半导体储料器系统和方法与流程

技术特征：

技术总结
在一个实施例中，本发明公开了用于诸如超紫外线(EUV)掩模版载具的高水平清洁度制品的清洁存储方法和系统。净化室可以用于清洁存储工件。吹扫气体系统可以用于防止存储在工件内的物品的污染。机器人可以用于检测在输送工件之前存储室的条件。监测装置可以用于监测器储料器的状态。

技术研发人员：卢茨·莱伯斯托克
受保护的技术使用者：动力微系统公司
技术研发日：2012.06.28
技术公布日：2017.08.11