技术总结
本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法，一边使处理液喷出口在预喷出位置向存放器喷出药液，一边检测供给到存放器的药液的温度。药液的温度随着时间的经过而上升。当供给至存放器的药液的温度到达第二目标温度时，使处理液喷出口停止喷出药液。然后，变更处理液喷出口以及存放器的位置关系，使处理液喷出口在处理位置向基板喷出药液。
技术研发人员：小林健司;泽岛隼;中岛章宏
受保护的技术使用者：株式会社思可林集团
文档号码：201610424452
技术研发日：2016.06.15
技术公布日：2016.12.28