半导体装置及其制造方法与流程

文档序号:11636214阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种半导体装置(100A),具备:基板(1);将氧化物半导体层5作为活性层的薄膜晶体管(101);含有铜的至少一层金属配线层(7S、7D);配置于至少一层金属配线层(7S、7D)的上面的含有铜的金属氧化膜(8);隔着金属氧化膜(8)而覆盖至少一层金属配线层的绝缘层(11);于形成在绝缘层(11)的开口部内,未隔着金属氧化膜(8)而与至少一层金属配线层的一部分直接相接的导电层(19)。

技术研发人员:铃木正彦;今井元;越智久雄;藤田哲生;北川英树;菊池哲郞;川岛慎吾;大东彻
受保护的技术使用者:夏普株式会社
技术研发日:2015.11.19
技术公布日:2017.08.01
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