薄膜太阳能电池及其制作方法与流程

文档序号:11558471阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜太阳能电池的制作方法,其特征在于,包括利用干法成膜工艺进行的以下步骤:

在基底上形成背电极层;

在所述背电极层上形成吸收层;

在所述吸收层上形成缓冲层;

在所述缓冲层上形成窗口层。

2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述干法成膜工艺为磁控溅射工艺。

3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,在形成所述背电极层的步骤中:磁控溅射电源为直流电源,溅射靶的材料包括钼,溅射气体包括氩气,溅射功率在150W~250W之间,溅射气压在0.2Pa~0.6Pa之间。

4.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,在形成所述吸收层的步骤中:磁控溅射电源为射频电源,溅射靶的材料包括铜铟镓硒,溅射气体包括氩气,溅射气压在0.3Pa~0.8Pa之间,溅射功率在150W~250W之间。

5.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,在形成所述缓冲层的步骤中:磁控溅射电源为射频电源,溅射靶的材料包括硫化锌,溅射气体包括氩气,溅射气压在0.3Pa~0.8Pa之间,溅射功率在150W~250W之间。

6.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,在形成所述窗口层的步骤中:磁控溅射电源为射频电源,溅射靶的材料包括铝掺杂的氧化锌,溅射气体包括氩气,溅射气压在0.2Pa~0.5Pa之间,溅射功率在200W~270W之间。

7.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,所述溅射靶的材料包括氧化锌和三氧化二铝,所述氧化锌的摩尔百分比在97%~98%之间,所述三氧化二铝的摩尔百分比在2%~3%之间。

8.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述制作方法还包括:对所述窗口层进行退火,退火温度在300℃~400℃之间。

9.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,在形成吸收层、缓冲层和窗口层的步骤中,均利用掩膜板在所述背电极层的预定区域进行遮挡,以使所述吸收层、缓冲层和窗口层形成后,所述预定区域被裸露出来;

所述制作方法还包括:

在所述背电极层的所述预定区域上形成第一输出电极;

在所述窗口层上形成第二输出电极。

10.根据权利要求9所述的制作方法,其特征在于,在所述背电极层的预定区域上形成第一输出电极的步骤包括:

利用喷墨打印的方法在所述预定区域打印混合有金属颗粒的第一溶液,所述金属颗粒的粒径为纳米级;

对所述第一溶液进行固化,以形成金属材料的第一输出电极。

11.根据权利要求9所述的制作方法,其特征在于,在所述窗口层上形成第二输出电极的步骤包括:

利用喷墨打印的方法在所述窗口层上打印混合有金属颗粒的第二溶液,所述金属颗粒的粒径为纳米级;

对所述第二溶液进行固化,以形成金属材料的第二输出电极。

12.一种薄膜太阳能电池,其特征在于,所述薄膜太阳能电池利用权利要求1至11中任意一项所述的制作方法制得。

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