基板移送装置的制作方法

文档序号:12142674阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板移送装置,其特征在于,包括:

匣盒,插入配置有多个基板;以及

第二移送部件,用于向一方向移送插入配置于上述匣盒的基板,

上述第二移送部件包括:

第二传送带,呈履带形状,用于向一方向移送放置于上部面的上述基板;

多个卡止突起,在上述第二传送带的上部面以相互隔开的方式突出而成;以及第二驱动部,用于使上述第二传送带旋转,

从上述匣盒向上述第二传送带供给的上述基板与上述卡止突起相接触,从而阻止上述基板对上述第二传送带进行相对移动。

2.根据权利要求1所述的基板移送装置,其特征在于,上述第二移送部件还包括引导部件,上述引导部件配置于上述第二传送带的移送方向的两侧,用于引导借助上述第二传送带向一方向移送的上述基板的两侧。

3.根据权利要求2所述的基板移送装置,其特征在于,上述引导部件能够向与上述第二传送带的移送方向相垂直的方向移动。

4.根据权利要求1所述的基板移送装置,其特征在于,上述卡止突起的突出长度大于上述基板的厚度。

5.根据权利要求1或4所述的基板移送装置,其特征在于,上述卡止突起的上部面的宽度小于下部面的宽度。

6.根据权利要求1所述的基板移送装置,其特征在于,上述匣盒向上下方向升降,从而向上述第二移送部件供给插入配置于上述匣盒内部的上述基板。

7.根据权利要求1或6所述的基板移送装置,其特征在于,

还包括第一移送部件,上述第一移送部件配置于上述匣盒与上述第二移送部件之间,用于向上述第二移送部件移送从上述匣盒供给的上述基板,

上述第一移送部件包括:

第一传送带,呈履带形状,用于向上述第二传送带移送放置于上部面的上述基板;以及

第一驱动部,用于使上述第一传送带旋转,

上述匣盒向上下方向升降,从而使插入配置于上述匣盒内部的上述基板向上述第一传送带的一端的上部面下降,

从上述第一传送带向上述第二传送带供给的上述基板与上述卡止突起相接触,从而阻止上述基板对上述第二传送带进行相对移动。

8.根据权利要求7所述的基板移送装置,其特征在于,上述第一移送部件还包括用于使上述第一传送带向上述匣盒方向直线移动的传送带移动部。

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