1.一种改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:对于硅片正面钝化层上覆盖的聚酰亚胺,光刻及刻蚀图案化之后,在整个硅片表面涂覆有机粘合剂,然后粘上玻璃载片。
2.如权利要求1所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述有机粘合剂充分填充到聚酰亚胺刻蚀之后的凹陷及缝隙中,玻璃载片与有机粘合剂一起形成应力缓冲层。
3.如权利要求1所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:包含的步骤为:
第1步,在玻璃载片上旋涂有机粘合剂;
第2步,在硅片正面涂布有机粘合剂;
第3步,硅片正面对准涂有有机粘合剂的玻璃载片,将两者粘合;
第4步,进行紫外线烘烤;
第5步,将带有玻璃载片的硅片进行背面减薄;
第6步,加热带有玻璃载片的硅片;
第7步,分离玻璃载片与硅片,去除硅片正面的粘合剂;
第8步,氮气吹干硅片,湿法腐蚀规模背面,进行背面注入、激光退火及金属工艺。
4.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第1步,有机粘合剂涂布厚度为10~15μm。
5.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第2步,有机粘合剂涂布厚度为10~15μm。
6.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第4步,紫外线照射温度300~350℃。
7.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第5步,减薄的厚度根据具体产品而定。
8.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第6步,加热温度为300~350℃。