高频电压发生装置的制作方法

文档序号:12288680阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高频电压发生装置,其从直流电压生成高频电压并施加到负载,所述高频电压发生装置的特征在于,具备:

a)第1直流电压发生部,其生成第1直流电压;

b)第2直流电压发生部,其生成与所述第1直流电压不同的值的第2直流电压;

c)过渡交流电压发生部,其以该第1直流电压或者该第2直流电压作为初始值而激发过渡交流电压,该过渡交流电压的周期比所述高频电压的周期短,并且将所述第1直流电压和所述第2直流电压中的一方设为最大值,将另一方设为最小值;以及

d)施加电压切换部,其以如下方式切换对该负载的施加电压,即:在所述高频电压的一个周期期间,按所述第1直流电压、将该第1直流电压作为所述初始值的所述过渡交流电压、所述第2直流电压、将该第2直流电压作为所述初始值的所述过渡交流电压的顺序切换电压,使得该过渡交流电压的期间分别是该过渡交流电压的周期的1.5以上的半整数倍、并且比该高频电压的半周期短。

2.根据权利要求1所述的高频电压发生装置,其特征在于,

具备有效振幅变更部,该有效振幅变更部变更施加所述第1直流电压和所述第2直流电压的时间与施加所述过渡交流电压的时间之比。

3.根据权利要求1或者2所述的高频电压发生装置,其特征在于,

具备高频电压频率变更部,该高频电压频率变更部变更施加所述第1直流电压和所述第2直流电压的时间以及施加所述过渡交流电压的时间中的某一方或者双方。

4.根据权利要求1~3中的任一项所述的高频电压发生装置,其特征在于,

所述过渡交流电压发生部是将电感器与电容器串联连接而成的LC电路,具备对该LC电路进行开闭的LC电路开闭部以及对该电容器选择性地施加第1直流电压和第2直流电压的直流电压选择施加部。

5.根据权利要求4所述的高频电压发生装置,其特征在于,

所述电容器是离子导向器或者离子阱的负载。

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