改进的基板烘烤设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种改进的基板烘烤设备，所述基板烘烤设备包括平台、热气产生装置和气体回收装置，所述平台贯穿设置有多个第一排气孔和多个第一吸气孔，所述第一排气孔连接热气产生装置，所述第一吸气孔连接气体回收装置。所述基板烘烤设备还包括加热板，所述加热板设置于平台上方，所述加热板的表面贯穿设有多个第二排气孔和多个第二吸气孔。本实用新型利用气体的流动性，提高在加热环节中对基板加热的均匀性的控制，避免静电释放的产生，改善基板背面受热不均的现象，并且可以保证玻璃基板在平台上的稳定性，改善只有排气造成的玻璃基板不稳定的现象。本实用新型还设计有气体回收装置，可以回收废气，避免环境污染。
【专利说明】改进的基板烘烤设备
【技术领域】
[0001]本实用新型属于平板显示烘烤工艺领域，具体涉及一种改进的基板烘烤设备。
【背景技术】
[0002]平板显示行业包括薄膜晶体管的生产制造过程中的加热制程，该加热制程的处理环节是为对薄膜材料进行处理或减少光阻中的溶剂成分、增加光阻的粘附性，该过程的加热温度均匀性对生产合格率、生产品质有着至关重要的作用。
[0003]现有加热制程中存在着以下几个问题:一、温度均匀性对基板的性能有着重要的意义，不均匀会造成严重的后果，造成产品的不合格、报废；二、尘埃、颗粒(Particle)造成基板不合格，在传统的方法中，基板背面的尘埃、颗粒(Particle)会造成基板的受热不均，产生产品点状、片状的明暗不匀等现象，从而导致品质的下降；三、加热的过程和上料下料的过程避免使用支撑针(Pin)、滚筒(Roller)等，可以避免产生Mura;四、由于采用接触的方式，容易产生静电释放(ESD)的现象。
实用新型内容
[0004]本实用新型提供一种改进的基板烘烤设备，温度均匀性较好，品质较高，能够避免静电释放的产生，并能够回收废气，避免环境污染。
[0005]本实用新型提供一种改进的基板烘烤设备，所述基板烘烤设备包括平台、热气产生装置和气体回收装置，所述平台贯穿设置有多个第一排气孔和多个第一吸气孔，所述第一排气孔连接所述热气产生装置，所述第一吸气孔连接所述气体回收装置。
[0006]进一步地，所述多个第一排气孔和所述多个第一吸气孔在平台表面均匀分布，且第一排气孔与第一吸气孔相互间隔设置。
[0007]进一步地，所述基板烘烤设备还包括供气管和吸气管，所述多个第一排气孔通过所述供气管连接所述热气产生装置，所述多个第一吸气孔通过所述吸气管连接所述气体回收装置。
[0008]进一步地，所述基板烘烤设备还包括转换管，所述气体回收装置通过所述转换管连接所述热气产生装置。
[0009]进一步地，所述第一排气孔和所述第一吸气孔的孔径均为0.1 mm?10mm。
[0010]进一步地，所述第一排气孔和所述第一吸气孔的孔径均为0.5 mm?1_。
[0011]进一步地，所述基板烘烤设备还包括加热板，所述加热板设置于平台上方，所述加热板的表面贯穿设置有多个第二排气孔和多个第二吸气孔。
[0012]进一步地，所述多个第二吸气孔分别与所述多个第一吸气孔相对应连通，所述多个第二排气孔分别与所述多个第一排气孔相对应连通。
[0013]本实用新型具有的优点在于:
[0014]本实用新型提供的改进的基板烘烤设备，设置有平台、热气产生装置和气体回收装置，且平台均匀分布有多个第一排气孔和所述多个第一吸气孔，利用气体的流动性，提高在加热环节中对基板加热的均匀性的控制，避免支撑针、滚筒带来的明暗不匀的问题出现，避免静电释放的产生，改善基板背面受热不均的现象，并且可以保证玻璃基板在平台上的稳定性，改善只有排气造成的玻璃基板不稳定的现象。本实用新型还设计有气体回收装置，可以回收废气，避免环境污染。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1:本实用新型提供的改进的基板烘烤设备的侧视剖面图；
[0016]图2:本实用新型提供的改进的基板烘烤设备的俯视图；
[0017]图3:本实用新型提供的另一种基板烘烤设备的侧视剖面图。。
[0018]图中:1_基板；2-平台；3_第一排气孔；4-第一吸气孔；5-加热板。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
[0020]本实用新型提供一种改进的基板烘烤设备，利用气浮式加热的原理进行基板I加热，同时也可以结合热辐射式加热方式共同加热。
[0021]所述改进的基板烘烤设备的具体结构为:包括平台2、热气产生装置和气体回收装置，在烘烤设备的平台2设计高密度贯穿分布有多个第一排气孔3及第一吸气孔4，如图1和图2所示，其中所有的第一排气孔3连通热气产生装置，所有的第一吸气孔4均连通气体回收装置。
[0022]进一步地，所述多个第一排气孔3和所述多个第一吸气孔4在平台表面均匀分布，且，第一排气孔3与第一吸气孔4间隔设置。即每个第一排气孔3总要相邻搭配一个吸气孔4对应进行吸气，以保证整个气体浮力的均衡以及加热的均匀性。均匀分布可以纵向、横向均匀分布。该热气产生装置生成热风并通过多个第一排气孔3排出于平台2外部，并通过间隔设置的第一吸气孔4吸气回流，形成气流回路，使基板I悬浮于平台2上方，吸气孔4不停的进行吸气，通过气体回收装置收集废气，经过引导、过滤、测温、加热等步骤之后可以重新通过转换管连通气体产生装置，从第一排气孔3中排出，这样可以减少对动力费用，避免环境污染。
[0023]所述热气产生装置可以产生压缩空气或氮气。所述第一排气孔3均匀向上的排气，第一吸气孔4均匀向下的吸气，可以使基板I稳定的悬浮于平台2上方。调整高温气体的温度和流量压力可以将基板I与加热平台2保持在一个稳定的高度位置进行加热，减少了支撑针(Pin)的使用数量和烘烤时间，也可以完全取替支撑针的使用，并且可利用气体的流动性，提高在加热环节中对基板I加热的均匀性的控制。
[0024]进一步地，所述基板烘烤设备还包括供气管和吸气管，所述多个第一排气孔通过所述供气管连接所述热气产生装置，所述多个第一吸气孔通过所述吸气管连接所述气体回收装置。
[0025]进一步地，所述基板烘烤设备还包括转换管，所述气体回收装置通过所述转换管连接所述热气产生装置。
[0026]进一步地，所述第一排气孔3的孔径可以具体根据吹浮产品的具体情况进行选择，所述第一排气孔3和所述第一吸气孔4的孔径均为0.1 mm?IOmm,可进一步优选为0.5mm?1mm。相邻的第一排气孔3与第一吸气孔4之间的孔间距也可以依据实际需要而定，如Icm左右。
[0027]进一步地,所述第一排气孔3和所述第一吸气孔4的孔径均为0.5 mm?1mm。
[0028]进一步地，本实用新型提供的基板烘烤设备还可以配合加热板5的使用，加热板5采用电阻加热的方式，进而形成热辐射的加热方式。如图3所示，所述加热板5设置于平台2上方，对应平台2表面的第一排气孔3与第一吸气孔4而同样设置相同的孔结构，即所述加热板5的表面具有与平台2表面孔结构分布贯穿设置有多个第二排气孔和多个第二吸气孔，进而除了使热气体通过形成气体浮力支撑与加热以外，还可以通过加热板5的热辐射进行加热，可以使加热更快，并节约加热气体的用量。
[0029]进一步地，所述多个第二吸气孔分别与所述多个第一吸气孔相对应连通，所述多个第二排气孔分别与所述多个第一排气孔相对应连通。
[0030]本实用新型提供的改进的基板烘烤设备，利用气体的流动性，提高在加热环节中对基板I加热的均匀性的控制，避免支撑针、滚筒带来的明暗不匀的问题出现，避免静电释放的产生，改善基板I背面受热不均的现象，并且可以保证玻璃基板I在平台2上的稳定性，改善只有排气造成的基板I不稳定的现象。本实用新型还设计有气体回收装置，可以回收废弃避免产生环境污染。
[0031]以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本【技术领域】的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
【权利要求】
1.一种改进的基板烘烤设备，其特征在于，所述基板烘烤设备包括平台、热气产生装置和气体回收装置，所述平台贯穿设置有多个第一排气孔和多个第一吸气孔，所述第一排气孔连接所述热气产生装置，所述第一吸气孔连接所述气体回收装置。
2.根据权利要求1所述的改进的基板烘烤设备，其特征在于，所述多个第一排气孔和所述多个第一吸气孔在平台表面均匀分布，且第一排气孔与第一吸气孔相互间隔设置。
3.根据权利要求2所述的改进的基板烘烤设备，其特征在于，所述基板烘烤设备还包括供气管和吸气管，所述多个第一排气孔通过所述供气管连接所述热气产生装置，所述多个第一吸气孔通过所述吸气管连接所述气体回收装置。
4.根据权利要求3所述的改进的基板烘烤设备，其特征在于，所述基板烘烤设备还包括转换管，所述气体回收装置通过所述转换管连接所述热气产生装置。
5.根据权利要求4所述的改进的基板烘烤设备，其特征在于，所述第一排气孔和所述第一吸气孔的孔径均为0.1 mm?10mm。
6.根据权利要求5所述的改进的基板烘烤设备，其特征在于，所述第一排气孔和所述第一吸气孔的孔径均为0.5 mm?1mm。
7.根据权利要求1?6中任意一项所述的改进的基板烘烤设备，其特征在于，所述基板烘烤设备还包括加热板，所述加热板设置于平台上方，所述加热板的表面贯穿设置有多个第二排气孔和多个第二吸气孔。
8.根据权利要求7所述的改进的基板烘烤设备，其特征在于，所述多个第二吸气孔分别与所述多个第一吸气孔相对应连通，所述多个第二排气孔分别与所述多个第一排气孔相对应连通。
【文档编号】H01L21/67GK203644735SQ201320818257
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2013年12月13日 优先权日:2013年12月13日
【发明者】李勃 申请人:昆山国显光电有限公司