一种长杆离子源进气结构的制作方法

文档序号:12537585阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种长杆离子源进气结构,包括位于筒体(7)内的灯丝阳极座(5)、以及位于主支撑箱(10)上的第一PEEK树脂绝缘座(11),其特征在于,所述的筒体(7)内设有进气管(6),该进气管(6)一端与灯丝阳极座(5)焊接,另一端与第一PEEK树脂绝缘座(11)密封粘接。

2.根据权利要求1所述的一种长杆离子源进气结构,其特征在于,所述的进气管(6)是一根外径3mm、内径2mm、长度1500mm的无氧铜管。

3.根据权利要求1所述的一种长杆离子源进气结构,其特征在于,所述的筒体(7)与离子源的头部(1)安装连接,头部(1)内安装有灯丝(2),灯丝(2)与灯丝阳极座(5)和阴极座固定,灯丝阳极座(5)与阴极座之间间隙为2mm,中间用陶瓷杆(4)隔离电位。

4.根据权利要求1所述的一种长杆离子源进气结构,其特征在于,所述的筒体(7)通过夹持装置(8)及压紧结构(9)安装在主支撑箱(10)上。

5.根据权利要求1所述的一种长杆离子源进气结构,其特征在于,所述的第一PEEK树脂绝缘座(11)一侧设有第二PEEK树脂绝缘座(12);上述两个绝缘座通过第一密封圈(15)、第二密封圈(16)及螺钉固定在主支撑箱(10)上。

6.根据权利要求1所述的一种长杆离子源进气结构,其特征在于,所述的第一PEEK树脂绝缘座(11)上设有进气接头(13),该进气接头(13)采用1/8NPT管螺纹结构自密封安装在第一PEEK树脂绝缘座(11)上。

7.根据权利要求1所述的一种长杆离子源进气结构,其特征在于,该进气结构电位隔离有冷却水循环结构(14);所述冷却水循环结构(14)采用的铜管利用聚酰亚胺薄膜包裹与进气结构进行电位隔离;冷却水循环结构(14)位于主支撑箱(10)内。

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