本实用新型涉及一种六分位旋转盘的结构。
背景技术：
中国台湾专利第M296470号「晶圆片之支撑转盘模组」揭露一种习用支撑转盘模组，请参阅图1所示，为习用支撑转盘模组的实施示意图，乃包括一圆形盘体91、至少一压板93、至少二叉体94、及圆形盘体91表面之至少二槽沟92，该二槽沟92彼此间隔设置于圆形盘体91外缘，并于其两侧分别形成一第一嵌合部921，又叉体94端处设有一第二嵌合部941，可在插入槽沟92时，第一嵌合部921恰可与第二嵌合部941相嵌合，并将二叉体94一端稳固的夹持住，而另一端伸出该圆形盘体91外，以支撑至少一晶圆片，且压板93足以压紧在二槽沟92上，并借压板93中央处穿设的多个螺丝与圆形盘体91锁固，使压板93可稳固的将二叉体94一端压抵在该圆形盘体91上，而保持在同一平面。
但于实际使用上却发现圆形盘体91不但材料脆弱、厚度不足，加上下凹形成的槽沟92，导致圆形盘体91本身结构强度不足，且因螺丝与圆形盘体91锁固产生拉力，导致圆形盘体91在使用中容易因高温而产生变形，导致圆形盘体91使用寿命缩短，且维修时仅能将圆形盘体91整片替换，故维修成本相当高。
此外，圆形盘体91上会设置一旋转座，供与一呈圆柱态样的旋转杆连接，使圆形盘体91得以随旋转杆转动，但于使用中旋转座常会因电浆或腐蚀性气体等影响与旋转杆黏死，导致拆解相当困难，极易于拆解过程中发生旋转座损伤，甚至旋转杆弯曲的状况。
所以，要如何解决上述习用的问题与缺失，即为本实用新型的申请人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。
故，本实用新型的申请人有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考虑，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，终设计出本实用新型。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种可减少旋转盘变形风险、排除支撑件及旋转轴变形的可能而延长使用寿命，并具有容易拆装、维修成本低的六分位旋转盘的结构。
基于此，本实用新型主要采用下列技术手段，来实现上述目的。
一种六分位旋转盘的结构，包含：一旋转盘；多个间隔形成于该旋转盘外缘的设置槽；多个分别设于各设置槽中的压制片；至少一形成于所述压制片至少一侧处的压制沟，与各设置槽侧壁对应成型；多个分别设于各设置槽与该压制沟之间的支撑件，且各支撑件凸设于该旋转盘；多个分别穿设该旋转盘与各压制片的锁固元件，所述锁固元件对各压制片施压以固定各支撑件；一枢设于该旋转盘中心的连结模组；及一设于该连结模组一侧的旋转轴，所述旋转轴带动该旋转盘转动。
进一步，各压制片上形成有至少一与各锁固元件配合锁固的锁固孔，该锁固孔邻近各压制沟处。
进一步，各设置槽底部供设置各支撑件处形成有至少一插置孔，且该插置孔内设有一限位元件，而该限位元件上具有一凸出形成于各设置槽底部的限位部。
进一步，各支撑件上形成有至少一与该限位部对应结合的限位槽，以避免各支撑件脱出各压制沟。
进一步，该连结模组包含有一插合件，且于该插合件一侧形成有一为外宽内窄的锥形孔态样的插合锥孔，并于该旋转轴端处形成有一为前窄后宽的锥形态样的锥形插合部，该锥形插合部可拆卸的与该插合锥孔无缝密合。
进一步，该插合锥孔上形成有至少一引导槽，且该锥形插合部上具有至少一与该引导槽对应结合的引导肋。
进一步，该插合件中心穿设有一锁合元件，锁固于该锥形插合部中心。
进一步，该连结模组包含有一设于该插合件及该旋转盘间的绝缘件、一设于该绝缘件内的压合件、及一套设该绝缘件且由侧处延伸而局部包设该绝缘件的套环件，而该压合件一侧延伸插入该绝缘件以提升厚度及加强结构强度，且该压合件中心处形成有一供该锁合元件穿设的工作孔，并该压合件上具有多个穿设该绝缘件的连接元件，各连接元件与该插合件锁合以固定该绝缘件，且该套环件设置于该旋转盘上以供该旋转轴带动该旋转盘旋动。
进一步，该绝缘件一侧形成有至少一定位槽，且该插合件一侧处具有一与该定位槽对应结合的定位肋。
进一步，所述六分位旋转盘的结构还包含一拆卸元件，供辅助分离该插合件及该旋转轴，且该拆卸元件包含一螺设于该插合件上的螺旋部、及一由该螺旋部一侧延伸形成的空转部，该空转部穿设该插合件后插设于该旋转轴上。
本实用新型的旋转盘于制造时可借由设置槽与压制片的结构配合，让设置槽槽底的厚度可以加厚制作，以提升旋转盘结构强度及减少发生变形的状况，且经由压制片、设置槽及锁固元件间的配合，可简化整体组装动作，让支撑件装设时贴合设置槽的侧壁，再将压制片装设于设置槽中，让压制沟自然与支撑件相配合，并由锁固元件加以锁固压制片，让本实用新型安装更为轻松便利，同时因压制沟位于压制片侧边处的结构设计令压制片得缩小体积，且因锁固元件先穿设旋转盘才与压制片锁固，所以锁固产生的拉力会施加于压制片上，并借由此拉力来固定支撑件，也因压制片可代替旋转盘或支撑件直接受力，而可有效避免旋转盘与支撑件受力变形。综前所述，实际使用时，为了保护旋转盘而让压制片来承受锁固产生的拉力，故几乎可排出旋转盘、支撑件变形的可能性，且借由压制片与旋转盘相配合的结构设计，让维修时仅需单独替换发生变形的压制片即可，而大幅降低维修成本及时间。
借由上述技术，可针对习用支撑转盘模组所存在的易变形、使用寿命不足、维修成本高、及使用后容易黏死难以拆解等问题点加以突破，达到的上述优点。
附图说明
图1为习用支撑转盘模组的实施示意图。
图2为本实用新型较佳实施例的立体图。
图3为本实用新型较佳实施例的分解图。
图4为本实用新型较佳实施例的另一角度分解图。
图5为本实用新型较佳实施例的平面分解示意图。
图6为本实用新型较佳实施例的压制示意图。
图7为本实用新型较佳实施例的限位示意图。
图8为本实用新型较佳实施例的压合元件平面示意图。
图9为本实用新型图8的A-A线剖视图。
图10为本实用新型较佳实施例的旋转盘平面示意图。
图11为本实用新型图10的B-B线剖视图。
图12为本实用新型再一较佳实施例的辅助拆卸示意图。
【符号说明】
［本实用新型符号］
旋转盘 1 设置槽 11
插置孔 111 压制片 2
压制沟 21 锁固孔 22
支撑件 3 限位槽 31
限位元件 4 限位部 41
连结模组 5 插合件 51、51a
插合锥孔 511 引导槽 512
定位肋 513 绝缘件 52
定位槽 521 压合件 53
工作孔 531 套环件 54
旋转轴 6、6a 锥形插合部 61
引导肋 62 锁固元件 71
锁合元件 72 连接元件 73
拆卸元件 8a 螺旋部 81a
空转部 82a
［习用符号］
圆形盘体 91 槽沟 92
第一嵌合部 921 压板 93
叉体 94 第二嵌合部 941。
具体实施方式
为达成上述目的及功效，本实用新型所采用的技术手段及构造，兹绘图就本实用新型较佳实施例详加说明其特征与功能如下，以利完全了解。
请参阅图2至图5所示，为本实用新型较佳实施例的立体图、分解图、另一角度分解图、平面分解示意图，由图中可清楚看出本实用新型包括：
一旋转盘1；
多个间隔形成于该旋转盘1外缘的设置槽11；
多个分别设于各设置槽11中的压制片2；
至少一形成于所述压制片2至少一侧处的压制沟21，与各设置槽11侧壁对应成型；
至少一形成于各压制片2上且与下述锁固元件71配合锁固的锁固孔22，该锁固孔22邻近各压制沟21处；
多个分别设于各设置槽11与该压制沟21之间的支撑件3，且各支撑件3凸设于该旋转盘1；
至少一形成于各设置槽11底部供设置各支撑件3的插置孔111，且该插置孔111内设有一限位元件4，而该限位元件4上具有一凸出形成于各设置槽11底部的限位部41，及于各支撑件3上形成有至少一与该限位部41对应结合的限位槽31，以避免各支撑件3脱出各压制沟21；
多个分别穿设该旋转盘1与各压制片2的锁固元件71，供对各压制片2施压以固定各支撑件3；
一枢设于该旋转盘1中心的连结模组5，且该连结模组5包含有一插合件51、一设于该插合件51及该旋转盘1间的绝缘件52、一设于该绝缘件52内并延伸插入该绝缘件52的压合件53、及一套设该绝缘件52且由侧处延伸而局部包设该绝缘件52的套环件54，提升厚度及加强结构强度，且该套环件54设置于该旋转盘1上以供下述旋转轴6带动该旋转盘1旋动；
一形成于该压合件53中心处的工作孔531，供该锁合元件72穿设；
多个穿设于该绝缘件52且位于该压合件53上的连接元件73，与该插合件51锁合以固定该绝缘件52；
至少一形成于该绝缘件52一侧的定位槽521，且该插合件51一侧处具有一与该定位槽521对应结合的定位肋513；
一形成于该插合件51一侧的插合锥孔511，为外宽内窄的锥形孔，该插合锥孔511上形成有至少一引导槽512，且该插合件51中心穿设有一锁合元件72，锁固于下述锥形插合部61中心；
一设于该连结模组5一侧且插设于该插合锥孔511内的旋转轴6，供带动该旋转盘1转动；
一形成于该旋转轴6端处并为前窄后宽的锥形插合部61，可拆卸的与该插合锥孔511无缝密合，且该锥形插合部61上具有至少一与该引导槽512对应结合的引导肋62；
借由上述的说明，已可了解本实用新型的结构，而依据这个结构的对应配合，更可减少旋转盘1变形风险、排除支撑件3及旋转轴6变形的可能而延长使用寿命，并具有容易拆装、维修成本低等优势，而详细的解说将于下述说明。
请同时配合参阅图2至图11所示，为本实用新型较佳实施例的立体图、分解图、另一角度分解图、平面分解示意图、压制示意图、限位示意图、压合件平面图、图8的A-A线剖视图、旋转盘平面图及图10的B-B线剖视图，借由上述构件组构时，如图6所示，旋转盘1于制造时可借由设置槽11与压制片2的结构配合，让设置槽11槽底的厚度可以加厚制作，以提升旋转盘1结构强度及减少发生变形的状况，且经由压制片2、设置槽11及锁固元件71间的配合，可简化整体组装动作。其中，限位元件4可直接埋设于设置槽11底的插置孔111(如图3所示)，让支撑件3装设时仅需将限位槽31对正限位部41后，贴合设置槽11的侧壁，再将压制片2装设于设置槽11中，让压制沟21自然与支撑件3相配合，并由锁固元件71加以锁固压制片2，让本实用新型安装更为轻松便利，同时因压制沟21位于压制片2侧边处的结构设计令压制片2得缩小体积。
如图6所示，因锁固元件71先穿设旋转盘1才与压制片2锁固，所以锁固产生的拉力会施加于压制片2上，并借由此拉力来固定支撑件3，也因压制片2可代替旋转盘1或支撑件3直接受力，而可有效避免旋转盘1受力变形，且如图7所示，由于锁固孔22位于邻近压制沟21处，故得有效直接对支撑件3施压，并因与支撑件3间的力矩(距离)较小，得有效减少压制片2变形的状况。综前所述，实际使用时，为了保护旋转盘1而让压制片2来承受锁固产生的拉力，故几乎可排出旋转盘1变形的可能性，且借由压制片2与旋转盘1相配合的结构设计，让维修时仅需单独替换发生变形的压制片2即可，而大幅降低维修成本及时间。
另外，如图9所示，插合件51和旋转轴6乃借由插合锥孔511与锥形插合部61相密合，因两者为「斜面与斜面」的接合关系，可在不影响两锥形结构的无缝接合态样的情况下(习知轴杆与套管的结合，容易于长时间磨耗后产生间隙)，有效预防电浆或腐蚀性气体等入侵，同时借由呈渐缩态样的结构设计，让旋转轴6与连结模组5分离时更为轻松，有效减少连结模组5发生与旋转轴6黏死的状况。而因上述无缝接合的态样，使电浆或腐蚀性气体只会残留于开口处，故可借由轻松分离旋转轴6与连结模组5而快速清洁。
再请同时配合参阅图12所示，为本实用新型再一较佳实施例的辅助拆卸示意图，由图中可清楚看出，本实用新型包含一拆卸元件8a，供辅助分离该插合件51a及该旋转轴6a，且该拆卸元件8a包含一螺设于该插合件51a上的螺旋部81a、及一由该螺旋部81a一侧延伸形成的空转部82a，该空转部82a穿设该插合件51a后插设于该旋转轴6a上。故拆卸时，得经由一拆卸元件8a来辅助插合件51a与旋转轴6a分离，首先，将拆卸元件8a插设于插合件51a上转动，使螺旋部81a与插合件51a啮合，让空转部82a得随转动逐渐前进插入旋转轴6a中进行空转并加以抵触，当空转部82a抵触旋转轴6a后持续随拆卸元件8a转动而空转，且螺旋部81a则因前述动作，利用反作用力让插合件51a连同拆卸元件8a被向外顶出，借此令插合件51a得以轻松与旋转轴6a分离。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，非因此即局限本实用新型的专利范围，故凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的简易修饰及等效结构变化，均应同理包含于本实用新型的专利范围内。
故，请参阅全部附图所示，本实用新型使用时，与习用技术相较，着实存在下列优点：
一、巧妙利用锁固元件71的锁合方向，将受力转移至压制片2上，同时对旋转盘1及支撑件3进行支撑固定，而得以有效避免受力形变，而延长使用寿命。
二、利用插合件51与锥形插合部61的斜面无缝接合，增加使用耐久度、方便拆卸维修。
综上所述，本实用新型的六分位旋转盘的结构于使用时，确实能达到其功效及目的。