触控基板及其制备方法、显示装置与流程

文档序号:11103106阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种触控基板的制备方法,包括:在基底上方的依次形成发光器件的第一极、发光材料层、第二极;在所述基底上方依次形成触控感光器件的第一电极、感光功能层、第二电极;其特征在于,所述触控感光器件的第一电极和第二电极中的一者与所述发光器件的第一极采用一次构图工艺制备。

2.根据权利要求1所述的触控基板的制备方法,其特征在于,所述触控感光器件的第一电极与所述发光器件的第一极采用一次构图工艺制备;所述触控感光器件的第二电极与所述发光器件的第二极采用一次构图工艺制备。

3.根据权利要求2所述的触控基板的制备方法,其特征在于,在所述基底上形成所述发光器件和所述触控感光器件之前还包括:

在所述基底上形成开关晶体管、驱动晶体管、读取晶体管;

形成平坦化层,并在与所述驱动晶体管的第二电极对应的位置刻蚀形成第一过孔,在与所述读取晶体管的第二极对应的位置刻蚀形成第二过孔;所述发光器件的第一极通过所述第一过孔与所述驱动晶体管的第二极直接连接;所述触控感光器件的第一电极通过所述第二过孔与所述读取晶体管的第二极直接连接。

4.根据权利要求3所述的触控基板的制备方法,其特征在于,形成所述发光器件和所述触控感光器件的具体包括:

在形成所述第一过孔和所述第二过孔的基底上,通过一次构图工艺形成包括所述触控感光器件的第一电极与所述发光器件的第一极;

形成感光功能层;

形成像素限定层,并在与所述发光器件的第一极对应的位置形成第一容纳槽,在与所述触控感光器件的感光功能层对应的位置形成第二容纳槽;

在所述第一容纳槽中形成发光材料层;

通过一次构图工艺形成包括所述发光器件的第二极和位于第二容纳槽中的所述触控感光器件的第二电极的图形。

5.根据权利要求1所述的触控基板的制备方法,其特征在于,所述触控感光器件的第二电极与所述发光器件的第一极采用一次构图工艺制备;在所述基底上形成所述发光器件和所述触控感光器件之前还包括:

在所述基底上形成开关晶体管、驱动晶体管、读取晶体管;

形成平坦化层,并在与所述驱动晶体管的第二电极对应的位置刻蚀形成第一过孔,在与所述读取晶体管的第二极对应的位置刻蚀形成第二过孔;

通过构图工艺形成包括连接电极和所述触控感光器件的第一电极的图形;其中,所述连接电极通过所述第一过孔将所述发光器件的第一极与所述驱动晶体管的第二极连接;所述触控感光器件的第一电极通过所述第二过孔与所述读取晶体管的第二极直接连接。

6.根据权利要求5所述的触控基板的制备方法,其特征在于,在形成所述第一过孔和所述第二过孔的同时,还在所述平坦化层与所述读取晶体管的第一极对应的位置刻蚀形成有第三过孔;

在形成所述连接电极和所述触控感光器件的第一极的同时,还形成有读取信号线;所述读取信号线通过所述第三过孔与所述读取晶体管的第一极连接。

7.根据权利要求5所述的触控基板的制备方法,其特征在于,形成所述发光器件和所述触控感光器件的感光功能层、第二电极的步骤具体包括:

在形成有连接电极和所述触控感光器件的第一电极的基底上,形成感光功能层;

形成层间绝缘层,并在与所述连接电极对应的位置形成第四过孔,在与所述触控感光器件的感光功能层对应的位置形成第五过孔;

通过一次构图工艺形成包括位于所述第四过孔中的所述发光器件的第一极和位于第五过孔中的所述触控感光器件的第二电极的图形;

形成像素限定层,并在与所述发光器件的第一极对应的位置形成第一容纳槽;

在所述第一容纳槽中形成发光材料层;

通过一次构图工艺形成包括所述发光器件的第二极的图形。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的触控基板的制备方法,其特征在于,形成所述感光功能层的步骤包括:

在沿背离所述基底方向,依次沉积N型a-si层、本征型a-si层、P型a-si层,以及辅助层,通过一次构图工艺在与所述触控感光器件的第一电极对应的位置形成包括感光功能层的图形。

9.一种触控基板,包括:基底,设置在基底上的发光器件和触控感光器件;其中,所述发光器件包括依次设置在基底上方的第一极、发光材料层、第二极;所述触控感光器件包括依次设置在基底上方的第一电极、感光功能层、第二电极;其特征在于,所述触控感光器件的第一电极和第二电极中的一者与所述发光器件的第一极同层设置且材料相同。

10.根据权利要求9所述的触控基板,其特征在于,所述触控感光器件的第一电极与所述发光器件的第一极同层设置且材料相同;所述触控感光器件的第二电极与所述发光器件的第二极同层设置且材料相同。

11.根据权利要求10所述的触控基板,其特征在于,还包括:

设置在基底上的开关晶体管、驱动晶体管、读取晶体管;

设置在所述开关晶体管、所述驱动晶体管、所述读取晶体管所在层上方的平坦化层,且在所述平坦化层与所述驱动晶体管的第二电极对应的位置设置有第一过孔,在与所述读取晶体管的第二极对应的位置设置有第二过孔;所述发光器件的第一极通过所述第一过孔与所述驱动晶体管的第二极直接连接;所述触控感光器件的第一电极通过所述第二过孔与所述读取晶体管直接连接。

12.根据权利要求9所述的触控基板,其特征在于,所述触控感光器件的第二电极与所述发光器件的第一极同层设置且材料相同;所述触控基板还包括:

设置在基底上的开关晶体管、驱动晶体管、读取晶体管;

设置在所述开关晶体管、所述驱动晶体管、所述读取晶体管所在层上方的平坦化层,且在所述平坦化层与所述驱动晶体管的第二电极对应的位置设置有第一过孔,在与所述读取晶体管的第二极对应的位置设置有第二过孔;

覆盖所述第一过孔的连接电极,所述触控感光器件的第一电极覆盖所述第二过孔;其中,所述连接电极通过所述第一过孔将所述发光器件的第一极与所述驱动晶体管的第二极连接;所述触控感光器件的第一电极通过所述第二过孔与所述读取晶体管的第二极直接连接。

13.根据权利要求12所述的触控基板,其特征在于,在所述平坦化层中还设置有与所述读取晶体管的第一极对应的位置设置有第三过孔;

在所述第三过孔上方覆盖有读取信号线;所述读取信号线通过所述第三过孔与所述读取晶体管的第一极连接。

14.根据权利要求9-13中任一项所述的触控基板,其特征在于,所述感光功能层包括:在沿背离所述基底方向,依次设置的N型a-si层、本征型a-si层、P型a-si层,以及辅助层。

15.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求9-14中任一项所述的触控基板。

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