一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法与流程

技术特征：

1.一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）基底清洗：将玻璃基底依次放置于不同的清洗剂中，并采用超声波清洗器分别震荡5~10min；

（2）基底烘干：清洗完成后将基底用氮气枪吹干，用洗片架盛好后放入烧杯中，以锡纸封口，放入干燥箱内进行干燥；

（3）打印图形设计：设置D、S分别为TFT的漏极和源极，L为TFT的沟道长度，即漏极到源极之间的距离，预设L的值，在所述漏极和源极的两侧分别设置用于搭测量探针的引出电极；

（4）打印参数设置：设置打印机的参数为基板温度55℃～65℃，喷头温度55℃～65℃，墨滴间距30～35μm；调节打印机内施加于压电陶瓷之上的电压信号的前两波段的参数Slew Rate和Duration，保持前两波段相同参数的数值相等，固定一个参数的值，调节另一参数至合适范围；固定Duration为2.688μs，将Slew Rate调节至0.18～0.95V/μs范围内，或者固定Slew Rate为0.65V/μs，将Duration调节至1.472～2.688μs范围内；

（5）打印：按照步骤（3）设计好的打印图形、步骤（4）设置的打印参数，用打印机对基底进行打印。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，设置打印机的参数为基板温度58℃～62℃，喷头温度58℃～62℃，墨滴间距33～35μm。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，设置打印机的参数为基板温度60℃，喷头温度为60℃，墨滴间距35μm。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，固定Duration为2.688μs，将Slew Rate调节至0.38～0.75V/μs范围内，或者固定Slew Rate为0.65V/μs，将Duration调节至1.772～2.388μs范围内。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，固定Duration为2.688μs，将Slew Rate调节至0.48～0.65 V/μs范围内，或者固定Slew Rate为0.65 V/μs，将Duration调节至1.872～2.288μs范围内。

6.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，固定Duration为2.688μs，将Slew Rate调节至0.5 V/μs，或者固定Slew Rate为0.65 V/μs，将Duration调节至2.0μs。

7.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于：步骤（1）所述基底清洗分为六步清洗，六步清洗所用清洗剂按顺序分别为异丙醇、四氢呋喃、碱性清洗液、去离子水、去离子水和异丙醇。

8.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于： 步骤（5）中，打印用的打印材料采用纳米银颗粒墨水，打印前先将所述纳米银颗粒墨水从冷藏室中取出，并在室温下解冻；所述纳米银颗粒墨水为：固含量为30%～35 %，粘度为10～17 cPs，表面张力为35～38 dyn/cm，采用的溶剂为三乙二醇乙醚，洗涤溶剂为极性溶剂，烧结温度为120℃～150℃，电阻率为11μΩ·cm～12μΩ·cm。

9.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于：步骤（3）中，预设L的值为75μm。

10.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法，其特征在于：所采用打印机的型号为Dimatix DMP-2800。