利用真空磁控溅射技术在PE隔膜表面制备陶瓷膜的方法与流程

文档序号:11810342阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种利用真空磁控溅射技术在PE隔膜表面制备陶瓷膜的方法,该方法是将要处理的PE隔膜在净化房内分切成需要的尺寸后安装在设备的放卷辊上;开启Roll‑Roll真空磁控溅射镀膜设备,调整设备至可镀膜工艺条件;开启离子源轰击PE膜,将聚烃高分子键部分打开;在聚烃分子键打开的同时,开启中频溅射阴极,利用中频磁控溅射阴极反应溅射Si靶材,形成SixNy‑陶瓷材料嵌入到被打开的聚烃分子键位置,形成陶瓷膜;在真空状态下进行退火处理,消除陶瓷膜应力;收‑放卷连续溅镀;整卷镀膜完成;破真空;取下收券辊;取样检查性能;包装入库;它通过利用真空磁控溅射镀膜技术在锂电池用PE隔离膜上沉积一层陶瓷膜,改善PE隔膜对电解液的润湿性和提高PE隔膜热稳定性。

技术研发人员:赵斌
受保护的技术使用者:深圳市第四能源科技有限公司
文档号码:201610635470
技术研发日:2016.08.04
技术公布日:2016.11.30

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