一种长杆离子源进气结构的制作方法

文档序号:12537585阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开一种长杆离子源进气结构,包括位于筒体内的灯丝阳极座、以及位于主支撑箱内的第一PEEK树脂绝缘座,所述的筒体内设有进气管,该进气管一端与灯丝阳极座焊接,另一端与第一PEEK树脂绝缘座密封粘接。筒体与离子源的头部安装连接,头部内安装有灯丝,灯丝与灯丝阳极座和阴极座固定,灯丝阳极座与阴极座之间用陶瓷杆隔离电位。本实用新型采用进气管顶端与阳极座焊接,底端与第一PEEK树脂绝缘座密封粘接,有效的解决了长杆离子源因内部空间狭小且需要电位隔离等要求而导致进气装置难以安装的困难,从而满足长杆状离子源进气及电位隔离的性能要求。

技术研发人员:谢亚红;顾玉明;胡纯栋;宋云涛
受保护的技术使用者:合肥中科离子医学技术装备有限公司
文档号码:201620794491
技术研发日:2016.07.27
技术公布日:2016.12.28

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