一种晶片支架的制作方法
【专利摘要】本实用新型实施例公开了一种晶片支架，通过使用与晶片底部曲面吻合的圆弧形曲面结构的主托盘支撑需要进行退火处理的晶片，解决了由于受力的接触面不均匀而导致晶片形变的技术问题。本实用新型实施例包括：辅助架，还包括：主托盘，安装在辅助架底部，主托盘为圆弧形曲面结构，其中，圆弧形曲面与晶片底部曲面吻合。
【专利说明】一种晶片支架
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及半导体制造【技术领域】，尤其涉及一种晶片支架。
【背景技术】
[0002] 随着科技地高速发展，半导体材料（semiconductor material)由于其独特的半导 体性能，即导电能力介于导体与绝缘体之间，已经成为制作半导体器件和集成电路的电子 材料的中坚力量，尤其很多半导体材料，例如砷化镓GaAs、锗Ge材料等，可以是通过高温等 处理技术生产出晶片状进行后续使用，在生产GaAs等晶片时，为了晶片能够获得更好的性 能，需要对晶片进行退火处理。
[0003] 目前的晶片退火技术，通常用石英制品，即石英舟，作为支架把晶片固定，进行退 火。目前使用的石英舟如图1所示，通过两根石英棒作为左右辅助托将晶片进行固定，底部 通过另外两根石英棒托住晶片底部使其垂直稳定在该石英舟上。
[0004] 然而，上述的通过底部使用两根石英棒对需要退火处理的晶片进行支撑时，容易 导致在高温状态下的晶片在两根石英棒的受力作用下，导致晶片与石英棒受力接触面或点 产生高温形变，造成石英片的缺陷，从而影响之后半导体制造。 实用新型内容
[0005] 本实用新型实施例公开了一种晶片支架，通过使用与晶片底部曲面吻合的圆弧形 曲面结构的主托盘支撑需要进行退火处理的晶片，解决了由于受力的接触面不均匀而导致 晶片形变的技术问题。
[0006] 本实用新型实施例提供了一种晶片支架，包括：
[0007] 辅助架，主托盘，安装在所述辅助架底部；
[0008] 所述主托盘为圆弧形曲面结构，其中，所述圆弧形曲面与晶片底部曲面吻合。
[0009] 可选地，
[0010] 所述主托盘为石英材质。
[0011] 可选地，
[0012] 所述辅助架包括底架和辅助托。
[0013] 可选地，
[0014] 所述底架开有用于嵌入所述主托盘的槽。
[0015] 可选地，
[0016] 所述辅助托为两个石英棒。
[0017] 可选地，
[0018] 两个所述石英棒分别位于所述底架上方的左端和右端。
[0019] 可选地，
[0020] 所述辅助架为石英材质。
[0021] 从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：
[0022] 本实用新型实施例提供了一种晶片支架，包括：辅助架，还包括：主托盘，安装在 辅助架底部，主托盘为圆弧形曲面结构，其中，圆弧形曲面与晶片底部曲面吻合。本实施例 中，通过使用与晶片底部曲面吻合的圆弧形曲面结构的主托盘支撑需要进行退火处理的晶 片，实现了在高温状态下的晶片置放于圆弧形曲面结构的主托盘上，避免了由于受力的接 触面不均匀而导致晶片形变的技术问题。
【专利附图】
【附图说明】
[0023] 为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前 提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0024] 图1为现有技术的石英舟的结构示意图；
[0025] 图2为本实用新型实施例中提供的一种晶片支架的结构示意图；
[0026] 图3为本实用新型实施例中提供的一种晶片支架的正视结构示意图；
[0027] 图4为将图1的石英舟和图2的晶片支架对比实验的一个应用例结构示意图；
[0028] 图示说明：1、辅助架；2、主托盘；3、底架；4、辅助托；5、晶片；41、石英棒。
【具体实施方式】
[0029] 本实用新型实施例公开了一种晶片支架，通过使用与晶片底部曲面吻合的圆弧形 曲面结构的主托盘支撑需要进行退火处理的晶片，解决了由于受力的接触面不均匀而导致 晶片形变的技术问题。
[0030] 请参阅图2和图3,本实用新型实施例中提供的一种晶片支架的一个实施例包括：
[0031] 辅助架1和主托盘2,该主托盘2安装在所述辅助架1底部；
[0032] 所述主托盘2为圆弧形曲面结构，其中，所述圆弧形曲面与晶片5底部曲面吻合。
[0033] 需要说明的是，前述的主托盘2为石英材质。
[0034] 如图2所示，辅助架1包括底架3和辅助托4,需要说明的是，所述底架3开有用于 嵌入所述主托盘2的槽，前述的辅助托4为两个石英棒41，该两个所述石英棒41分别位于 所述底架3上方的左端和右端。
[0035] 本实用新型实施例中提供的晶片支架还可以进一步包括：辅助架1为石英材质。
[0036] 为便于理解，以及证明本实用新型的可行性，下面以一对比设计实验对本实用新 型实施例中提供的一种晶片支架进行详细的说明，应用例包括：
[0037] 用图1所示的原设计石英舟2支，编号#1，#2,分别置放25片晶片，晶片号依次为 1?25和26?50,使用图2所示的本实用新型实施例提供的晶片支架2个，编号#3, #4 ; 分别置放25片晶片，晶片号依次为51-?75和76?100,将编号#1，#2的石英舟和编号 #3, #4晶片支架置放于石英管中，如图4所示，得到对比实验结果如下表：
[0038]
【权利要求】
1. 一种晶片支架，包括：辅助架（1)，其特征在于，还包括： 主托盘（2)，安装在所述辅助架（1)底部； 所述主托盘（2)为圆弧形曲面结构，其中，所述圆弧形曲面与晶片底部曲面吻合。
2. 根据权利要求1所述的晶片支架，其特征在于， 所述主托盘（2)为石英材质。
3. 根据权利要求1所述的晶片支架，其特征在于， 所述辅助架（1)包括底架（3)和辅助托（4)。
4. 根据权利要求3所述的晶片支架，其特征在于， 所述底架（3)开有用于嵌入所述主托盘（2)的槽。
5. 根据权利要求3中所述的晶片支架，其特征在于，所述辅助托（4)为两个石英棒 (41)。
6. 根据权利要求5中所述的晶片支架，其特征在于， 两个所述石英棒（41)分别位于所述底架（3)上方的左端和右端。
7. 根据权利要求1至6中任意一项所述的晶片支架，其特征在于， 所述辅助架（1)为石英材质。
【文档编号】H01L21/673GK203839355SQ201420187953
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年4月17日 优先权日:2014年4月17日
【发明者】朱刘, 刘留 申请人:广东先导半导体材料有限公司