技术特征：
技术总结
本发明公开了一种铒掺杂的硫化钼薄膜及其制备方法。在清洗后的n‑Si (111)片衬底上，采用化学气相沉积方法，以Er(NO3)3作为Er掺杂剂对MoS2进行掺杂，按质量比，MoS2：Er(NO3)3为 5:1～1:1，得到一种铒掺杂的硫化钼薄膜。稀土元素具有良好的发光特性，本发明提供的铒掺杂的硫化钼薄膜，以稀土元素铒作为激活中心，掺杂多层硫化钼薄膜，在MoS2薄膜中作为激活元素起到发光中心的作用，激活硫化钼薄膜的发光，提高MoS2薄膜的光吸收和辐射发光的几率，有效提高了硫化钼薄膜发光强度。
技术研发人员：马锡英;孟淼飞;施伟林
受保护的技术使用者：苏州科技大学
技术研发日：2017.03.21
技术公布日：2017.07.25