抽渣装置的制作方法

本实用新型涉及机械辅助设备技术领域，特别是涉及一种抽渣装置。

背景技术：

随着半导体制造行业的快速发展，面板切割技术得到越来越多的应用。在对工件进行切割裂片的过程中，由于裂片需要的能量较大，产生的废料也会在较大能量的作用下溅射至操作平台，甚至溅射至工件上而对工件的表面造成划伤，从而致使产品的表面质量及良率降低。

技术实现要素：

基于此，有必要提供一种能够及时清理裂片废料、有效保护工件表面的抽渣装置。

一种抽渣装置，安装于裂片操作头上，包括：

第一筒体，与所述裂片操作头连接；

第二筒体，与所述第一筒体螺纹连接，所述第二筒体上开设有出渣孔；及

出渣管道，与所述第二筒体连接，且与所述出渣孔相连通；

其中，所述第二筒体与所述第一筒体相配合以围成两端开口的筒状结构，所述裂片操作头能够容置于所述第一筒体及所述第二筒体所围成的容置空间内，且将所述第一筒体上远离所述第二筒体的一端密封。

在其中一个实施例中，所述第一筒体包括座体及第一主体，所述第一主体呈筒状，所述第一主体的一端与所述座体连接，所述第一主体的另一端与所述第二筒体连接，所述座体与所述裂片操作头连接。

在其中一个实施例中，所述座体包括第一连接部及与所述第一连接部连接的第二连接部，所述第一连接部呈环状，且与所述第一主体的端面相贴合，所述第一筒体还包括密封圈，所述密封圈设于所述第一连接部与所述第一主体的连接处。

在其中一个实施例中，所述第二连接部上开设有用于穿设螺纹连接件的安装孔。

在其中一个实施例中，所述第一主体的远离所述座体的一端直径缩小以呈台阶状，所述第一主体上设有外螺纹，所述第二筒体的内壁上设有与所述第一主体相配合的内螺纹，所述第二筒体能够与所述第一主体的台阶处端面相抵接。

在其中一个实施例中，还包括锁紧圈，所述锁紧圈套设于所述第一主体上远离所述座体的一端，所述锁紧圈与所述第一主体螺纹连接，所述第二筒体能够与所述锁紧圈相抵接。

在其中一个实施例中，所述第二筒体包括第二主体及出渣接头，所述第二主体呈筒状，且一端与所述第一筒体连接，所述出渣接头设于所述第二主体的外侧壁上，所述出渣孔贯穿所述出渣接头，且与所述第二主体的内部相连通。

在其中一个实施例中，所述出渣接头的外壁上开设有凹槽，所述出渣管道的内壁上设有凸起，所述出渣管道能够套设于所述出渣接头上，且所述凸起与所述凹槽相配合。

在其中一个实施例中，在所述第二主体的远离所述第一筒体的一端，所述第二主体的内壁上设置有倒圆角。

在其中一个实施例中，还包括抽尘机，所述抽尘机与所述出渣管道连接。

上述抽渣装置中，当裂片操作头对工件执行裂片操作时，产生的料渣从工件上飞溅开来，在抽尘机的抽风作用下，料渣还未来得及下落至工件上，就从第二筒体的远离第一筒体的一端进入第二筒体内，并沿出渣孔进入出渣管道内，从而及时清理了料渣，防止料渣落至工件表面而对工件表面造成损伤，提高了产品的表面质量及良率。另外，上述抽渣装置安装于裂片操作头上，以能够与裂片操作头实现同步移动，从而能够对料渣实现较为完全的清理。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的抽渣装置的结构示意图；

图2为图1中所示抽渣装置的结构爆炸图；

图3为图1中所示抽渣装置的剖视图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

结合图1及图2所示，本实用新型一实施例的抽渣装置10安装于裂片操作头20上，能够对裂片操作头20执行裂片操作后产生的料渣进行及时清理。其中，裂片操作头20可以为超声波裂片操作头，或者激光裂片操作头等能够对工件进行裂片操作的器件。

具体在本实施例中，抽渣装置10包括第一筒体100、第二筒体200、出渣管道300及抽尘机(未示出)。其中，第一筒体100与第二筒体200螺纹连接，以共同围成两端开口的筒状结构。裂片操作头20能够容置于第一筒体100及第二筒体200所围成的容置空间内，且将第一筒体100上远离第二筒体200的一端密封。第二筒体200上开设有出渣孔210，出渣管道300与第二筒体200连接，且与出渣孔210相连通。抽尘机与出渣管道300连接。

当裂片操作头20对工件执行裂片操作时，产生的料渣从工件上飞溅开来，在抽尘机的抽风作用下，料渣还未来得及下落至工件上，就从第二筒体200的远离第一筒体100的一端进入第二筒体200内，并沿出渣孔210进入出渣管道300内，从而及时清理了料渣，防止料渣落至工件表面而对工件表面造成损伤，提高了产品的表面质量及良率。另外，上述抽渣装置10安装于裂片操作头20上，以能够与裂片操作头20实现同步移动，从而能够对料渣实现较为完全的清理。

结合图1至图3所示，具体在本实施例中，第一筒体100包括座体110及第一主体120。第一主体120呈筒状，第一主体120的一端与座体110连接，第一主体120的另一端与第二筒体200连接。座体110与裂片操作头20连接。

具体地，座体110包括第一连接部111及与第一连接部111连接的第二连接部112。第一连接部111呈环状，且与第一主体120的端面相贴合。

裂片操作头20穿设第一连接部111，且与第一连接部111呈过盈配合。第一主体120、座体110及裂片操作头20相互配合，从而使得第一筒体100的远离第二筒体200的一端呈密封状态。

进一步地，第一筒体100还包括密封圈130。第一连接部111上与第一主体120相贴合的一侧开设有容置槽111a，密封圈130容置于容置槽111a内，从而将第一连接部111与第一主体120的连接处进行密封。

需要指出的是，在其他实施例中，容置槽111a还可以开设与第一主体120的端面上。或者，第一主体120与第一连接部111上均开设有容置槽111a。此外，在其他实施例中，还可以将密封圈130省略，而将第一主体120与座体110一体成型。

进一步地，第二连接部112上开设有用于穿设螺纹连接件的安装孔112a。通过开设安装孔112a，以将上述抽渣装置10通过螺纹紧固件安装于其他与裂片操作头20同步移动的机构上，从而防止抽渣装置10与裂片操作头20相分离，以保证抽渣装置10与裂片操作头20的连接稳定性。

具体地，第一主体120的远离座体110的一端直径缩小以呈台阶状。第一主体120上设有外螺纹，第二筒体200的内壁上设有与第一主体120相配合的内螺纹，第二筒体200能够与第一主体120的台阶处端面相抵接。通过将第一主体120的一端设置为台阶状，从而便于控制第一主体120与第二筒体200的连接配合程度，同时也能够对料渣起到阻挡作用，防止飞溅的料渣进入第一主体120内部。

进一步地，抽渣装置10还包括锁紧圈400。锁紧圈400套设于第一主体120上远离座体110的一端，而且，锁紧圈400与第一主体120螺纹连接。通过调节锁紧圈400在第一主体120上的位置，进而将第二筒体200与第一主体120的相对位置进行限定，从而对第二筒体200与工件之间的间隙大小进行调节。同时，第二筒体200能够与锁紧圈400相抵接，锁紧圈400能够将第二筒体200在第一主体120上的位置进行锁定，以防止第二筒体200相对第一主体120发生相对旋转而改变第二筒体200与工件之间的间隙。

具体在本实施例中，第二筒体200包括第二主体230及出渣接头220。第二主体230呈筒状，且第二主体230的一端与第一主体120连接。出渣接头220设于第二主体230的外侧壁上，出渣孔210贯穿出渣接头220，且与第二主体230的内部相连通。

出渣接头220的外壁上开设有凹槽221，出渣管道300的内壁上设有凸起310，出渣管道300能够套设于出渣接头220上，且凸起310与凹槽221相配合，从而实现出渣管道300与出渣接头220的严密连接。

在抽尘机的作用下，料渣能够从第二主体230的远离第一主体120的一端进入第二主体230内，并沿出渣接头220进入出渣管道300内。

另外，在第二主体230的远离第一主体120的一端，第二主体230的内壁上设置有倒圆角231，从而使得料渣较为容易的进入第二主体230内。

出渣接头220内壁与第二主体230的内壁在连接处呈平滑过渡的曲面，以使得进入第二主体230内的料渣能够较为容易的经出渣孔210进入出渣管道300内。

上述抽渣装置10的结构较为简单，容易对料渣进行及时清理，同时也能够有效抑制气动噪声。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。