改善IGBT背面应力的方法与流程

文档序号:11955726阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:对于硅片正面钝化层上覆盖的聚酰亚胺,光刻及刻蚀图案化之后,在整个硅片表面涂覆有机粘合剂,然后粘上玻璃载片。

2.如权利要求1所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述有机粘合剂充分填充到聚酰亚胺刻蚀之后的凹陷及缝隙中,玻璃载片与有机粘合剂一起形成应力缓冲层。

3.如权利要求1所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:包含的步骤为:

第1步,在玻璃载片上旋涂有机粘合剂;

第2步,在硅片正面涂布有机粘合剂;

第3步,硅片正面对准涂有有机粘合剂的玻璃载片,将两者粘合;

第4步,进行紫外线烘烤;

第5步,将带有玻璃载片的硅片进行背面减薄;

第6步,加热带有玻璃载片的硅片;

第7步,分离玻璃载片与硅片,去除硅片正面的粘合剂;

第8步,氮气吹干硅片,湿法腐蚀规模背面,进行背面注入、激光退火及金属工艺。

4.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第1步,有机粘合剂涂布厚度为10~15μm。

5.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第2步,有机粘合剂涂布厚度为10~15μm。

6.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第4步,紫外线照射温度300~350℃。

7.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第5步,减薄的厚度根据具体产品而定。

8.如权利要求3所述的改善IGBT背面应力的方法,其特征在于:所述第6步,加热温度为300~350℃。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1