粘晶装置的制作方法

技术特征：

1.一种粘晶装置，包括：

平台，相对于台座可沿第1方向移动地设置；以及

第1反作用构件及第2反作用构件，分别相对于所述台座可沿所述第1方向移动地设置；

所述第1反作用构件及所述第2反作用构件构成为在所述平台沿所述第1方向移动时，分别在所述第1方向上与所述平台反向地移动，

所述第1反作用构件及所述第2反作用构件以所述平台为间隔而分别配置于与所述第1方向正交的第2方向的两侧，并且

所述第1反作用构件及所述第2反作用构件以第1反作用构件及所述第2反作用构件的重心成为基于所述平台的重心的位置的方式配置。

2.根据权利要求1所述的粘晶装置，其中

所述平台、所述第1反作用构件、及所述第2反作用构件分别以所述平台、所述第1反作用构件、及所述第2反作用构件的重心成为基于所述台座的重心的位置的方式配置。

3.根据权利要求1或2所述的粘晶装置，其中

所述第1反作用构件及所述第2反作用构件的重心位置在所述第1方向、所述第2方向、及与所述第1方向及所述第2方向正交的第3方向上，与所述平台的重心位置一致。

4.根据权利要求1或2所述的粘晶装置，其中

还包括第1方向驱动部，所述第1方向驱动部包括线圈及磁铁，且在所述第1方向上分别驱动所述平台与所述第1反作用构件及所述第2反作用构件，并且

所述磁铁及所述线圈的其中一个设置于所述平台，

所述磁铁及所述线圈的另一个设置于所述第1反作用构件及所述第2反作用构件。

5.根据权利要求1所述的粘晶装置，其中

所述平台相对于所述台座可沿所述第2方向移动地设置。

6.根据权利要求5所述的粘晶装置，其中

所述平台构成为沿所述第1方向移动相对较长的距离，沿所述第2方向移动相对较短的距离。

7.根据权利要求5或6所述的粘晶装置，其中

所述平台构成为沿所述第1方向以相对较高的加速度移动，沿所述第2方向以相对较低的加速度移动。

8.根据权利要求1所述的粘晶装置，其中

在所述平台设置用于粘晶的粘晶头。