技术总结
本发明涉及一种真空设备(10)，特别是等离子设备形式的真空设备。所述真空设备(10)具有真空腔(12)。真空腔(12)构造成连续封闭的腔挤压型材的形式。腔挤压型材的第一端侧优选用板件封闭。腔挤压型材的与第一端侧相对置的第二端侧具有能可逆地打开和关闭的门(16)。所述门(16)优选通过至少一个铰链(18、20)能摆动地固定在腔挤压型材上。横向于腔挤压型材的纵轴线完全封闭的侧壁使得能够简单且经济地制造真空腔(12)。优选真空腔(12)至少部分地容纳在壳体(14)中，所述壳体至少部分地同样构造成挤压型材的形式。
技术研发人员：克里斯托夫-赫伯特·迪纳
受保护的技术使用者：克里斯托夫-赫伯特·迪纳
文档号码：201580038540
技术研发日：2015.07.13
技术公布日：2017.03.22