具有四周封闭的腔挤压型材的真空设备、特别是等离子设备的制作方法

文档序号:12142608阅读:来源:国知局

技术特征:

1.真空设备(10),具有真空腔(12),其中真空腔(12)的平行于真空腔纵向中轴线(28)延伸的外侧一体地由腔挤压型材(22、70)构成,其特征在于,所述腔挤压型材(22、70)横向于真空腔纵向中轴线(28)构造成完全封闭的并且具有端侧的、能可逆地打开和关闭的门。

2.根据权利要求1所述的真空设备,其中,所述真空腔(12)在一个端侧上具有能安放的门、能滑移打开和关闭的门或者能可摆动地打开和关闭的门(16)。

3.根据权利要求2所述的真空设备,其中,所述腔挤压型材(22、70)在其外侧上具有平行于真空腔纵向中轴线(28)延伸的铰链突起(42、44),在所述铰链突起上设置用于在门(16)与腔挤压型材(22、70)之间实现能摆动的连接的铰链(18、20)。

4.根据上述权利要求之一所述的真空设备,其中,所述腔挤压型材(22、70)在其外侧上具有平行于真空腔纵向中轴线(28)延伸的闭锁件保持突起(46、48),在所述闭锁件保持突起上设置用于将门(16)在所述腔挤压型材(22、70)上关闭的闭锁件(24、26)。

5.根据上述权利要求之一所述的真空设备,其中,所述腔挤压型材(22、70)在其外侧上具有平行于真空腔纵向中轴线(28)延伸的冷却片(50、52、54)。

6.根据上述权利要求之一所述的真空设备,其中,所述腔挤压型材(22、70)在其外侧上具有平行于真空腔纵向中轴线(28)延伸的固定突起(60、62),用于将真空腔(12)固定在真空设备(10)的壳体(14)上。

7.根据上述权利要求之一所述的真空设备,其中,所述腔挤压型材(22、70)在其内侧上具有两个相对置的、平行于真空腔纵向中轴线(28)延伸的插入凹口(56、58),用于插入板件。

8.根据上述权利要求之一所述的真空设备,其中,所述真空设备(10)具有壳体(14),真空腔(12)容纳在所述壳体中,壳体(14)平行于真空腔纵向中轴线(28)延伸的部分构造成壳体挤压型材(68、72)的形式。

9.根据权利要求1至8之一所述的真空设备,其中,所述真空设备构造成真空干燥器的形式。

10.根据权利要求1至8之一所述的真空设备,其中,所述真空设备(10)构造成等离子设备的形式。

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