专利名称：基板处理装置及基板处理装置的管理方法
技术领域：
本发明涉及一种对基板进行各种处理的基板处理装置及基板处理装置的管理方法。
背景技术：
从前，为了对半导体晶片、光掩模用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、光盘用玻璃基板等的基板进行各种处理，使用了基板处理装置。例如在半导体器件的制造工艺中，为了提高生产效率而将一连串处理的每个单元化，使用着综合了多个处理单元的基板处理装置。
在这样的基板处理装置中，通常对1个基板连续进行多个不同的处理。为此，设置了清洗处理单元、曝光处理单元等各种处理单元、和在处理单元之间搬送基板的基板搬送机器人等。
在上述基板处理装置中，例如为了进行处理单元和基板搬送机器人的维护工作而设置有工作者可进入到基板处理装置内部的门。
在该基板处理装置中设有联锁功能，在工作者不小心打开上述门而进入到基板处理装置内部时，在门打开的同时切断基板处理装置全部的电源，使工作者不会置于被基板搬送机器人卷入等的危险之中。该联锁功能通过设在门上的联锁开关而动作。
但是，在门打开的同时联锁功能动作，切断基板处理装置全部的电源时，也有工作者不能进行处理单元和基板搬送机器人的维护工作的情况。作为维护工作的一例，例如有基板搬送机器人的示教(示教动作)等。
因此，在上述基板处理装置中设置有联锁解除开关，能暂时解除联锁功能，即使在门打开时也不切断基板处理装置全部的电源。
可是，在上述那样的处理单元和基板搬送机器人中，因动作而给工作者带来危险的情况和即使动作也不给工作者带来危险的情况混在一起。
例如，在使用药液的处理单元中，有时所使用的药液会对人体产生伤害。另外，在使用激光的处理单元中，有时该激光会使人体受损伤。而且，在基板搬送机器人，工作者不小心接近时有被基板搬送机器人的动作卷入的情况。
将这样的对于工作者有危险性的处理单元或基板搬送机器人等称为危险源。以前，对于这样的各个危险源设置了安全装置(例如，参照特开2000-252345号公报)。
以前对于上述那样的危险源，为了确保工作者的安全，只有接受过针对各危险源的教育的担当者(危险源担当者)进行维护工作。
但是，从前在危险源担当者解除联锁功能而进行特定的危险源的维护工作时，成为在其他危险源也动作的状态下进行工作。因此，从前的安全装置在多个危险源同时动作时，并不一定能可靠地确保工作者的安全。
而且，从前的基板处理装置，即使对于危险源以外的处理单元或基板搬送机器人进行伴随着动作的维护工作时，由于危险源担当者以外的担当者不能解除联锁功能，所以危险源担当者以外的工作者也不能进行维护工作。
因而，对于危险源以外的处理单元或基板搬送机器人的维护工作，操作担当者也被限制，在维护工作的低效率化方面受到指责。
发明内容
本发明的目的在于提供一种在可靠地确保工作者安全的同时能实现高效率的维护工作的基板处理装置及基板处理装置的管理方法。
本发明一个方面的基板处理装置，具有多个动作部，其设置在包含有对基板进行规定的处理的处理空间和用于搬送基板的搬送空间的装置空间内，对基板进行规定的处理动作或搬送动作；门，其使人可进入到装置空间中；停止装置，其在门被打开时，使多个动作部停止；无效设定装置，其用于在将停止装置的动作设定为无效状态的同时，将多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态；动作指令装置，其用于使通过无效设定装置而被设定为停止状态的预先确定的动作部再动作。
在该基板处理装置中，在打开门时，通过停止装置停止多个动作部，但工作者能通过无效设定装置将停止装置的动作设定为停止状态，同时使多个动作部中预先确定的动作部为停止状态。由此，能防止因预先确定的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。并且，在针对预先确定的动作部以外进行维护工作时，由于预先确定的动作部停止，所以工作者即使对于预先确定的动作部没有接受特别教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
工作者通过动作指令装置对预先确定的动作部的再动作进行指令时，预先确定的动作部再动作。因而，工作者能进行预先确定的动作部的维护工作。
动作指令装置还具有第1操作部，其用于对被设定为停止状态的预先确定的动作部的再动作进行指令，第1操作部设置在装置空间内也可以。由此，工作者通过在装置空间内部操作第1操作部，能对预定确定的动作部的再动作进行指令。其结果，工作者能准确地识别成为对象的动作部。
无效设定装置具有第2操作部，其用于对停止装置的动作和预先确定的动作部的动作的设定进行指令，第2操作部设置在装置空间外也可以。由此，工作者通过在装置空间的外部操作第2操作部，能对停止装置的动作和预先确定的动作部的动作的设定进行指令。其结果，防止对工作者的危险。
还可以具有控制部，其响应无效设定装置的设定，将停止装置的动作控制为无效状态，同时将预先确定的动作部控制为停止状态，响应动作指令装置的再动作的指令，使预先确定的动作部再动作。
这时，控制部响应无效设定装置的设定，将停止装置的动作控制为无效状态，同时将预先确定的动作部控制为停止状态，由此能防止因预先确定的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。
在工作者通过动作指令装置而对预先确定的动作部的再动作进行指令时，预先确定的动作部再动作。因而，工作者能进行预先确定的动作部的维护工作。
也可以在多个动作部预先设定危险度级别，预先确定的动作部具有比其他动作部高的危险度级别。
这时，由于门被打开，通过停止装置使多个动作部停止，但能通过无效设定装置将停止装置的动作设定为无效状态，同时将多个动作部中具有高的危险度级别的动作部设定为停止状态。由此，能防止因具有高的危险度级别的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对具有低的危险度级别的动作部进行维护工作时，由于具有高的危险度级别的动作部停止，所以工作者即使针对具有高的危险度级别的动作部没有接受特别教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
而且，在工作者通过动作指令装置对具有高的危险度级别的动作部的再动作进行指令时，具有高的危险度级别的动作部再动作。因而，工作者能进行具有高的危险度级别的动作部的维护工作。
预先确定的动作部也可以包含有搬送基板的搬送装置。
这时，由于门被打开，通过停止装置而停止多个动作部，但能通过无效设定装置将停止装置的动作设定为无效状态，同时能将多个动作部中搬送基板的搬送装置设定为停止状态。由此，能防止因搬送装置动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对搬送装置以外的动作部进行维护工作时，由于搬送装置停止，所以工作者即使针对搬送装置没有接受特别教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
工作者通过动作指令装置而对搬送装置的再动作进行指令时，搬送装置再动作。因而，工作者能进行搬送装置的维护工作。
预先确定的动作部也可以包含有进行使用了药品的处理的处理装置。
这时，由于门被打开，通过停止装置停止多个动作部，但能够通过无效设定装置将停止装置的动作设定为无效状态，同时将多个动作部中进行使用了药品的处理的处理装置设定为停止状态。由此，能防止因进行使用了药品的处理的处理装置动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对进行使用了药品的处理的处理装置以外的动作部进行维护工作时，由于进行使用了药品的处理的处理装置停止，所以工作者即使对进行使用了药品的处理的处理装置没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
并且，在工作者通过动作指令装置对进行使用了药品的处理的处理装置再动作进行指令时，进行使用了药品的处理的处理装置再动作。因而，工作者能对进行使用了药品的处理的处理装置进行维护工作。
预先确定的动作部也可以包含有进行使用了激光的处理的处理装置。
这时，由于门被打开，通过停止装置停止多个动作部，但能通过无效设定装置将停止装置的动作设定为无效状态，同时将多个动作部中进行使用了激光的处理的处理装置设定为停止状态。由此，能防止因进行使用了激光的处理的处理装置动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对进行使用了激光的处理的处理装置以外的动作部进行维护工作时，由于进行使用了激光的处理的处理装置停止着，所以工作者即使对进行使用了激光的处理的处理装置没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
工作者通过动作指令装置对进行使用了激光的处理的处理装置的再动作进行指令时，进行使用了激光的处理的处理装置再动作。因而，工作者能对进行使用了激光的处理的处理装置进行维护工作。
也可以是预先确定的动作部包含有多个动作部，上述动作指令装置包含有分别设置在上述多个动作部的多个动作指令装置。
这时，由于多个动作指令装置分别设置于多个动作部，所以能防止工作者错误地使成为自己维护工作的对象的动作部以外的动作部再动作。
根据本发明其他方面的基板处理装置，具有多个动作部，其设置在包含有对基板进行规定的处理的处理空间和用于搬送基板的搬送空间的装置空间内，对基板进行规定的处理动作或搬送动作；门，其使人可进入到装置空间中；停止装置，其在门被打开时，使多个动作部停止；无效设定装置，其在从门的打开起经过规定的时间后，在将停止装置的动作设定为无效状态的同时，将多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态；动作指令装置，其用于使通过无效设定装置而被设定为停止状态的预先确定的动作部再动作。
在该基板处理装置中，在打开门时，通过停止装置停止多个动作部，但通过无效设定装置在从打开门起经过规定的时间后，将停止装置的动作设定为无效状态，同时将多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态。由此，能防止因预先确定的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。并且，在要对预先确定的动作部以外进行维护工作时，由于预先确定的动作部停止着，所以工作者即使针对预先确定的动作部没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
在工作者通过动作指令装置对预先确定的动作部的再动作进行指令时，预先确定的动作部再动作。因而，工作者能进行预先确定的动作部的维护工作。
动作指令装置也可以还具有第1操作部，其用于对被设定为停止状态的预先确定的动作部的再动作进行指令，第1操作部设置在装置空间内。由此，工作者通过在装置空间的内部操作第1操作部，能对预先确定的动作部的再动作进行指令。其结果，工作者能准确地识别成为对象的动作部。
还可以具有控制部，其响应无效设定装置的设定，将停止装置的动作控制为无效状态，同时将预先确定的动作部控制为停止状态，响应动作指令装置的再动作的指令，使预先确定的动作部再动作。
这时，控制部响应无效设定装置的设定，将停止装置的动作控制为无效状态，同时将预先确定的动作部控制为停止状态，由此能防止因预先确定的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。
而且，在工作者通过动作指令装置对预先确定的动作部的再动作进行指令时，预先确定的动作部再动作。因而，工作者能进行预先确定的动作部的维护工作。
也可以在多个动作部预先设定危险度级别，预先确定的动作部具有比其他动作部高的危险度级别。
这时，由于门被打开，通过停止装置使多个动作部停止，但能通过无效设定装置将停止装置的动作设定为无效状态，同时将多个动作部中具有高的危险度级别的动作部设定为停止状态。由此，能防止因具有高的危险度级别的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对具有低的危险度级别的动作部进行维护工作时，由于具有高的危险度级别的动作部停止，所以工作者即使针对具有高的危险度级别的动作部没有接受特别教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
而且，在工作者通过动作指令装置对具有高的危险度级别的动作部的再动作进行指令时，具有高的危险度级别的动作部再动作。因而，工作者能进行具有高的危险度级别的动作部的维护工作。
预先确定的动作部也可以包含有搬送基板的搬送装置。
这时，由于门被打开，通过停止装置而停止多个动作部，但能通过无效设定装置将停止装置的动作设定为无效状态，同时能将多个动作部中搬送基板的搬送装置设定为停止状态。由此，能防止因搬送装置动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对搬送装置以外的动作部进行维护工作时，由于搬送装置停止，所以工作者即使针对搬送装置没有接受特别教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
工作者通过动作指令装置而对搬送装置的再动作进行指令时，搬送装置再动作。因而，工作者能进行搬送装置的维护工作。
预先确定的动作部也可以包含有进行使用了药品的处理的处理装置。
这时，由于门被打开，通过停止装置停止多个动作部，但能够通过无效设定装置将停止装置的动作设定为无效状态，同时将多个动作部中进行使用了药品的处理的处理装置设定为停止状态。由此，能防止因进行使用了药品的处理的处理装置动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对进行使用了药品的处理的处理装置以外的动作部进行维护工作时，由于进行使用了药品的处理的处理装置停止，所以工作者即使对进行使用了药品的处理的处理装置没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
并且，在工作者通过动作指令装置对进行使用了药品的处理的处理装置再动作进行指令时，进行使用了药品的处理的处理装置再动作。因而，工作者能对进行使用了药品的处理的处理装置进行维护工作。
预先确定的动作部也可以包含有进行使用了激光的处理的处理装置。
这时，由于门被打开，通过停止装置停止多个动作部，但能通过无效设定装置将停止装置的动作设定为无效状态，同时将多个动作部中进行使用了激光的处理的处理装置设定为停止状态。由此，能防止因进行使用了激光的处理的处理装置动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对进行使用了激光的处理的处理装置以外的动作部进行维护工作时，由于进行使用了激光的处理的处理装置停止着，所以工作者即使对进行使用了激光的处理的处理装置没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
工作者通过动作指令装置对进行使用了激光的处理的处理装置的再动作进行指令时，进行使用了激光的处理的处理装置再动作。因而，工作者能对进行使用了激光的处理的处理装置进行维护工作。
也可以是预先确定的动作部包含有多个动作部，上述动作指令装置包含有分别设置在上述多个动作部的多个动作指令装置。
这时，由于多个动作指令装置分别设置于多个动作部，所以能防止工作者错误地使成为自己维护工作的对象的动作部以外的动作部再动作。
根据本发明其他方面的基板处理装置的管理方法，该基板处理装置具有设置在包含有对基板进行规定的处理的处理空间和用于搬送基板的搬送空间的装置空间内、对基板进行规定的处理动作或搬送动作的多个动作部；使人可进入到装置空间中的门；在门被打开时使多个动作部停止的停止装置，其中，具有在将停止装置的动作设定为无效状态的同时将多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态的步骤；使被设定为停止状态的预先确定的动作部再动作的步骤。
在该基板处理装置的管理方法中，在打开门时，通过停止装置使多个动作部停止，但能将停止装置的动作设定为无效状态，同时将多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态。由此，能防止因预先确定的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对预先确定的动作部以外进行维护工作时，由于预先确定的动作部停止着，所以工作者即使针对预先确定的动作部没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
而且，由于预先确定的动作部再动作，所以工作者能进行预先确定的动作部的维护工作。
根据本发明其他方面的基板处理装置的管理方法，该基板处理装置具有设置在包含有对基板进行规定的处理的处理空间和用于搬送基板的搬送空间的装置空间内、对基板进行规定的处理动作或搬送动作的多个动作部；使人可进入到装置空间中的门；在门被打开时使多个动作部停止的停止装置，其中，具有在从门的打开起经过规定的时间后、在将停止装置的动作设定为无效状态的同时将多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态的步骤；使被设定为停止状态的预先确定的动作部再动作的步骤。
在该基板处理装置的管理方法中，在门被打开时，通过停止装置使多个动作部停止，但从门打开起经过规定的时间后，能将停止装置的动作设定为无效状态，同时将多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态。由此，能防止因预先确定的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对预先确定的动作部以外进行维护工作时，由于预先确定的动作部停止着，所以工作者即使针对预先确定的动作部没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
而且，由于使预先确定的动作部再动作，工作者能进行预先确定的动作部的维护工作。
图1是本发明一实施例的基板处理装置的平面图；图2A～图2C是表示本发明一实施例的联锁解除部和再动作指令部的一例的视图；图3A、图3B是表示联锁功能有效动作时的基板处理装置整体的电源状态的视图；图4A～图4C是表示选择性解除功能有效动作时的基板处理装置整体的电源状态的视图；图5A、图5B是表示选择性解除功能和再动作指令功能有效动作时的基板处理装置整体的电源状态的视图；图6是用于说明本发明一实施例的危险度级别的一例的视图；图7是表示图1的基板处理装置的控制系统的结构的框图。
具体实施例方式
下面，根据图1～图7说明本发明一实施例的基板处理装置及基板处理装置的管理方法。
在下面的说明中，所谓基板是指半导体晶片、液晶显示装置用玻璃基板、PDP(等离子显示面板)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等。
图1是本发明一实施例的基板处理装置的平面图。如图1所示，基板处理装置100有处理区域A、B，在处理区域A、B之间有搬送区域C。在各处理区域A、B中配置有用于对基板W进行特定的处理的多个处理单元。并且，在搬送区域C中配置有用于搬送基板W的分度器机器人IR和基板搬送机器人CR。
在下面的说明中，将多个处理单元、分度器机器人IR和基板搬送机器人CR统称为动作部。动作部只要是对基板进行动作的部分即可，但不限于这些。
在基板处理装置100中，工作者除了进行调整在处理区域A、B和搬送区域C配置的动作部的动作状态的示教以外，对各动作部进行各种的维护工作。
将包括处理区域A、B和搬送区域C的空间称为装置空间500。设置有隔断壁501，分别将处理区域A、B和搬送区域C隔离。
在基板处理装置100的侧面的规定位置设置有工作者进入到装置空间500内用的门D1、D2、D3、D4、D5。门D1与分度器机器人IR和基板搬送机器人CR对应安装，门D2～D5与各处理单元对应安装。
在各个门D1～D5设置有对应于由工作者引起的打开而切断基板处理装100全部的电源(以下称为联锁功能)用的联锁开关IN1、IN2、IN3、IN4、IN5。例如，通过工作者打开门D1～D5中的任一个，从而对应的联锁开关IN1～IN5动作，基板处理装置500全部的电源被切断。
并且，在门D1～D5的各个附近，设置着联锁解除部R1、R2、R3、R4、R5，其用于将联锁功能设定为无效，同时使装置空间500内的各动作部中特定的动作部的电源成为断开状态，将其他的动作部的电源维持为接通状态(下面称为选择性解除功能)。
这里，特定的动作部根据其动作对工作者人体带来的影响而确定。例如，特定的动作部有其动作对人体带来损害的危险的部分。
工作者通过操作联锁解除R1～R5中的任一个，能有效设定选择性解除功能。由此，将联锁功能设定为无效，使特定的动作部的电源为断开状态，将其他的动作部的电源维持为接通状态。其结果，工作者不会置于由特定的动作部动作而产生的危险中，能打开门D1～D5而进入到装置空间500内。
在将这样的选择性解除功能设定为有效的状态下，由于特定的动作部的电源成为断开状态，同时不会对人体带来损害的其他的动作部的电源维持在接通状态，所以工作者即使针对特定的动作部没有接受特别的教育，也能进行其他的动作部的维护工作。关于选择性解除功能和特定的动作部的详细情况将在后面叙述。
在基板处理装置100的侧面的规定位置，设置着再动作指令部SI、SC、S2、S3，其用于使通过选择性解除功能而成为断开状态的特定的动作部的电源处于接通状态(以下称为再动作指令功能)。
这些再动作指令部SI、SC、S2、S3与每个特定的动作部对应设置。关于该对应关系将在后面叙述。
工作者在由于联锁功能而使基板处理装置100全部的电源处于断开状态时，通过操作与成为维护工作对象的特定的动作部建立对应的再动作指令部SI、SC、S2、S3中的任意一个，将再动作指令功能设定为有效。能使特定的动作部的电源再次成为接通状态而进行维护工作。
每个再动作指令部SI、SC、S2、S3仅将与自己建立对应的特定的动作部的电源设定为接通状态。因而，在工作者操作再动作指令部SI、SC、S2、S3的其中之一时，仅与已操作的再动作指令部对应的特定的动作部的电源为接通状态。其结果，由于维护工作的对象以外的特定的动作部不动作，所以能确保工作者的安全。
这里，针对配置在处理区域A、B和搬送区域C的各动作部进行说明。
在处理区域A配置着控制部4、流体箱部2a、2b、药液处理部5a、5b。各药液处理部5a、5b相当于上述处理单元，同时也相当于特定的动作部。
图1的流体箱部2a、2b分别容纳有与向药液处理部5a、5b供给药液和从药液处理部5a、5b进行排液相关的配管、接头、阀、流量计、稳压器、泵、温度调节器、处理液储存罐等流体相关设备。
在药液处理部5a、5b，使用药液进行清洗处理(以下称为药液处理)。在本实施例中，作为药液而使用氟酸水溶液等。
在药液处理部5a的外侧侧面设置有门D2、联锁开关IN2和联锁解除部R2。在药液处理部5a的内侧侧面与药液处理部5a对应而设置有再动作指令部S2。进而，在药液处理部5b的外侧侧面设置有门D3、联锁开关IN3和联锁解除部R3。并且，在药液处理部5b的内侧侧面与药液处理部5b对应而设置有再动作指令部S3。
即，联锁解除部R2、R3设置在装置空间500的外部。再动作指令部S2、S3设置在装置空间500的内部。
在处理区域B配置有流体箱部2c、2d和纯水处理部5c、5d。各纯水处理部5c、5d相当于上述处理单元，同时相当于特定的动作部以外的动作部。
图1的流体箱部2c、2d分别容纳有与向纯水处理部5c、5d供给纯水和从纯水处理部5c、5d进行排液相关的配管、接头、阀、流量计、稳压器、泵、温度调节器、处理液储存罐等的流体相关设备。
在纯水处理部5c、5d，使用纯水进行清洗处理。这时，用纯水洗掉药液处理后残留在基板W上的药液。
在纯水处理部5c的外侧侧面设置有门D4、联锁开关IN4和联锁解除部R4。在纯水处理部5d的外侧侧面设置有门D5、联锁开关IN5和联锁解除部R5。
即，这些联锁解除部R4、R5设置在装置空间500的外部。
在搬送区域C配置有分度器机器人IR和基板搬送机器人CR。各分度器机器人IR和基板搬送机器人CR相当于上述特定的动作部。
在处理区域A、B的一端部侧配置有进行基板W的搬入和搬出的分度器ID，在分度器ID的内部设置有分度器机器人IR。在分度器ID载置着容纳基板W的托架1。在本实施例中，作为托架1，使用以密封状态容纳基板W的FOUP(Front Opening Unified Pod前开口联合仓)，但不限定于此，也可以使用SMIF(Standard Mechanical Inter Face标准机械连接)仓、OC(OpenCassette敞口盒)等。
分度器ID的分度器机器人IR沿箭头U的方向移动，从托架1取出基板W，交接给基板搬送机器人CR，相反从基板搬送机器人CR接收进行了一连串处理后的基板W，返回托架1。
基板搬送机器人CR将从分度器机器人IR交接来的基板W搬送到指定的处理单元，或者将从处理单元接收的基板W搬送到其他的处理单元或分度器机器人IR。
在分度器ID的外侧侧面设置有门D1、联锁开关IN1和联锁解除部R1。在分度器ID的内侧侧面，分别对应于分度器机器人IR和基板搬送机器人CR而设置有再动作指令部SI、SC。
即，联锁解除部R1设置在装置空间500的外部。再动作指令部SI、SC设置在装置空间500的内部。并且，该再动作指令部SI、SC也可以设置在对应的分度器机器人IR和基板搬送机器人CR的附近(基板处理装置100的侧面和隔断壁501的规定位置)。
在本实施例中，在药液处理部5a、5b中的任一个中，对基板W进行药液处理后，由基板搬送机器人CR将基板W从药液处理部5a、5b搬出，搬入到纯水处理部5c、5d中的任意一个中。
控制部4由包含CPU(中央运算处理装置)的计算机等构成，控制处理区域A、B的各处理单元的动作、搬送区域C的基板搬送机器人CR的动作和分度器ID的分度器机器人IR的动作。关于控制部4的详细情况将在后面叙述。
这里，说明联锁解除部R1～R5和再动作指令部SI、SC、S2、S3的构成。
图2A～图2C是表示本发明一实施例的联锁解除部R1～R5和再动作指令部SI、SC、S2、S3一例的视图。
如图2A所示，联锁解除部R1～R5设有用于插入选择性解除钥匙RK的插入孔IK，同时具有2个转换位置P1、P2。在转换位置P1，选择性解除功能变为无效，在转换位置P2，选择性解除功能有效。
工作者通过将选择性解除钥匙RK插入到插入孔IK中并旋转选择性解除钥匙RK，能将选择性解除钥匙RK设定在转换位置P1、P2中的任意一处。由此，能转换选择性解除功能的有效和无效。
如图2B所示，再动作指令部SI、SC相邻设置，其设有用于插入再动作指令钥匙SK的插入孔IK，同时具有2个转换位置P1、P2。在转换位置P1，再动作指令功能无效，而在转换位置P2，再动作指令功有效。
工作者通过将再动作指令钥匙SK插入到插入孔IK中并旋转再动作指令钥匙SK，能将再动作指令钥匙设定在转换位置P1、P2中的任意一处。由此，对于与再动作指令部SI、SC建立对应的联锁机器人IR和基板搬送机器人CR、即特定的动作部，能转换再动作指令功能的有效和无效。
如图2C所示，再动作指令部S2、S3被设置在各自对应的特定的动作部附近，设有用于插入再动作指令钥匙SK的插入孔IK，同时具有2个转换位置P1、P2。在转换位置P1，再动作指令功能无效，在转换位置P2，再动作指令功能有效。
工作者通过将再动作指令钥匙SK插入到插入孔IK中并旋转再动作指令钥匙SK，能将再动作指令钥匙SK设定在转换位置P1、P2中的任意一处。由此，对于与再动作指令部S2、S3建立对应的药液处理部5a、5b、即特定的动作部，能转换再动作指令功能的有效和无效。
每个联锁解除部R1～R5和再动作指令部SI、SC、S2、S3并不一定必须具有上述的构成，只要能够对各功能进行有效和无效的转换即可，也可以是按钮等。
图1的基板处理装置100，代替设有联锁解除部R1～R5，也可以具有自动进行联锁功能和选择性解除功能的转换的以下那种构成。
随着门D1～D5的打开，通过联锁开关IN1～IN5而联锁功能动作，而预定该联锁功能有效动作的时间，设定经过规定时间(例如30秒)后，选择性解除功能自动动作。
这时，工作者即使打开门D1～D5而联锁功能动作，若在规定时间(例如30秒)内关闭门D1～D5时，则联锁功能变为无效，同时选择性解除功能不能有效动作。其结果，由联锁功能使基板处理装置100全部的电源成断开状态后，基板处理装置100全部的电源再次成为接通状态。
另一方面，工作者打开门D1～D5而使联锁功能动作，在规定时间(例如30秒)内没有关闭门D1～D5时，在规定时间(例如30秒)后，选择性解除功能有效动作。其结果，特定的动作部的电源维持断开状态，同时其他动作部的电源成为接通状态。
在这种构成中，由工作者操作再动作指令部SI、SC、S2、S3而进行的再动作指令功能，也可以是不管选择性解除功能是否有效动作，即使在联锁功能动作时也有效动作。
根据图3～图5，说明由联锁功能、选择性解除功能和再动作指令功能引起的基板处理装置100整体的电源状态。
图3A、图3B是表示联锁功能有效动作时的基板处理装置100整体的电源状态的视图。
如图3A所示，假设基板处理装置100全部的动作部(药液处理部5a、5b，纯水处理部5c、5d、分度器机器人IR和基板搬送机器人CR)的电源是接通状态的情况。
这里，如图3B所示，在打开门D1(门D1～D5中的任意一个)时，在门D1打开的同时联锁功能有效动作。由此，基板处理装置100全部的动作部的电源成为断开状态。
图4A～图4C是表示选择性解除功能有效动作时的基板处理装置100整体的电源状态的视图。
如图4A所示，假设基板处理装置100全部的动作部的电源是接通状态的情况。
这里，如图4B所示，在联锁解除部R1～R5中的任意一个中，在有效设定选择性解除功能时，特定的动作部、即药液处理部5a、5b、分度器机器人IR和基板搬送机器人CR的电源成为断开状态。并且，其他动作部、即纯水处理部5c、5d的电源维持在接通状态。
进而，如图4C所示，由于通过选择性解除功能使联锁功能无效，所以即使在门D1(门D1～D5中的任意一个)被打开时，各动作部的电源状态不变化。即，纯水处理部5c、5d的电源不变为断开状态。
图5A、图5B是表示选择性解除功能和再动作指令功能有效动作时的基板处理装置100整体的电源状态的视图。
如图5A所示，在联锁解除部R1～R5中的任意一个中，通过有效设定选择性解除功能，假设特定的动作部的电源是断开状态，其他动作部的电源是接通状态的情况。
这时，如上述那样，即使门D1～D5中的任意一个被打开，图5A所示的电源状态不变化。
这里，如图5B所示，工作者在装置空间500内部的再动作指令部SI，有效设定再动作指令功能时，作为与再动作指令部SI建立对应的特定的动作部的分度器机器人IR的电源再次变为接通状态。另一方面，分度器机器人IR以外的各动作部维持图5A所示的电源状态。
同样，通过工作者对各再动作指令部SC、S2、S3有效设定再动作指令功能，从而能够仅使与各再动作指令部建立对应的特定的动作部再次成为接通状态。
对特定的动作部进行说明。这里，在本实施例的基板处理装置100中，对各动作部确定危险度级别。所谓危险度级别，例如根据该动作部的动作对工作者人体带来伤害的可能性而确定。
在本实施例的基板处理装置100中，成为危险度级别对象的动作部是分度器机器人IR、基板搬送机器人CR、药液处理部5a、5b和纯水处理部5c、5d。
除了这些，在基板处理装置100的处理区域A、B和搬送区域C中，作为动作部也可以设置使用激光的处理部等。
通过使用激光的处理部，例如进行在基板W的周边部照射规定的激光等的处理。在这种激光中，按照JIS(日本工业标准)C6802进行等级区分。在该等级区分中，例如规定等级2的激光具有由于人体防御反应而可回避伤害的程度的输出。
图6是用于说明本发明一实施例的危险度级别的一例的视图。
如图6所示，各动作部按照从各动作部的动作对人体带来影响小的起的顺序，分类成“级别1”、“级别2”、“级别3”和“级别4”的危险度级别。
作为级别1的动作部，被分类为即使在其动作时也不会对人体带来伤害的动作部、例如纯水处理部。
作为级别2的动作部，被分类为即使在其动作时对人体带来伤害的可能性低的动作部、例如使用使人体受到损害的可能性低的药液的药液处理部。
作为级别3的动作部，被分类为在其动作时有可能使人体受到损害的动作部，例如用使人体受到损害的可能性高的药液的药液处理部和使用等级2以上的激光的处理部。
作为级别4的动作部，被分类为在其动作时使人体受到损害的可能性非常高的动作部，例如搬送基板W的各种搬送机器人。
由此，如下面那样设定图1的基板处理装置100各动作部的危险度级别。纯水处理部5c、5d是级别1，用使人体受到损害的可能性高的氟酸水溶液的药液处理部5a、5b是级别3，分度器机器人IR和基板搬送机器人CR是级别4。
特定的动作部，例如通过在上述4个危险度级别中设定成为界限的级别而确定。
若根据图6，在将成为界限的级别设为危险度级别3以上时，用使人体受到损害的可能性高的药液的药液处理部、使用等级2以上的激光的处理部、各种搬送机器人是特定的动作部。
即，在图1的基板处理装置100中，药液处理部5a、5b、分度器机器人IR和基板搬送机器人CR成为特定的动作部。
这种危险度级别不限于图6的例子，也可以分类为更多的级别，与其相对应，也可以自由设定成为界限的级别。
在上述说明中，危险度级别根据该动作部的动作使工作者的人体受到损害的可能性来确定，但不限于这样，也可以根据由该动作部的动作而假设的对工作者人体的损害程度或频率来确定。
图7是表示图1的基板处理装置100的控制系统的构成的框图。
控制部4控制分度器机器人IR和基板搬送机器人CR的基板搬送动作，控制药液处理部5a、5b的清洗动作和纯水处理部5c、5d的清洗动作。
控制部4响应联锁开关IN1～IN5的动作，控制分度器机器人IR、基板搬送机器人CR、药液处理部5a、5b和纯水处理部5c、5d的电源。
控制部4响应因工作者操作联锁解除部R1～R5而使选择性解除功能有效的情况的信号，在不响应联锁开关IN1～IN5动作的同时，将药液处理部5a、5b、分度器机器人IR和基板搬送机器人CR的电源控制为断开状态，将纯水处理部5c、5d的电源维持在接通状态。
另外，控制部4在上述选择性解除功能有效动作时，响应于因工作者操作再动作指令部SI、SC、S2、S3中的任意一个而使再动作指令功能有效的情况的信号，将与所操作的再动作指令部建立对应的特定的动作部的电源再次控制为接通状态。
如上述那样，也可以在基板处理装置100中设置使用激光的处理部，代替药液处理部5a、5b和纯水处理部5c、5d。
如上述那样，在基板处理装置100没有联锁解除部R1～R5的构成时，控制部4响应联锁开关IN1～IN5的动作，控制分度器机器人IR、基板搬送机器人CR、药液处理部5a、5d和纯水处理部5c、5d的电源，同时对规定时间进行计算。
并且，控制部4由于经过规定的时间，而将药液处理部5a、5b、分度器机器人IR和基板搬送机器人CR的电源控制为断开状态，将纯水处理部5c、5d的电源维持在接通状态。
在本实施例的基板处理装置100中，在打开门D1～D5时，用联锁功能使基板处理装置100整体的各动作部的电源成断开状态，但工作者在打开门D1～D5之前，通过操作联锁解除部R1～R5，将联锁功能设定为无效状态，同时使特定的动作部的电源为断开状态。由此，防止因特定的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者安全。
在要对其他动作部进行维护工作时，由于特定的动作部的电源成断开状态，所以工作者即使针对特定的动作部没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
在工作者通过操作再动作指令部SI、SC、S2、S3而使再动作指令功能动作时，特定的动作部的电源再次成为接通状态。因而，工作者能进行特定的功能部的维护工作。
如上述那样，本实施例的基板处理装置100也可以具有自动进行联锁功能和选择性解除功能的转换的构成。
这时，在打开门D1～D5时，通过联锁功能而使基板处理装置100整体的各动作部的电源成为断开状态，但在从门D1～D5的打开经过规定时间后，将联锁功能设定为无效状态，同时特定的动作部的电源成断开状态，其他动作部的电源成接通状态。由此，能防止因特定的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。在要对其他动作部进行维护工作时，由于特定的动作部停止着，所以即使工作者针对特定的动作部没有接受特别的教育，也能安全进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
在工作者通过操作再动作指令部SI、SC、S2、S3使再动作指令功能动作时，特定的动作部的电源再次成为接通状态。因而，工作者能进行特定的动作部的维护工作。
在本实施例中，对基板处理装置100的多个动作部预先设定危险度级别。并且，通过设定特定的危险度级别，能根据使工作者的人体受到损害的可能性对特定的动作部和其他的动作部进行分类。
这时，通过打开门D1～D5，由联锁功能使基板处理装置100整体的多个动作部成为断开状态，但工作者在打开门D1～D5之前或打开了门D1～D5之后，通过选择性解除功能将联锁功能设定为无效状态，同时将多个动作部中具有高危险度级别的特定的动作部的电源设定为断开状态。由此，防止因具有高危险度级别的特定的动作部动作而产生的对工作者的危险，确保工作者的安全。
在要对具有低危险度级别的其他动作部进行维护工作时，由于具有高危险度级别的特定的动作部的电源成为断开状态，所以即使工作者针对具有高危险度级别的特定的动作部没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
在工作者通过操作再动作指令部SI、SC、S2、S3而使再动作指令功能动作时，具有高危险度级别的特定的动作部的电源再次成为接通状态。因而，工作者能进行具有高危险度级别的特定的动作部的维护工作。
在本实施例中，特定的动作部包含分度器机器人IR和基板搬送机器人CR。这时，工作者通过再动作指令功能而能进行分度器机器人IR和基板搬送机器人CR的维护工作。
在要对分度器机器人IR和基板搬送机器人CR以外的动作部进行维护工作时，即使针对分度器机器人IR和基板搬送机器人CR没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
并且，特定的动作部包含药液处理部5a、5b。这时，工作者通过再动作指令功能而可以进行药液处理部5a、5b的维护工作。
在要对药液处理部5a、5b以外的动作部进行维护工作时，即使针对药液处理部5a、5b没有接受特别教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
而且，特定的动作部包含使用等级2以上的激光的处理部。这时，工作者通过再动作指令功能而可以进行使用激光的处理部的维护工作。
而在要对使用激光的处理部以外的动作部进行维护工作时，即使针对使用激光的处理部没有接受特别的教育，也能安全地进行维护工作。其结果，实现高效率的维护工作。
图1的基板处理装置100具备多个特定的动作部，在每个特定的动作部设置有再动作指令部SI、SC、S2、S3。
这时，通过在每个特定的动作部设置再动作指令部SI、SC、S2、S3，能防止工作者使成为自己维护工作的对象的特定的动作部以外的特定的动作部错误地再动作。
以上，在本发明一实施例中，基板处理装置100相当于基板处理装置，处理区域A、B相当于处理空间，搬送区域C相当于搬送空间，装置空间500相当于装置空间，门D1～D5相当于门，联锁开关IN1～IN5、联锁功能和控制部4相当于停止装置。
并且，基板处理装置100整体的各动作部、药液处理部5a、5b、纯水处理部5c、5d、分度器机器人IR、基板搬送机器人CR和使用激光的处理部相当于多个动作部，特定的动作部、药液处理部5a、5b、分度器机器人IR、基板搬送机器人CR和使用激光的处理部相当于预先确定的动作部，联锁开关IN1～IN5、选择性解除钥匙RK、联锁解除部R1～R5、选择性解除功能和控制部4相当于无效设定装置，再动作指令钥匙SK、再动作指令部SI、SC、S2、S3、再动作指令功能和控制部4相当于动作指令装置。
而且，分度器机器人IR和基板搬送机器人CR相当于搬送装置，药液处理部5a、5b相当于使用药品进行处理的处理装置，使用激光的处理部相当于进行使用了激光的处理的处理装置。
再动作指令钥匙SK和再动作指令部SI、SC、S2、S3相当于第1操作部，选择性解除钥匙RK和联锁解除部R1～R5相当于第2操作部。
权利要求
1.一种基板处理装置，具有多个动作部，其设置在包含有对基板进行规定的处理的处理空间和用于搬送基板的搬送空间的装置空间内，对基板进行规定的处理动作或搬送动作；门，其使人可进入到上述装置空间中；停止装置，其在上述门被打开时，使上述多个动作部停止；无效设定装置，其用于在将上述停止装置的动作设定为无效状态的同时，将上述多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态；动作指令装置，其用于使通过上述无效设定装置而被设定为停止状态的上述预先确定的动作部再动作。
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述动作指令装置还具有第1操作部，其用于对被设定为停止状态的上述预先确定的动作部的再动作进行指令，上述第1操作部设置在上述装置空间内。
3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述无效设定装置还具有第2操作部，其用于对上述停止装置的动作和上述预先确定的动作部的动作的设定进行指令，上述第2操作部设置在上述装置空间外。
4.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，还具有控制部，其响应上述无效设定装置的设定，将上述停止装置的动作控制为无效状态，同时将上述预先确定的动作部控制为停止状态，响应上述动作指令装置的再动作的指令，使上述预先确定的动作部再动作。
5.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，对上述多个动作部预先设定危险度级别，上述预先确定的动作部具有比其他动作部高的危险度级别。
6.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述预先确定的动作部包含有搬送基板的搬送装置。
7.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述预先确定的动作部包含有进行使用了药品的处理的处理装置。
8.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述预先确定的动作部包含有进行使用了激光的处理的处理装置。
9.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述预先确定的动作部包含有多个动作部，上述动作指令装置包含有分别设置于上述多个动作部的多个动作指令装置。
10.一种基板处理装置，具有多个动作部，其设置在包含有对基板进行规定的处理的处理空间和用于搬送基板的搬送空间的装置空间内，对基板进行规定的处理动作或搬送动作；门，其使人可进入到上述装置空间中；停止装置，其在上述门被打开时，使上述多个动作部停止；无效设定装置，其在从上述门的打开起经过规定的时间后，在将上述停止装置的动作设定为无效状态的同时，将上述多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态；动作指令装置，其用于使通过上述无效设定装置而被设定为停止状态的上述预先确定的动作部再动作。
11.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，上述动作指令装置还具有第1操作部，其用于对被设定为停止状态的上述预先确定的动作部的再动作进行指令，上述第1操作部设置在上述装置空间内。
12.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，还具有控制部，其响应上述无效设定装置的设定，将上述停止装置的动作控制为无效状态，同时将上述预先确定的动作部控制为停止状态，响应上述动作指令装置的再动作的指令，使上述预先确定的动作部再动作。
13.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，对上述多个动作部预先设定危险度级别，上述预先确定的动作部具有比其他动作部高的危险度级别。
14.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，上述预先确定的动作部包含有搬送基板的搬送装置。
15.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，上述预先确定的动作部包含有进行使用了药品的处理的处理装置。
16.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，上述预先确定的动作部包含有进行使用了激光的处理的处理装置。
17.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，上述预先确定的动作部包含有多个动作部，上述动作指令装置包含有分别设置于上述多个动作部的多个动作指令装置。
18.一种基板处理装置的管理方法，该基板处理装置具有设置在包含有对基板进行规定的处理的处理空间和用于搬送基板的搬送空间的装置空间内、对基板进行规定的处理动作或搬送动作的多个动作部；使人可进入到上述装置空间中的门；在上述门被打开时使上述多个动作部停止的停止装置，其特征在于，具有在将上述停止装置的动作设定为无效状态的同时将上述多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态的步骤；使被设定为停止状态的上述预先确定的动作部再动作的步骤。
19.一种基板处理装置的管理方法，该基板处理装置具有设置在包含有对基板进行规定的处理的处理空间和用于搬送基板的搬送空间的装置空间内、对基板进行规定的处理动作或搬送动作的多个动作部；使人可进入到上述装置空间中的门；在上述门被打开时使上述多个动作部停止的停止装置，其特征在于，具有在从上述门的打开起经过规定的时间后、在将上述停止装置的动作设定为无效状态的同时将上述多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态的步骤；使被设定为停止状态的上述预先确定的动作部再动作的步骤。
全文摘要
本发明涉及一种基板处理装置及基板处理装置的管理方法，在基板处理装置中对各动作部进行各式各样的维护工作。在装置空间的侧面规定位置设置有门，在各个门设置着联锁开关。在每个门的附近设置有联锁解除部，其用于将联锁开关的功能设定为无效，使装置空间内各动作部中特定的动作部的电源为断开状态，将其他动作部的电源维持为接通状态。在装置空间的侧面的规定位置设置着再动作指令部，其用于通过联锁解除部的操作，使成为断开状态的特定的动作部的电源成为接通状态。
文档编号H01L21/00GK1626418SQ20041010029
公开日2005年6月15日 申请日期2004年12月10日 优先权日2003年12月10日
发明者稻田龙彦, 十野浩之 申请人:大日本网目版制造株式会社