用于均匀循环制绒清洗药液的装置的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池制绒清洗技术领域，尤其涉及一种用于均匀循环制绒清洗药液的装置。

背景技术：

光伏发电是一种公认的清洁能源，近年光伏发电得到国家政策的大力扶持。在晶硅电池制备工序中制绒清洗设备是很重要的工艺设备，其中在制绒清洗过程中药液均匀性循环对硅片制绒清洗后的金字塔貌形起到尤为重要的作用。现有的制绒清洗设备，较难实现化学药液与硅片均匀接触，难以形成标准的金字塔貌形，导致硅片上存在较多的太阳光反射。因此，研究一种可以提高硅片制绒清洗时金字塔形貌的批量稳定性、制绒清洗后硅片的合格率的用于均匀循环制绒清洗药液的装置十分必要。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种用于均匀循环制绒清洗药液的装置，以使药液在循环过程中更加均匀，在硅片制绒、清洗过程中使得溶液与硅片表面接触更加均匀，以提高硅片制绒清洗后金字塔批量稳定性和质量合格率。

本实用新型提供了一种用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，包括：

槽体，所述槽体的底板上设置有入液口；

第一紊流板，与所述槽体的侧壁板固定连接，所述第一紊流板平行于所述底板，且所述第一紊流板上间隔设置有多个条形孔；

第二紊流板，与所述侧壁板固定连接，所述第二紊流板平行于所述第一紊流板，且所述第二紊流板设置在所述第一紊流板的上方，所述第二紊流板上设置有多组圆形喷孔，所述喷孔与所述条形孔在水平面上的投影均匀错位分布。

如上所述的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，优选的是，所述喷孔为喇叭形孔，且所述喇叭形孔的直径在药液喷射方向上逐渐增大。

如上所述的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，优选的是，所述入液口上固定设置有进液导管，所述进液导管的出液口与所述入液口连通，所述进液导管的直径沿药液喷射的方向逐渐增大。

如上所述的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，优选的是，所述进液导管的数量是两个，且两个所述进液导管在所述底板上均匀分布。

如上所述的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，优选的是，所述进液导管为漏斗形，其包括引流端和扩液端，所述引流端的直径小于所述扩液端的直径，所述扩液端的出液口与所述入液口连通。

如上所述的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，优选的是，所述扩液端的出液口固定嵌设在所述入液口中。

如上所述的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，优选的是，所述进液导管与所述底板为一体成型。

如上所述的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，优选的是，两个所述扩液端的外壁的延伸面之间构成喷射区间，所述第一紊流板置于所述喷射区间中。

如上所述的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，优选的是，所述第一紊流板与所述底板之间的距离大于所述第一紊流板与所述第二紊流板之间的距离。

如上所述的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其中，优选的是，所述第一紊流板和所述第二紊流板焊接在所述槽体的侧壁板上。

本实用新型提供的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，通过设置第一紊流板和第二紊流板，使药液在循环过程中较为均匀，保证了在硅片制绒、清洗过程中使得溶液与硅片表面接触较为均匀，提高了硅片制绒清洗后金字塔批量稳定性和质量合格率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的用于均匀循环制绒清洗药液的装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的用于均匀循环制绒清洗药液的装置的工作原理图。

附图标记说明：

100-槽体 110-侧壁板 120-底板

200-第一紊流板 210-条形孔 300-第二紊流板

310-喷孔 400-进液导管 410-扩液端

420-引流端

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

请同时参照图1和图2，本实用新型实施例提供了一种用于均匀循环制绒清洗药液的装置，其包括槽体100、第一紊流板200和第二紊流板300；其中，槽体100由侧壁板110和底板120构成，槽体100的底板120上设置有入液口，第一紊流板200与槽体100的侧壁板110固定连接，第一紊流板200平行于底板120，且第一紊流板200上间隔设置有多个条形孔210，第二紊流板300与槽体100的侧壁板110固定连接，第二紊流板300平行于第一紊流板200，且第二紊流板300设置在第一紊流板200的上方，第二紊流板300上设置有多组喷孔310，喷孔310与条形孔210在水平方向上的投影均匀错位分布。

在利用本实用新型实施例提供的用于均匀循环制绒清洗药液的装置刻蚀硅片时，药液可以通过底板120上的入液口进入槽体100，如图2所示，由于从入液口喷射出的药液具有一定压力，药液可以穿过第一紊流板200上的条形孔210进入第一紊流板200和第二紊流板300之间的区域，其中，由于药液呈发散状喷入槽体100，当沿斜线方向喷射的药液进入条形孔210中时，药液可以与条形孔210的内壁碰撞后发生反弹，或者沿斜线方向喷射的药液与槽体100碰撞反弹后穿过条形孔210，从而可以使进入到第一紊流板200和第二紊流板300之间区域的药液具有不同的喷射方向，进而使药液分散，同时也增加了分散后的药液的流速；但是，经过条形孔210的药液在周向方向上的均匀性较差，故不能保证硅片表面刻蚀的均匀性，然而在第一紊流板200上方设置了第二紊流板300，从而穿过条形孔210后的药液需要继续穿过第二紊流板300上的喷孔310，且各组喷孔310与条形孔210在水平面上的投影相互错位分布，从而可以防止从条形孔210喷出的药液直接穿过喷孔310而无法起到均匀扩散的效果，同时喷孔310为圆形，优选的是，喷孔310为喇叭形孔，且喇叭形孔的直径在药液喷射方向上逐渐增大，从而可以进一步提高药液流速，进一步提高了药液均匀性，进而保证了对硅片刻蚀的质量。

需要说明的是，第一紊流板200与底板120之间的距离可以大于第一紊流板200与第二紊流板300之间的距离，由于从入液口喷出的药液具有较高的速度，且在局部过于集中，无法实现硅片刻蚀的均匀性，故使第一紊流板200与底板120之间的距离大于第一紊流板200与第二紊流板300之间的距离，可以使药液的速率在向第一紊流板200运动过程中逐渐衰减，并通过第一紊流板200的作用实现药液的分散，同时提高分散后的药液的流速，以便使分散后的药液具有足够的速度穿过第二紊流板300。

可以理解的是，为了保证第一紊流板200和第二紊流板300分别与槽体100的侧壁板110之间的固定可靠性，第一紊流板200和第二紊流板300可以焊接在槽体100的侧壁板110上。

进一步地，底板120上的入液口上固定设置有进液导管400，进液导管400的出液口与底板120上的入液口连通，进液导管400的直径沿药液喷射的方向逐渐增大，从而可以降低从进液导管400输出的药液的速率，同时可以实现将药液以发散状的形式喷入槽体100中，便于第一紊流板200对药液的进一步分散。

需要说明的是，进液导管400的数量可以是两个，且两个进液导管400在底板120上均匀分布，由此可以提高药液喷射的均匀性；其中，若仅设置一个进液导管400，会导致进液导管400轴线附近的药液过于集中，而远离轴线位置处的药液则过于稀少，倘若进液导管400在底板120上设置的数量远大于两个，则会导致同一时刻进入槽体100的药液流量增加，不利于对药液速率的降低，以及不利于第一紊流板200对药液的分散。

可以理解的是，为了提高药液在喷孔310周向上的喷射均匀性，喷孔310在每一组中的数量可以为多个，在本实施例中，优选的是，每一组均包括九个喷孔310。

进一步地，进液导管400可以设置为漏斗形，其可以包括引流端420和扩液端410，扩液端410的出液口与底板120上的入液口连通，且引流端420的直径小于扩液端410的直径，由此，进液导管400可以通过引流端420与药液供给装置连接，并使药液在引流端420中积蓄一定的能量，当药液开始流入扩液端410中时，由于引流端420的直径小于扩液端410的直径，引流端420中积蓄的能量得到释放，使药液喷射而出，从而使药液获得一定的速率。

具体而言，进液导管400可以焊接在底板120表面，但当焊缝出现开裂等缺陷时，药液会在喷射过程中从进液导管400和槽体100连接处的缝隙中溢出，为了防止此问题发生，扩液端410的出液口可以固定嵌设在入液口中，从而使扩液端410的出液口延伸至槽体100的内腔，使药液在其喷射方向上不会经过扩液端410与槽体100的连接处，当该连接处出现缺陷而产生缝隙时，药液不会从该缝隙中溢出；其中，扩液端410的出液口处可以设置有外螺纹，入液口的内壁上可以设置有与外螺纹配合的内螺纹，从而可以使扩液端410的出液口直接旋入入液口中。当然，更优选的是，底板120与进液导管400可以为一体成型，由此可以从根本上消除连接缝隙，避免了药液从连接处溢出的问题。

进一步地，由于扩液端410的外壁呈锥形，故两个扩液端410的外壁的延伸面之间构成喷射区间，第一紊流板200置于喷射区间中，从而可以保证从扩液端410喷出的药液可以与第一紊流板200的各个条形孔210均有接触，实现了对药液的均匀扩散。

本实用新型实施例提供的用于均匀循环制绒清洗药液的装置，通过设置第一紊流板和第二紊流板，使药液在循环过程中较为均匀，保证了在硅片制绒、清洗过程中使得溶液与硅片表面接触较为均匀，提高了硅片制绒清洗后金字塔批量稳定性和质量合格率。

以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。