用于减薄硅片加工的撕膜操作台的制作方法

文档序号:11064256阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于减薄硅片加工的撕膜操作台,其特征在于:所述撕膜操作台由底座(1)、支撑板(2)、多根连接柱(3)和连接嘴(4)组成;所述支撑板(2)为环形结构体,支撑板(2)的上端面形成操作面,所述操作面上设置有环形凹槽,环形凹槽位于支撑板(2)内孔的外围,支撑板(2)的下端面上设置有一连接孔,连接孔的底部与环形凹槽的底部连通,所述连接嘴(4)的上端套接在连接孔内;所述支撑板(2)设置在底座(1)的正上方,支撑板(2)的上端面与底座(1)的下端面平行;连接柱(3)的上端与支撑板(2)的下端面连接,连接柱(3)的下端与底座(1)的上端面连接,多根连接柱(3)沿支撑板(2)周向设置,连接嘴(4)位于支撑板(2)下端面上相邻连接柱(3)之间的位置。

2.根据权利要求1所述的用于减薄硅片加工的撕膜操作台,其特征在于:所述操作面的一侧设置有台阶面。

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