电阻式随机存取存储器的制作方法

文档序号:11136754阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电阻式随机存取存储器,其特征在于,包括:

基板;

导电层,设置于所述基板上;

电阻转态层,设置于所述导电层上;

含铜氧化物层,设置于所述电阻转态层上;以及

电子供应层,设置于所述含铜氧化物层上。

2.根据权利要求1所述的电阻式随机存取存储器,其特征在于,所述导电层包括单层结构或多层结构。

3.根据权利要求1所述的电阻式随机存取存储器,其特征在于,所述导电层的厚度为1纳米至500纳米。

4.根据权利要求1所述的电阻式随机存取存储器,其特征在于,所述电阻转态层的厚度为1纳米至100纳米。

5.根据权利要求1所述的电阻式随机存取存储器,其特征在于,所述电阻转态层的沉积温度范围为100℃至500℃。

6.根据权利要求1所述的电阻式随机存取存储器,其特征在于,所述含铜氧化物层的材料包括氧化铜钛、氧化铜钽、氧化铜铝、氧化铜钴、氧化铜钨、氧化铜铱、氧化铜钌、氧化铜镍、氧化铜钼、氧化铜锆或铟锡氧化铜。

7.根据权利要求1所述的电阻式随机存取存储器,其特征在于,所述含铜氧化物层的厚度为1纳米至100纳米。

8.根据权利要求1所述的电阻式随机存取存储器,其特征在于,所述电子供应层的材料包括铜钛合金、氮化铜钛、铜铝合金、铜钨合金、铜铱合金、氧化铜铱、铜合钌金、铜钽合金、氮化铜钽、铜镍合金、铜钼合金、铜锆合金或铟锡氧化铜。

9.根据权利要求1所述的电阻式随机存取存储器,其特征在于,所述电子供应层的厚度为1纳米至1000纳米。

10.根据权利要求1所述的电阻式随机存取存储器,其特征在于,所述电阻式随机存取存储器还包括介电层,其中所述介电层设置于所述基板与所述导电层之间。

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