硅片的容载装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰的花篮，其特征在于：还包括花篮架，所述花篮架包括提手和具有用来容置花篮的框孔的框架，且提手与框架相连接，所述花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上。本实用新型具有结构简单，且易于石英管相分离，降低生产成本等优点。
【专利说明】硅片的容载装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型具体涉及一种硅片的容载装置。
【背景技术】
[0002]现有的硅片需要对其进行清洗、煮酸、镀镍等处理，而清洗，煮酸和镀镍处理都要使用到清洗液、酸液和镀镍液，操作人员将硅片直接放置在花篮内，然后手持花篮对硅片进行清洗、煮酸、镀镍等处理，由于是单个花篮操作，因而生产效率低，而且也不安全。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是:提供一种提高生产效率，且安全性高的用于工艺处理硅片的容载装置，以克服现有技术的不足。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型的技术方案:一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰的花篮，而其:还包括花篮架，所述花篮架包括提手和具有用来容置花篮的框孔的框架，且提手与框架相连接，所述花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上。
[0005]在上述技术方案中，所述框架有2个框孔，而其整体呈日字型结构。
[0006]在上述技术方案中，所述框架有4个框孔，而其整体呈田字型结构。
[0007]在上述技术方案中，所述花篮有若干个液体进出通孔。
[0008]本实用新型所具有的积极效果是:由于采用上述容载装置后，使用时，将多个装有硅片的花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上，在对硅片进行清洗、煮酸和镀镍处理时，只需操作人员手持花篮架的提手，而花篮架上的花篮浸在液体中即可，这样可以同时对多个花篮实施工艺操作，而且不易发生摔破花篮，造成破片的事故，不仅提高了生产效率，而且可靠性高，保证了生产安全。实现了本实用新型的目的。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型第一种【具体实施方式】的结构示意图；
[0010]图2是图1的左视图；
[0011]图3是图1不带花篮的仰视图；
[0012]图4是本实用新型第二种【具体实施方式】的结构示意图；
[0013]图5是图4的左视图；
[0014]图6是图4不带花篮的仰视图。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图以及给出的实施例，对本实用新型作进一步的说明，但并不局限于此。
[0016]实施例1
[0017]如图1、2、3所示，一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰1-1的花篮1，而其:还包括花篮架2，所述花篮架2包括提手2-1和具有用来容置花篮I的框孔2-3的框架2-2，且提手2-1与框架2-2相连接，所述花篮I配装在框孔2-3内且通过其法兰1-1扣挂在框架2-2上。
[0018]如图3所示，实施例1所述框架2-2有2个框孔2_3，而其整体呈日字型结构。所述框架2-2可承载两个花篮I。
[0019]如图2所示，为了满足工艺处理的需要，防止花篮I中留有清洗液、酸液或者是镀镍液，所述花篮I有若干个液体进出通孔1-2。
[0020]实施例2
[0021]如图4、5、6所示，一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰1-1的花篮1，而其:还包括花篮架2，所述花篮架2包括提手2-1和具有用来容置花篮I的框孔2-3的框架2-2，且提手2-1与框架2-2相连接，所述花篮I配装在框孔2-3内且通过其法兰1-1扣挂在框架2-2上。
[0022]如图6所示，实施例2中所述框架2-2有4个框孔2_3，而其整体呈田字型结构。所述框架2-2可承载四个花篮I。
[0023]如图5所示，所述花篮I有若干个液体进出通孔1-2。
[0024]本实用新型小试效果显示，使用时，将多个装有硅片的花篮I配装在框孔2-3内且通过其法兰1-1扣挂在框架2-2上，在对硅片进行清洗、煮酸和镀镍处理时，只需操作人员手持花篮架2的提手2-1，而花篮架2上的花篮I浸在液体中即可，这样可以同时对多个花篮实施工艺操作，而且不易发生摔破花篮，造成破片的事故，不仅提高了生产效率，而且可靠性高，保证了生产安全。其使用效果是十分满意的。
【权利要求】
1.一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰(1-1)的花篮(1)，其特征在于:还包括花篮架(2 )，所述花篮架(2 )包括提手(2-1)和具有用来容置花篮(I)的框孔(2-3 )的框架(2-2),且提手(2-1)与框架(2-2)相连接，所述花篮(I)配装在框孔(2-3)内且通过其法兰(1-1)扣挂在框架(2-2)上。
2.根据权利要求1所述的硅片的容载装置，其特征在于:所述框架(2-2)有2个框孔(2-3),而其整体呈日字型结构。
3.根据权利要求1所述的硅片的容载装置，其特征在于:所述框架(2-2)有4个框孔(2-3)，而其整体呈田字型结构。
4.根据权利要求1所述的硅片的容载装置，其特征在于:所述花篮(I)有若干个液体进出通孔(1-2)。
【文档编号】H01L21/673GK203521386SQ201320605131
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年9月29日 优先权日:2013年9月29日
【发明者】明建华 申请人:常州银河电器有限公司