一种金属加热基座除气设备的制作方法

本实用新型涉及到半导体领域，特别是涉及到一种金属加热基座除气设备。

背景技术：

金属加热基座是半导体芯片生产工艺中的关键部件，集成电路技术中的半导体晶圆制造需要通过不同的处理步骤达到不同稳定的温度，同时需要超高真空,但是金属材料在加温时会释放气体,造成真空度下降,大大降低了生产效率。真空技术发展到目前水平,增加泵的抽速的研究已没有太大进展,泵的有效抽速受流导的限制,即使采用大抽速的泵,也不会对系统真空度产生大的影响。如果采用特殊工艺能使材料的出气率降低1个数量级,比增加10倍的泵要经济合理的多。金属加热基座是由不锈钢外壳,加热管,电线等组合而成,不允许直接放入真空炉内高温除气,采用现场烘烤也会占用生产时间。因此有必要提供一种可以显著降低金属加热基座的出气率的设备。

技术实现要素：

本实用新型的目的要解决上述技术问题，提供一种金属加热基座除气设备。

本实用新型的目的是这样实现的：一种金属加热基座除气设备，其特征在于：包括烘烤腔室、冷泵、连接环、腔室盖板与转换件，所述的烘烤腔室通过连接环与冷泵相连接，所述的烘烤腔室内部设置有转换件，上方设置有腔室盖板；所述的烘烤腔室包括密封结构、窥视孔、辅助孔与连接结构；所述的烘烤腔室的上方设置有密封结构，所述的密封结构与腔室盖板配合；所述的连接结构包括六个转换件连接结构与连接环连接结构，所述的转换件连接结构均匀设置在烘烤腔室底部，所述的连接环连接结构设置在烘烤腔室的右侧；所述的转换件连接结构与转换件连接配合，所述的连接环与连接环连接结构连接配合；所述的烘烤腔室前后两侧设置有辅助孔与窥视孔。

作为优选的技术方案：所述的连接环包括钢管与法兰，所述的钢管与法兰焊接配合。

作为优选的技术方案：所述的腔室盖板为通过圆形角过渡的四方形结构，所述的密封结构上设置有四方形开口，所述的四方形开口尺寸小于腔室盖板尺寸。

作为优选的技术方案：所述的密封结构与腔室盖板上均布有一一对应的连接孔，通过螺栓连接固定。

作为优选的技术方案：所述的转换件连接结构与转换件的连接孔一一对应，通过螺栓连接固定。

作为优选的技术方案：所述的烘烤腔室左侧设置有与连接环连接结构对应的密封孔14。

本实用新型叶片设备结构简单,不会占用生产时间,可以显著降低金属加热基座的出气率,有效去除冶炼时溶解在材料内部的各种气体,生产时无需再现场烘烤就可以获得较高的极限真空,大大提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的烘烤腔室结构示意图；

图2是本实用新型的连接环结构示意图；

图3是本实用新型的转换件结构示意图；

图4是本实用新型的整体结构示意图。

图中：1.烘烤腔室；2.冷泵；3.连接环；301.钢管；302.法兰；4.腔室盖板；5.转换件；6.密封结构；7.窥视孔；8.辅助孔；9.连接结构；10.转换件连接结构；11.连接环连接结构；12.连接孔；13.密封孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限制：一种金属加热基座除气设备，其特征在于：包括烘烤腔室1、冷泵2、连接环3、腔室盖板4与转换件5,所述的烘烤腔室1通过连接环3与冷泵2相连接，所述的烘烤腔室1内部设置有转换件5，上方设置有腔室盖板4；所述的烘烤腔室1包括密封结构6、窥视孔7、辅助孔8与连接结构9；所述的烘烤腔室1的上方设置有密封结构6，所述的密封结构6与腔室盖板4配合；所述的连接结构9包括六个转换件连接结构10与连接环连接结构11，所述的转换件连接结构10均匀设置在烘烤腔室底部，所述的连接环连接结构11设置在烘烤腔室1的右侧；所述的转换件连接结构10与转换件5连接配合，所述的连接环3与连接环连接结构11连接配合；所述的烘烤腔室1前后两侧设置有辅助孔8与窥视孔7。

所述的连接环3包括钢管301与法兰302，所述的钢管301与法兰302焊接配合。所述的腔室盖板4为通过圆形角过渡的四方形结构，所述的密封结构6上设置有四方形开口，所述的四方形开口尺寸小于腔室盖板尺寸。所述的密封结构6与腔室盖板4上均布有一一对应的连接孔12，通过螺栓连接固定。所述的转换件连接结构10与转换件5的连接孔12一一对应，通过螺栓连接固定。所述的烘烤腔室1左侧设置有与连接环连接结构11对应的密封孔13。

具体实施时：选择带加热功能的烘烤腔室,结构简单；冷泵的实用保证了保证烘烤时腔室的真空度；烘烤腔室与冷泵之间通过连接环进行连接，保证密闭无间隙；用于连接冷泵和烘烤腔室的连接环,由钢管和CF法兰焊接而成,并经过电解抛光处理，使用寿命得到有效的延长，并且能良好的保持烘烤腔室内的真空度；金属加热基座通过转换件均匀固定在烘烤腔室；真空腔室盖板,由铝合金制造而成,表面阳极化处理；并且在烘烤腔室的四周分别设置有辅助孔与窥视孔、密封孔；窥视孔可以帮助工人实时了解腔室内的加热反映情况，方便出现意外后的及时处理；辅助孔的作用则是辅助加入其它反应物或反应设备；密封孔则是用来进气，帮助恢复真空；通常情况下窥视孔使用透明材质密封，辅助孔和密封孔则直接密封，辅助孔在反应需要时使用，密封孔在最后破开真空时使用。通过转换件与密封垫片将金属加热基座安装到烘烤腔室内，盖上腔室盖板，保证烘烤腔室处于密封状态；抽真空，打开金属加热基座和烘烤腔室电源，升温至300摄氏度，持续烘烤15天，降温至室温，破真空，抽真空包装零件。

本实用新型的上述实施例，仅仅是清楚地说明本实用新型所做的举例，但不用来限制本实用新型的保护范围，所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由各项权利要求限定。