技术总结
本发明公开一种离子植入机与控制离子植入机中的离子束的系统，包括检测器以沿着垂直于离子束的传播方向的第一方向，进行所述离子束的多个束电流量测。所述系统也包括分析组件与调整组件。所述分析组件用以基于所述多个束电流量测来判定束电流轮廓，所述束电流轮廓包括沿着所述第一方向的束电流的变化。当束电流轮廓指示束高度低于阀时，所述调整组件沿着所述第一方向调整所述离子束的高度。
技术研发人员：斯坦尼斯拉夫·S·托多罗夫;乔治·M·葛梅尔;理查·艾伦·斯普林克;诺曼·E·赫西;法兰克·辛克莱;常胜武;约瑟·C·欧尔森;大卫·罗杰·汀布莱克;库尔·T·岱可-路克
受保护的技术使用者：瓦里安半导体设备公司
文档号码：201480032406
技术研发日：2014.05.02
技术公布日：2017.03.22