管口指标装置及基板处理装置的制作方法

本发明是有关一种指标装置，特别是一种管口指标装置及包含此指标装置的基板处理装置。

背景技术：

半导体制程中常需要蚀刻或清洗基板。为了精密控制制程的结果，蚀刻或清洗前需要事先模拟输送化学品的管路相对于基板的位置，或是校正管路相对于基板的位置。已知量测管路于基板的投影位置的方法是在管路的出口端设置一延伸圆棒。在模拟或校正时，借由延伸圆棒即可指出管路出口于基板上的投影位置。然而，延伸圆棒是具有实体的物件，导致操作者难以用笔在延伸圆棒所指出的位置上画上适当的标记。

有鉴于此，如何操作者能够轻易地在管路出口于基板上的投影位置画上标记便是目前极需努力的目标。

技术实现要素：

本发明提供一种管口指标装置及基板处理装置，其是在管路的一流体出口端设置一发光单元，并借由发光单元所产生的指示光指出管路于一基板的一投影位置。由于发光单元所产生的指示光不会占据实体空间，因此操作者可轻易地于指示光所指出的位置画上标记。

本发明一实施例的管口指标装置包含一本体以及一发光单元。本体的一端具有一连接部，用以使本体套接于一管路的一流体出口端。发光单元设置于本体内，用以产生一指示光，以指出管路的一流体出口或一中心于一基板的一投影位置。

本发明另一实施例的基板处理装置包含一平台、一管路以及一管口指标装置。平台用以承载一基板。管路设置于平台的上方，其中管路具有一流体出口， 用以输出一流体至基板，以蚀刻或清洗基板。管口指标装置包含一本体以及一发光单元。本体的一端具有一连接部，用以使本体套接于一管路的一流体出口端。发光单元设置于本体内，用以产生一指示光，以指出管路的一流体出口或一中心于一基板的一投影位置。

以下借由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。

【附图说明】

图1为一立体图，显示本发明一实施例的管口指标装置。

图2为一剖面图，显示本发明一实施例的管口指标装置沿图1所示的AA方向的剖面结构。

图3为一剖面图，显示本发明一实施例的管口指标装置沿图1所示的BB方向的剖面结构。

【符号说明】

10 管口指标装置

11 本体

111 连接部

111b 锥面

112 螺帽

12a、12b 发光单元

13 定位元件

131 凸柱

14 电池模块

15 开关元件

20 管路

21 流体出口

30 基板

31 投影位置

40 平台

41 旋转轴

【具体实施方式】

以下将详述本发明的各实施例，并配合图式作为例示。除了这些详细说明之外，本发明亦可广泛地施行于其它的实施例中，任何所述实施例的轻易替代、修改、等效变化都包含在本发明的范围内，并以申请专利范围为准。在说明书的描述中，为了使读者对本发明有较完整的了解，提供了许多特定细节；然而，本发明可能在省略部分或全部特定细节的前提下，仍可实施。此外，众所周知的步骤或元件并未描述于细节中，以避免对本发明形成不必要的限制。图式中相同或类似的元件将以相同或类似符号来表示。特别注意的是，图式仅为示意之用，并非代表元件实际的尺寸或数量，有些细节可能未完全绘出，以求图式的简洁。

请参照图1至图3，本发明的一实施例的基板处理装置包含一平台40、一管路20以及一管口指标装置10。平台40用以承载一基板30。可以理解的是，平台40可借由旋转轴41驱动而旋转，进而带动基板30旋转。于一实施例中，基板30为一加工基板(例如硅基板、玻璃基板或蓝宝石基板等)或具有校正刻度的一校正板。举例而言，操作者可依据校正板的刻度校正管路20的位置。管路20设置于平台40的上方，且其具有至少一流体出口21。管路20可输送一流体至基板30，以蚀刻或清洗基板30。有关基板处理装置的其它机构并非本发明的技术特征，且本发明所属技术领域中具有通常知识者可利用已知技术加以实现，故在此不再赘述。

接续上述说明，管口指标装置10包含一本体11以及至少一发光单元12a、12b。本体11的一端具有一连接部111。连接部111可使本体11套接于管路20的流体出口21端。于一实施例中，管口指标装置10更包含一螺帽112，其设置于连接部111之外侧。借由螺帽112迫紧连接部111，可使本体10锁固于管路20的一流体出口21端。于一实施例中，本体11的连接部111之外侧具有朝管路20的一流体出口方向渐缩的一锥面111b。螺帽112从锥面111b较小的端转动至锥面111b较大的一端，即可有效迫紧连接部111。

发光单元12a、12b设置于本体11内，用以产生一指示光。于一实施例中，发光单元12a、12b可为一激光二极管或一发光二极管，其中以激光二极管为较佳的选择。如图3所示，发光单元12a所产生的指示光的光路是沿着管路20的流体出口方向延伸，因此，发光单元12a所产生的指示光即可指出管路20的流体出口21于基板30的一投影位置31。于一实施例中，发光单元12a所产生的指示光的光路与基板30的表面垂直，如图3所示。但不限于此，于一实施例中，发光单元12a所产生的指示光的光路与基板30的表面具有一夹角，发光单元12a所产生的指示光以斜向投射至基板30，但其投射位置于管路20的流体出口于基板30的投影位置相对应。于一实施例中，此夹角范围介于15度至90度。

于图3所示的实施例中，管口指标装置10包含多个发光单元12a、12b，其中发光单元12a用以指出管路20的流体出口21于基板30的投影位置，而发光单元12b则用以指出管路20的中心于基板30的投影位置。因此，发光单元的数量以及所欲指出的投影位置可依据实际需求而有不同的设计。于一实施例中，发光单元12a、12b所产生的指示光可为一有色光，例如红光、绿光或蓝光。于一实施例中，指出管路20的流体出口21以及中心于基板30的投影位置的指示光可使用不同的有色光。举例而言，指出管路20的流体出口21的投影位置可用红光，而指出管路20的中心的投影位置可用绿光。

请参照图2以及图3，于一实施例中，管口指标装置10更包含一定位元件13，其设置于本体11内。定位元件13具有与管路20的流体出口21相对应的一凸柱131。当管口指标装置10套接于管路20的流体出口21端时，凸柱131即插入管路20的流体出口21。依据此结构，发光单元12a与定位元件13的凸柱131即代表发光单元12a与管路20的流体出口21为对正状态。于一实施例中，定位元件13以可更换的方式设置于本体11内。如此可配合不同管路20的设计更换不同的定位元件13。可以理解的是，发光单元12a、12b亦是以可更换的方式设置于本体11内，以配合不同管路20的设计。

请再参照图2以及图3，于一实施例中，管口指标装置10更包含一电池模块14，其与发光单元12a、12b电性连接。电池模块14用以提供发光单元12a、12b所需的电源。较佳者，管口指标装置10更包含一开关元件15，其与发光单元12a、12b电性连接。开关元件15可选择性启动发光单元12a、12b。

综合上述，本发明的管口指标装置及基板处理装置是在管路的流体出口端设置至少一发光单元，并借由发光单元所产生的指示光指出管路的流体出口于基板上的投影位置。由于发光单元所产生的指示光不会占据实体空间，因此操作者可轻易地以笔或其它适当工具于指示光所指出的位置画上标记。

以上所述的实施例仅是为说明本发明的技术思想及特点，其目的在使熟习此项技艺的人士能够了解本发明之内容并据以实施，当不能以的限定本发明的专利范围，即大凡依本发明所揭示的精神所作的均等变化或修饰，仍应涵盖在本发明的专利范围内。