技术特征：
技术总结
本发明涉及一种用于套筒天线的具有SiO2保护层的固态等离子pin二极管串的制备方法。该制备方法包括：(a)选取SOI衬底；(b)刻蚀SOI衬底形成有源区沟槽；(c)对所述有源区沟槽利用原位掺杂工艺分别淀积P型Si材料和N型Si材料形成P区和N区；(d)光刻引线孔并金属化处理以形成所述固态等离子pin二极管串。本发明实施例利用原位掺杂工艺能够制备并提供适用于形成固态等离子天线的高性能具有SiO2保护层的固态等离子pin二极管串。
技术研发人员：左瑜;张亮
受保护的技术使用者：西安科锐盛创新科技有限公司
技术研发日：2016.12.20
技术公布日：2017.08.08