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存储器结构及其制造方法与流程
文档序号:12807273
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来源:国知局
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存储器结构及其制造方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明公开了一种存储器结构及其制造方法。存储器结构包括一下电极、一上绝缘层、一材料层、一共享开口、一介电膜、与一上电极。上绝缘层位于下电极上。材料层位于上绝缘层上。上绝缘层与材料层具有一共享开口以露出该下电极的一部分。介电膜位于下电极露出的部分上。介电膜与材料层含有相同的一第一过渡金属。上电极位于介电膜上并填充共享开口。
技术研发人员:
李峰旻;林昱佑
受保护的技术使用者:
旺宏电子股份有限公司
技术研发日:
2015.12.24
技术公布日:
2017.07.04
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