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利用分隔件结构的半导体器件的制作方法
文档序号:13687146
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来源:国知局
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利用分隔件结构的半导体器件的制作方法
技术特征:
技术总结
本发明涉及利用分隔件结构的半导体器件。半导体器件可以包括:场绝缘层,位于基底上;栅极结构,位于基底上且与场绝缘层分开;第一分隔件结构,位于栅极结构的侧壁和下表面上且与场绝缘层分开;第二分隔件结构,位于场绝缘层的上表面的被栅极结构叠置的部分上。
技术研发人员:
朴相真;高镛璿;黄寅奭
受保护的技术使用者:
三星电子株式会社
技术研发日:
2017.07.21
技术公布日:
2018.02.13
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半导体器件的制作方法
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