技术总结
本发明提供一种薄膜太阳能电池的制作方法，包括利用干法成膜工艺进行的以下步骤：在基底上形成背电极层；在所述背电极层上形成吸收层；在所述吸收层上形成缓冲层；在所述缓冲层上形成窗口层。相应地，本发明还提供一种由上述制作方法制成的薄膜太阳能电池。本发明能够提高薄膜太阳能电池的生产效率，减少膜层缺陷。
技术研发人员：宫奎;李贺飞;王铖铖;李纪龙;董必良
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
文档号码：201610810604
技术研发日：2016.09.08
技术公布日：2016.11.16