明以能够切实地实现抑制由于热电效应引起的特性劣化为目的，提供一种层叠型压电元件，具备：元件主体，配备有具有第1内部电极和第2内部电极在层叠方向上夹持压电体层并相对的压电活性区域、压电体层只在层叠方向的一方与第1内部电极或者第2内部电极相接触，或者，第1内部电极彼此或第2内部电极彼此在层叠方向上夹持压电体层并进行相对的压电非活性区域的两电极露出面；绝缘层，覆盖两电极露出面上的压电活性区域；电阻层，由绝缘层而相对于压电活性区域进行隔离，且以连接压电非活性区域中的至少一部分的第1内部电极、压电非活性区域中的至少一部分的第2内部电极的形式被配置于两电极露出面上，且电阻值低于压电体层。
【专利说明】层叠型压电元件【技术领域】
[0001]本发明涉及层叠型压电元件。特别是涉及能够防止起因于热电效应(Pyroelectric effect)的特性劣化的层叠型压电元件。
【背景技术】
[0002]压电元件是一种利用压电效应以及逆压电效应并对机械性的位移和电气性的位移实施相互变换的元件。像这样的压电元件例如是通过在成形?烧成压电陶瓷并获得元件主体之后,将电极形成于该主体并进一步施以极化处理来进行制造的。
[0003] 因为由压电元件而获得的机械性的位移比较微小，所以压电元件例如作为要求精密而且正确的控制的驱动器(actuator)而优选被使用。更为具体的用途可以列举透镜驱动用、HDD的头部驱动用、喷墨打印机的头部驱动用、燃料喷射阀驱动用等。
[0004]像这样的压电元件例如在被用于便携式电子机器的情况下，由于周围环境的变化而变得要遭受温度变化的影响。
[0005]在设想遭受像这样的温度变化的情况下，在压电元件上会产生由于热电效应而引起的极化率劣化的问题。特别是在温度降低的过程中因为在压电元件上由因热电效应产生的电荷而被施加了与极化处理时相反向的电压，所以在该电压为过大的情况下恐怕会使压电元件的极化率降低。以以上所述形式降低的极化率因为基本上不能够指望在温度再次上升的过程中得到恢复，所以极化率每当温度变化发生重复就渐渐降低并且会有所谓变得最终不能够得到所希望的位移的那样的引起压电元件特性劣化的问题。
[0006]为了解决如此问题而在专利文献I (日本国际公开第2007/052599号)记载有在层叠型压电元件上用迁移(migration)防止用外装材料覆盖露出于其侧面的内部电极并进一步使导电性粒子分散于该外装材料的技术。
[0007]另外，在专利文献I中记载有由使导电性粒子分散的外装材料而能够抑制由于热电效应而引起的极化率降低。
【发明内容】
[0008]然而，在含有导电粒子的现有技术的外装材料中由导电性粒子的聚集等而形成有局部电阻值低的部分，因而会有所谓恐怕通过该部分而在内部电极之间发生短路的问题。特别是内部电极之间的距离(压电体层的厚度)变得越小则该问题变得越显著。
[0009]再有，在想由I个外装材料来达到迁移的防止和极化率降低的抑制的现有技术中因为要求外装材料实现以上所述的两个功能，所以其构成材料的选择和配比调整等是困难的并且会有所谓外装材料的电阻值调整困难的问题。
[0010]本发明就是借鉴了如以上所述那样的实际状况而做出的悉心研究，其目的在于提供一种能够确实实现抑制起因于热电效应的特性劣化而且容易实现压电体层的薄层化以及在生产性方面表现优异的层叠型压电元件。
[0011]为了达到上述目的，本发明所涉及的层叠型压电元件具备:元件主体，具有两电极露出面，其具有压电活性区域和压电非活性区域，所述压电活性区域是第I内部电极和第2内部电极在层叠方向上夹持压电体层并相对的区域；所述压电非活性区域是所述压电体层只在所述层叠方向的一方与所述第I内部电极或者所述第2内部电极相接触，或者，所述第I内部电极彼此或所述第2内部电极彼此在所述层叠方向上夹持所述压电体层并相对的区域；绝缘层，覆盖所述两电极露出面上的所述压电活性区域；电阻层，由所述绝缘层而相对于所述压电活性区域进行隔离，且以连接所述压电非活性区域中的至少一部分的所述第I内部电极、与所述压电非活性区域中的至少一部分的所述第2内部电极的形式配置于所述两电极露出面上，且电阻值低于所述压电体层；第I外部电极，相对于所述第I内部电极进行电连接；第2外部电极，相对于所述第2内部电极进行电连接。
[0012]本发明所涉及的层叠型压电元件通过用绝缘层覆盖两电极露出面上的压电活性区域从而就能够防止迁移(migration)，再有，通过由电阻层来连接露出于压电非活性区域的第I内部电极和第2内部电极从而就能够防止由于热电效应而引起的极化率降低。另外，因为电阻层由绝缘层而相对于压电活性区域被隔离，所以能够防止由于电阻层内的导电性粒子的不均匀程度而在内部电极之间发生短路。
[0013]因此，本发明所涉及的层叠型压电元件减小压电活性区域中的第I内部电极与第2内部电极的距离是可能的，并且对于小型化来说是有利的。另外，因为能够以一定程度较大地容许电阻层内的不均匀程度，所以制造容易。再有，电阻层因为只要在两电极露出面内连接第I内部电极和第2内部电极的话就够了，所以制作要比例如需要跨越元件主体部中的多个面来形成电阻层那样的样式来得容易。还有，因为绝缘层只要能够进行迁移的防止就够了，所以本发明所涉及的层叠型压电元件能够确实地而且价廉地获得防止迁移的效果O
[0014]另外，例如所述元件主体也可以具有在垂直于所述层叠方向的方向上夹持所述两电极露出面并朝着互相相反方向的第I面和第2面，也可以在所述第I面上配置所述第I外部电极，且也可以在所述第2面上配置所述第2外部电极。
[0015]夹持两电极露出面并在两侧的面上分别配置第I外部电极和第2外部电极的层叠型压电元件能够使层叠图案单纯化，并且制造容易。
[0016]另外，例如所述电阻层也可以连接于所述第I外部电极以及所述第2外部电极。
[0017]电阻层通过不仅仅连接两电极露出面上的第I内部电极和第2内部电极并且还连接于第I外部电极以及第2外部电极，从而就能够更加确实地防止由于热电效应而引起的极化率降低。
[0018]另外，例如所述绝缘层也可以具有覆盖所述压电非活性区域的扩张部，在所述扩张部上也可以形成有用于使所述压电非活性区域中的所述第I内部电极以及所述第2内部电极的至少一部分露出的缺口。
[0019]绝缘层只要除去电阻层被配置的位置，也可以覆盖压电非活性区域，通过由绝缘层来覆盖压电非活性区域，从而保护第I内部电极以及第2内部电极。
[0020]另外，例如所述电阻层也可以被配置于所述两电极露出面上的所述层叠方向上的中央部。
[0021]电阻层的形状并没有特别的限定，例如如果被配置于层叠方向的中央部，则在安装层叠型压电元件的时候能够回避被配置于层叠型压电元件两端部附近的其他部件与电阻层发生接触。
[0022]另外，例如所述电阻层也可以以在所述两电极露出面上在所述层叠方向上夹持所述绝缘层的至少一部分的形式分割成2处以上而配置。
[0023]电阻层也可分割成2处以上来进行配置，例如通过分割配置于层叠型压电元件的两端部附近，从而能够在安装层叠型压电元件的时候回避被配置于层叠型压电元件中央部附近的其他部件与电阻层发生接触。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1是表示本发明的第I实施方式所涉及的层叠型压电元件的概略立体图，特别是强调表示电阻层的示意图。
[0025]图2是表示本发明的第I实施方式所涉及的层叠型压电元件的概略立体图，特别是强调表示绝缘层的示意图。
[0026]图3是沿着图1中的II1-1II线进行切断的概略截面图。
[0027]图4是沿着图1中的IV-1V线进行切断的概略截面图。
[0028]图5沿着图1中的V-V线进行切断的概略截面图。
[0029]图6是表示两电极露出面上的压电活性部和压电非活性部的平面图。
[0030]图7是表示本发明的第2实施方式所涉及的层叠型压电元件的概略立体图，特别是强调表示电阻层的示意图。
[0031]图8是表示本发明的第2实施方式所涉及的层叠型压电元件的概略立体图，特别是强调表示绝缘层的示意图。
[0032]图9是表示本发明的第3实施方式所涉及的层叠型压电元件的绝缘层以及电阻层的形状的平面图。
[0033]图10是说明压电体层以及电阻层的电阻值的概念性的电路图。
[0034]图11是表示第I实施方式的变形例所涉及的层叠型压电元件的概略立体图。
【具体实施方式】
[0035]以下是根据附图来说明本发明的实施方式。
[0036]第I实施方式
[0037]如图1所示，第I实施方式所涉及的层叠型压电元件10为大致长方体形状，并具有元件主体11、第I外部电极15、第2外部电极16、绝缘层17、电阻层18。元件主体11具有稍小于层叠型压电元件10的大致长方体形状，第I外部电极15、第2外部电极16、绝缘层17以及电阻层18被形成于元件主体11的第I侧面Ila?第4侧面lid。
[0038]元件主体11具有压电体层12、第I内部电极13、第2内部电极14沿着层叠方向Z被层叠的内部构造。如图3以及图4所示，在元件主体11的中央部，第I内部电极13和第2内部电极14夹持压电体层12并作交替层叠。第I内部电极13和第2内部电极14沿着垂直于层叠方向Z的方向互相大致平行地进行延伸，但是如图3所示第I内部电极13在元件主体11的第2侧面Ilb跟前中断，第2内部电极14在朝着与第2侧面Ilb相反方向的第I侧面Ila跟前中断。
[0039]如图3所示，在第2内部电极14不露出而只有第I内部电极13露出的第I侧面Ila上配置第I外部电极15。第I外部电极15与第I内部电极13被施以电气性的并且物理性的连接，第I外部电极15和第I内部电极13因为都是由导电材料所构成，所以基本上成为大致相同的电位。
[0040]相对于此，在第I内部电极13不露出而只有第2内部电极14露出的第2侧面Ilb上配置第2外部电极16。第2外部电极16与第2内部电极14被施以电气性的并且物理性的连接，第2外部电极16和第2内部电极14因为都是由导电材料所构成，所以基本上成为大致相同的电位。
[0041]作为构成第I内部电极13以及第2内部电极14的导电材料例如可以列举Ag、Pd、Au、Pt等贵金属以及这些贵金属的合金(Ag-Pd等)、或者Cu、Ni等贱金属以及这些贱金属的合金等，但是并没有特别的限定。构成第I外部电极15以及第2外部电极16的导电材料也没有特别的限定，能够使用与构成内部电极的导电材料相同的材料。再有，在第I外部电极15以及第2外部电极16的外侧也可以形成有上述各种各样金属的电镀层或溅射层。
[0042]如图3所示，在元件主体11的中央部形成有第I内部电极13和第2内部电极14夹持压电体层12并进行相对的压电活性部19a。在压电活性部19a的压电体层12上通过互相极性不同的第I内部电极13和第2内部电极14而被施加电压并且发生机械性的位移。
[0043]相对于此，压电非活性部19b被形成于压电活性部19a的周边。压电非活性部19b包括压电体层12只在层叠方向Z的一方与第I内部电极13或者与第2内部电极14相接触的部分、第I内部电极13彼此或者所述第2内部电极14彼此在层叠方向Z上夹持压电体层12并进行相对的部分。压电非活性部19b是一个不会由第I内部电极13和第2内部电极14来积极地施加电压的部分。
[0044]压电活性部19a上的压电体层12的厚度没有特别的限制，但是在本实施方式中优选为5?50 μ m左右。但是,在处于兀件主体11两端部的压电非活性部19b上压电体层12的厚度大于压电活性部19a上的厚度。另外，压电体层12的材质只要是能够显示压电效应或者逆压电效应的材料，则没有特别的限制，例如可以列举PbZrxIVx03、BaTiO3等。另外，也可以含有为了提高特性等的成分，其含量如果是对应于所希望的特性作适当决定即可。
[0045]如图1所示，在沿着层叠方向Z进行延伸的元件主体11的侧面中只有第I内部电极13露出于第I侧面Ila,只有第2内部电极14露出于第2侧面Ilb,但是第I内部电极13和第2内部电极14双方露出于连接第I侧面Ila和第2侧面Ilb的第3侧面Ilc以及第4侧面lld，并成为两电极露出面。
[0046]图6是表示元件主体11第3侧面Ilc的平面概念图。如图6所示，第3侧面Ilc具有压电活性区域20和压电非活性区域22。在图6中压电活性区域20相当于点划线框50的内侧并且由虚线表示。在压电活性区域20中第I内部电极13与第2内部电极14在层叠方向Z上夹持压电体层12并进行相对。压电活性区域20为由图3进行说明的压电活性部19a露出于第3侧面Ilc的部分，并且是通过第I内部电极13以及第2内部电极14施加电压从而产生机械性的位移的部分。
[0047]在图6中压电非活性区域22相当于点划线框50的外侧并且由实线表示。在压电非活性区域22中压电体层12只在层叠方向Z的一方与第I内部电极13或者第2内部电极14相接触，或者第I内部电极13彼此或所述第2内部电极14彼此在层叠方向Z上夹持压电体层12并进行相对。压电非活性区域22为由图3进行说明的压电非活性部19b露出于第3侧面Ilc的部分，并且是通过第I内部电极13以及第2内部电极14不积极施加电压的部分。还有，第4侧面Ild也具有压电活性区域和压电非活性区域，因为与图6所表示的第3侧面Ilc相同所以在此省略对其说明。
[0048]如图1以及图2所示，在第3侧面Ilc以及第4侧面Ild上配置有绝缘层17。在图2中用阴影强调表示层叠型压电元件10中的绝缘层17。绝缘层17覆盖第3侧面Ilc以及第4侧面Ild的压电活性区域20 (参照图6)。但是，绝缘层17在第3侧面Ilc中没有覆盖压电非活性区域22的至少一部分。
[0049]另外，如图2以及截面图的图4所示，绝缘层17从第3侧面Ilc以及第4侧面Ild的上端部连续到下端部，但是绝缘层17的形状并不限定于此，例如处于第3侧面Ilc以及第4侧面Ild上下端部附近的压电非活性区域22 (参照图6)也可以不被绝缘层覆盖。
[0050]绝缘层17的材质只要是绝缘性高、能够防止水分渗入并能够防止内部电极之间的迁移的材料，则没有特别的限制。作为具体的材料可以列举树脂以及玻璃等。另外，绝缘层17的电阻值只要能够确保绝缘性，则没有特别的限制，在本实施方式中优选为109Ω以上。绝缘层17的厚度没有特别的限制，例如可以是I?20 μ m的程度。
[0051]如图1所示，在元件主体11的第3侧面Ilc上除了绝缘层17之外还配置有电阻层18。在图1中用阴影强调表示层叠型压电元件10中的电阻层18。
[0052]如图1以及截面图的图4所示，电阻层18相对于第3侧面Ilc的压电活性区域20(参照图6)被绝缘层17隔开。另外，如图1以及截面图的图5所示，电阻层18与第3侧面Ilc的压电非活性区域22 (参照图6)中的至少一部分第I内部电极13以及压电非活性区域22中的至少一部分第2内部电极14相接触。因此，如图1所示电阻层18电气性地并且物理性地连接第I内部电极13以及第2内部电极14。
[0053]电阻层18具有沿着垂直于层叠方向Z的方向进行延伸的带状形状，电阻层18的形状并不限定于这个带状形状。另外，如图5以及图6所示，在层叠型压电元件10中电阻层18只配置于第3侧面11c，但是电阻层18也可以被配置于第4侧面lld，另外，也可以被配置于第3侧面Ilc和第4侧面Ild的双方。
[0054]层叠型压电元件10的电阻层18其电阻值低于压电体层12。如图10所示，层叠型压电元件10的2个极性的电极可以被认为电气性地被由压电体层12进行构成的电阻Rl和由电阻层18进行构成的电阻R2并联连接。对应于电阻层18的电阻R2的电阻值低于对应于压电体层12的电阻Rl的电阻值，例如在压电体层12 (电阻Rl)的电阻值(Ω )为IO9数量级的情况下可以将电阻层18 (电阻R2)的电阻值(Ω )设定为IO6数量级。
[0055]电阻层18的电阻值只要是对应于压电体层12 (电阻Rl)来作适当设定的话即可，为恰当地使由于热电效应而产生的电荷移动而优选例如压电体层12 (电阻Rl)的电阻值的一百分之一以下。另外，电阻层18的电阻值下限值并没有特别的限定，但是以压电活性部19a发生所希望的机械性位移的形式优选为至少104Ω左右。在此，电阻层18的电阻值可以由电阻层18的电阻率、电阻层18的厚度或者电阻层18的层数、电阻层18的平面形状等来进行调整。还有，电阻层18的厚度并没有特别的限制，例如可以是I?20μπι左右。
[0056]电阻层18的材质如果是能够获得低于压电体层12的电阻值并且电阻R2能够达到恰当地使由于热电效应而产生的电荷放电的功能，则没有特别的限制。作为具体的材料可以列举具有规定电阻值的树脂、含有碳等导电性粒子的绝缘性树脂、金属氧化物等。另外，使导电性粒子等包含于压电体层12的材料中并且使电阻率低于压电体层12的材料也优选作为电阻层18的材质。还有，电阻层18的电阻值优选低于防止迁移的绝缘层17的电阻值。
[0057]层叠型压电元件10的制造方法并没有特别的限定，但是层叠型压电元件10能够用例如以下所述那样的方法进行制造。
[0058]首先，制造在烧成后成为元件主体11的层叠体。在层叠体的制造工序中，准备在烧成后成为压电体层12的坯料薄片、在烧成后成为第I内部电极13的内部电极膏体膜被形成的坯料薄片、在烧成后成为第2内部电极14的内部电极膏体膜被形成的坯料薄片。
[0059]内部电极膏体膜被印刷之前的坯料薄片和成为压电体层12的坯料薄片，是由例如以下所述那样的方法进行制造的。首先，在用湿式混合等手段来均匀地混合构成压电体层12的原材料之后并使其干燥。接着，在被恰当选定的烧成条件下进行预烧成，对预烧成粉进行湿式粉碎。于是，将粘合剂加入到被粉碎了的预烧成粉末中并使之浆料化。接着，用刮刀法或者丝网印刷法等手段使浆料薄片化，之后使其干燥而获得坯料薄片。还有，在构成压电体层12的原材料中也可以含有不可避免的杂质。
[0060]接着，通过运用印刷法等手段来将含有导电材料的内部电极用膏体涂布于坯料薄片上，从而获得形成有规定图案的内部电极膏体膜的坯料薄片。
[0061]接着，按规定顺序对准备好的各个坯料薄片实施层叠。即，在成为元件主体11中央部的部分交替层叠在烧成后成为第I内部电极13的内部电极膏体膜被形成的坯料薄片、在烧成后成为第2内部电极14的内部电极膏体膜被形成的坯料薄片。另外，在烧成后成为元件主体11的两端部的部分上只层叠烧成后成为压电体层12的坯料薄片。
[0062]再有，在层叠之后增加压力来进行压合并在经过干燥工序等必要工序之后也就是在烧成之后获得成为元件主体11的层叠体。接着，在以规定条件烧成所获得的层叠体从而获得烧结体之后，在相当于烧结体上的第I侧面Ila以及第2侧面Ilb的部分形成第I外部电极15以及第2外部电极16，将直流电压施加于该电极并实行压电体层12的极化处理。由此，外部电极15、16被形成于第I侧面Ila以及第2侧面11b，并且获得第3侧面Ilc以及第4侧面Ild露出的状态的元件主体11 (参照图1)。
[0063]还有，在层叠体烧成之前或者之后实行切断成如图1所表示那样的单片的工序。另外，优选对所获得的元件主体11实行滚筒研磨，将元件主体11的角部以及棱线部加工成圆弧面。
[0064]接着，将绝缘性树脂涂布于元件主体11的第3侧面Ilc以及第4侧面Ild从而形成如图3所表示那样的绝缘层17，并覆盖压电活性区域20。最后将电阻层18形成于形成有绝缘层17的第3侧面11c。电阻层18是通过涂布含有导电性粒子的绝缘性树脂来进行形成的。还有，绝缘层17以及电阻层18也可以由绝缘膜或者电阻膜的贴敷和溅射等薄膜形成法来进行形成。经过像这样的工序从而制造出如图1所表示那样的层叠型压电元件10。
[0065]图1以及图2等所表示的层叠型压电元件10其主要特性为两电极露出面的第3侧面Ilc上的压电活性区域20被绝缘层17覆盖而防止了迁移，再有，由电阻层18连接露出于压电非活性区域22的第I内部电极13和第2内部电极14从而就能够防止由于热电效应引起的极化率的降低。另外，电阻层18因为由绝缘层17相对于压电活性区域20而被隔开，所以能够防止由于电阻层18内的电阻率等不均匀而在内部电极之间发生短路。[0066]另外，层叠型压电元件10因为电阻层18不接触于压电活性区域20，所以缩小压电活性区域20中的第I内部电极13与第2内部电极14的距离是可能的，因而对于压电体层12的薄层化以及层叠型压电元件10的小型化将是有利的。另外，在能够允许电阻层18内的电阻率不均匀性的范围较为宽广的这一点上也显示出制造容易。
[0067]再有，电阻层18只要是接触露出于第3侧面Ilc内的压电非活性区域22的第I内部电极13和第2内部电极14就足够了。因此，层叠型压电元件10因为不用去担心在元件主体11的棱线部等中电阻层18的厚度变得太薄或电阻层18被中断，所以制造要比例如形成跨越元件主体11上的多个面的电阻层的形态来得容易。另外，因为能够形成多个电阻层18与第I内部电极13以及第2内部电极14的连接位置，所以电阻层18能够切实地连接第I内部电极13和第2内部电极14并且能够切实地取得防止极化率降低的效果。
[0068]还有，绝缘层17因为如果能够取得防止迁移的效果的话就足够了，所以没有必要去持有不完整的导电性。因此，层叠型压电元件10能够确实并且廉价地取得防止迁移的效果O
[0069]图11是表示第I实施方式的变形例所涉及的层叠型压电元件IOa的概略图。如图11所示层叠型压电元件IOa的电阻层18a也可以拐弯绕到形成有第I外部电极15和第2外部电极16的侧面并连接于第I外部电极15以及第2外部电极16。绝缘层17a不是连续到层叠方向的上下面而是从层叠方向的上下面空开间隙w来进行配置。如在图6中所说明的那样因为形成有间隙w的区域是压电非活性区域22，所以从防止迁移的观点出发即使这样配置绝缘层17a也不会有问题。另外，因为能够防止由于制造时的不均匀性等而使得绝缘层17a突出于层叠型压电元件IOa的上下面而在将其他构件安装于层叠型压电元件IOa的上下面的时候成为阻碍的情况，所以层叠型压电元件IOa相对于上下面能够恰好固定其他构件。
[0070]第2实施方式
[0071]图7以及图8是表示本发明的第2实施方式所涉及的层叠型压电元件30的概略立体图，相当于层叠型压电元件10 (第I实施方式)的图1以及图2。图7以及图8所表示的层叠型压电元件30因为除了绝缘层37以及电阻层38的形状与第I实施方式有所不同之外其余均与层叠型压电元件10相同，所以关于重复的部分在此省略对其说明。
[0072]如图8所示，层叠型压电元件10的绝缘层37具有不仅仅覆盖第3侧面Ilc上的压电活性区域20而且还覆盖压电非活性区域22 (参照图6)的一部分的扩张部37a。在扩张部37a上形成有为了露出压电非活性区域22中的第I内部电极13以及第2内部电极14的至少一部分的缺口 37b。缺口 37b如果是电阻层38能够连接于第I内部电极13以及第2内部电极14的形状的话则没有特别的限定，例如贯通孔也包括在这种情况下的缺口 37b中。
[0073]如图7所示，电阻层38通过被形成于绝缘层37的2个缺口 37b来连接露出于第3侧面Ilc的第I内部电极13和第2内部电极14。另外，电阻层38是以也拐弯绕到形成有第I外部电极15的第I侧面Ila以及形成有第2外部电极16的第2侧面Ilb的形式连接于第I外部电极15以及第2外部电极16。
[0074]层叠型压电元件30能够取得与图1所表示的层叠型压电元件10相同的效果。另外，层叠型压电元件30通过不仅仅连接两电极露出面的第3侧面Ilc上的第I内部电极13和第2内部电极14而且还连接于第I外部电极15以及第2外部电极16，从而就能够切实地连接两极之间并抑制制造所产生的特性不一致性。另外，覆盖压电非活性区域22的扩张部37a能够防止第I内部电极13以及第2内部电极14露出到层叠型压电元件30表面并且能够保护第I内部电极13以及第2内部电极14。
[0075]第3实施方式
[0076]图9 (a)以及图9 (b)是表示本发明的第3实施方式所涉及的层叠型压电元件40的平面图，并且是从正面看到的元件主体11的第3侧面Ilc的图。在图9 (a)中由淡阴影来强调表示绝缘层47并省略了电阻层48的图示。层叠型压电元件40的绝缘层47与层叠型压电元件30的绝缘层37(参照图8)相同具有覆盖压电非活性区域22的扩张部47a。在扩张部47a的四个角上形成有缺口 47b。压电非活性区域22 (参照图6)中的第I内部电极13以及第2内部电极14的一部分由该缺口 47b而从绝缘层47露出。
[0077]图9 (b)是重叠于图9 Ca)图示电阻层48的示意图，电阻层48被深阴影强调表示。电阻层48通过被形成于绝缘层47的4个地方的缺口 47b连接露出于第3侧面Ilc的第I内部电极13和第2内部电极14。电阻层48是以在层叠方向Z上夹持绝缘层47至少一部分的形式分离成2个地方来进行配置的。
[0078]层叠型压电元件40除了绝缘层47以及电阻层48的形状和配置与第3实施方式有所不同之外其余均与第3实施方式所涉及的层叠型压电元件30相同，并能够取得与层叠型压电元件30相同的效果。
[0079]如在第I?第3实施方式中所说明的那样层叠型压电元件中的绝缘层以及电阻层的形状以及分割数等对应于被配置于层叠型压电元件周边的构件等作适当变更是可能的，像这样的变形例也包括在本发明的技术范围内。
【权利要求】
1.一种层叠型压电元件，其特征在于:具备:元件主体，具有两电极露出面，其具有压电活性区域和压电非活性区域，所述压电活性区域是第I内部电极和第2内部电极在层叠方向上夹持压电体层并相对的的区域；所述压电非活性区域是所述压电体层只在所述层叠方向的一方与所述第I内部电极或者所述第2内部电极相接触，或者，所述第I内部电极彼此或所述第2内部电极彼此在所述层叠方向上夹持所述压电体层并相对的区域；绝缘层，覆盖所述两电极露出面上的所述压电活性区域；电阻层，由所述绝缘层而相对于所述压电活性区域进行隔离，且以连接所述压电非活性区域中的至少一部分的所述第I内部电极、与所述压电非活性区域中的至少一部分的所述第2内部电极的形式配置于所述两电极露出面上，且电阻值低于所述压电体层；第I外部电极，相对于所述第I内部电极进行电连接；以及第2外部电极，相对于所述第2内部电极进行电连接。
2.如权利要求1所述的层叠型压电元件，其特征在于:所述电阻层连接于所述第I外部电极以及所述第2外部电极。
3.如权利要求1所述的层叠型压电元件，其特征在于:所述绝缘层具有覆盖所述压电非活性区域的扩张部，在所述扩张部上形成有用于使所述压电非活性区域中的所述 第I内部电极以及所述第2内部电极的至少一部分露出的缺□。
4.如权利要求1所述的层叠型压电元件，其特征在于:所述电阻层被配置于所述两电极露出面上的所述层叠方向上的中央部。
5.如权利要求1所述的层叠型压电元件，其特征在于:所述电阻层以在所述两电极露出面上在所述层叠方向上夹持所述绝缘层的至少一部分的形式分割成2处以上而配置。
6.一种层叠型压电元件，其特征在于:具备:元件主体，具有两电极露出面，其具有压电活性区域和压电非活性区域，所述压电活性区域是第I内部电极和第2内部电极在层叠方向上夹持压电体层并相对的区域；所述压电非活性区域是所述压电体层只在所述层叠方向的一方与所述第I内部电极或者所述第2内部电极相接触，或者，所述第I内部电极彼此或所述第2内部电极彼此在所述层叠方向上夹持所述压电体层并相对的区域；绝缘层，覆盖所述两电极露出面上的所述压电活性区域；电阻层，由所述绝缘层而相对于所述压电活性区域进行隔离，且以连接所述压电非活性区域中的至少一部分的所述第I内部电极、与所述压电非活性区域中的至少一部分的所述第2内部电极的形式配置于所述两电极露出面上，且电阻值低于所述压电体层；第I外部电极，相对于所述第I内部电极进行电连接；以及第2外部电极，相对于所述第2内部电极进行电连接，所述元件主体具有在正交于所述层叠方向的方向上夹持所述两电极露出面并朝着互相相反方向的第I面和第2面，在所述第I面上配置所述第I外部电极，在所述第2面上配置所述第2外部电极。
7.如权利要求6所述的层叠型压电元件，其特征在于:所述电阻层连接于所述第I外部电极以及所述第2外部电极。
8.如权利要求6所述的层叠型压电元件，其特征在于:所述绝缘层具有覆盖所述压电非活性区域的扩张部，在所述扩张部上形成有用于使所述压电非活性区域中的所述第I内部电极以及所述第2内部电极的至少一部分露出的缺□。
9.如权利要求6所述的层叠型压电元件，其特征在于:所述电阻层被配置于所述两电极露出面上的所述层叠方向上的中央部。
10.如权利要求6所述的层叠型压电元件，其特征在于:所述电阻层以在所述两电极露出面上在所述层叠方向上夹持所述绝缘层的至少一部分的形式分割成2处以上而配置 。
【文档编号】H01L41/053GK103515527SQ201310252995
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年6月24日 优先权日:2012年6月22日
【发明者】伊藤州儿, 小泽里志, 田村淳 申请人:Tdk株式会社